本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù)：以往，在蝕刻鈦時(shí)一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻(xiàn)1中提出了一種鈦的蝕刻液，該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過氧化氫、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題，含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特許第4471094號說明書。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實(shí)際情況而成，其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法，所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦，而且毒性低，保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用，并且含有：選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸；以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機(jī)硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。銅蝕刻液的配方是什么？綿陽格林達(dá)蝕刻液產(chǎn)品介紹

銀蝕刻液主要用于印刷線路板制造，銀器及銀合金的蝕刻、標(biāo)牌制作。二、突出特點(diǎn)1．蝕刻速度快，效率高。使用方便。蝕刻最高速度可達(dá)2000納米/秒。2．可循環(huán)使用，無廢液排放。三、理化指標(biāo)外觀：液體；氣味：微；比重：1.05±0.1；pH：偏堿性四、使用方法1．預(yù)處理：如銀或銅合金表面不潔凈，需對表面進(jìn)行潔凈處理，如除油、除雜等。2．蝕刻：(1).將圖案模板紙粘附于銀板或銀器上，再將銀蝕刻液用噴淋設(shè)備噴于圖案處，時(shí)間1分鐘到幾十分鐘不定（用戶可根據(jù)蝕刻要求自行試驗(yàn)時(shí)間，因模板紙不同，時(shí)間也不同），揭去模板紙，用清水沖掉殘物。(2).用100-200T的絲網(wǎng)，75度硬度的聚酯刮膠，將光固化抗蝕刻油墨印刷在基板上，然后將油墨在紫外燈下光照20—30秒鐘，（紫外光能量為1000mj/cm2）。用噴淋的方式進(jìn)行蝕刻，溫度50±5℃，壓力1-3kg/cm2時(shí)間1分鐘到幾分鐘，（具體時(shí)間根據(jù)蝕刻深度而定）。然后，用1%--3%的氫氧化鈉溶液將光固化抗蝕刻油墨溶解出去。成都江化微的蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨蘇州性價(jià)比較好的蝕刻液的公司聯(lián)系電話。

所述液位計(jì)7安裝于所述分離器的外表面。液位計(jì)7安裝在方便工作人員查看的位置，有利于提高工作人員工作的效率。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述液位開關(guān)9為控制閥，設(shè)置于所述濾液出口2處?？刂崎y為內(nèi)螺紋截止閥，通過旋轉(zhuǎn)操縱盤實(shí)現(xiàn)閥門的開關(guān)，這種閥結(jié)構(gòu)簡單，維修方便，工作行程小，啟閉時(shí)間短，使用壽命長。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖2所示，所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)視鏡10。分離器側(cè)壁上設(shè)置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計(jì)7的工作狀況。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述加熱器11為盤管式加熱器。盤管式加熱器的受熱更加均勻，加熱效率更高。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述分離器底部為錐體形狀。分離器底部設(shè)置成錐體形狀更有利于濾液排出，不會殘留在分離器內(nèi)。以上所述是本實(shí)用新型的推薦實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候，會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況，有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行。推薦的，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6，在制備蝕刻液的時(shí)候，需要將裝置固定的特定的位置，通過支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時(shí)，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上，有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的，過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26，常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質(zhì)含量多，過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過濾，使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出，得到不含雜質(zhì)的蝕刻液，避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患。推薦的，過濾部件9設(shè)置有一個(gè)，過濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè)，過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接，過濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過濾，且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進(jìn)行拆卸更換，將過濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗，在將過濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí)，將滑動蓋24向外側(cè)滑動。蝕刻液 [博洋化學(xué)] 新工藝,實(shí)現(xiàn)循環(huán)使用！

etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時(shí)能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中，蝕刻對象膜可以為氮化物膜，保護(hù)對象膜可以為氧化物膜。此外，本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言，本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水，上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于，使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足。本發(fā)明中，各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外，由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果，可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足。什么制程中需要使用蝕刻液。江蘇哪家蝕刻液蝕刻液產(chǎn)品介紹

蝕刻液，適用于多種材料，蝕刻效果好。綿陽格林達(dá)蝕刻液產(chǎn)品介紹

銅蝕刻液適用于印制版銅的蝕刻，蝕刻速度快。蝕刻速度達(dá)4~5um/min。廢液回收簡單，用于印制板，線路板。本劑也可用于銅工藝品等的蝕刻。蝕刻后的板面平整而光亮。銅蝕刻液的反應(yīng)速度快、使用溫度低、溶液使用壽命長，后處理容易，對環(huán)境污染小。用于銅質(zhì)單面板，雙面板、首飾蝕刻，可以蝕刻出任意精美的形態(tài)，有效提高蝕刻速度，節(jié)約人工水電。常常應(yīng)用于印刷線路板銅的蝕刻處理1、蝕刻速度快，效率高。使用方便。蝕刻速度可達(dá)10微米/分鐘。2、可循環(huán)使用，無廢液排放。1、藍(lán)色透明液體，有氣味。2、比重：1.10~1.13。3、PH值：10~11.0。1、采用浸泡的方法即可，浸泡過程中要攪動蝕刻液或移動工件。蝕刻溫度為20~40℃，在通風(fēng)排氣處操作，操作時(shí)要蓋好蓋子。2、蝕刻時(shí)間可以根據(jù)蝕刻的深度確定。綿陽格林達(dá)蝕刻液產(chǎn)品介紹