廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-29
銀漿固化優(yōu)先選無氧烤箱,關(guān)鍵 差異在:①無氧烤箱通過氮氣持續(xù)置換保持低氧,更適合銀漿(尤其有機(jī)銀漿),避免真空環(huán)境導(dǎo)致樹脂載體過度揮發(fā);②溫度均勻性更優(yōu)(±1℃ vs 真空烤箱 ±2-3℃),銀層電阻一致性更好;③無需頻繁抽真空 / 泄壓,適合連續(xù)生產(chǎn),效率比真空烤箱高 20%-30%。只當(dāng)銀漿含高沸點溶劑(需負(fù)壓輔助揮發(fā))時,真空烤箱更適配,但需配合氮氣回填防氧化。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的無氧烤箱,銀漿固化效果在多數(shù)場景優(yōu)于真空烤箱。
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