廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-30

管道堵塞常見癥狀：氮?dú)饬髁匡@示驟降（如從 10L/min 降至 3L/min）、氧含量波動(dòng)頻繁（±15ppm 以上）、腔體升溫速率變慢（超常規(guī) 20%）。疏通需分步操作：先關(guān)閉氮?dú)庠矗鹣鹿艿澜涌?，?φ2-3mm 通針清理細(xì)小管道；主管道（直徑≥10mm）可用壓縮空氣（0.3-0.5MPa）反向吹掃，配合特定管道清洗劑（中性溶劑）浸泡 20-30min；堵塞嚴(yán)重時(shí)，需更換局部管道（建議選 316L 不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁光滑不易積垢）。日常需每月檢查管道壓力表，發(fā)現(xiàn)壓力異常及時(shí)排查。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供管道疏通工具與上門檢修服務(wù)。

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