廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-29
發(fā)黑多因氧含量超標(biāo)或雜質(zhì)污染:①檢測固化階段氧含量曲線,若某時段超 50ppm,需檢修氮?dú)庋a(bǔ)氣系統(tǒng),更換老化密封圈;②檢查銀漿儲存條件,若銀漿開封后暴露空氣超 24 小時,需更換新銀漿(避免銀顆粒氧化);③清潔腔體,用異丙醇擦拭內(nèi)壁,去除殘留揮發(fā)物,防止高溫分解污染;④過濾氮?dú)猓_保顆粒含量<10 個 / L,避免雜質(zhì)附著銀層。處理后銀層應(yīng)呈亮銀色,無發(fā)黑或斑點(diǎn)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的設(shè)備,可有效避免銀層發(fā)黑問題。
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