且過(guò)濾部件能將內(nèi)部的過(guò)濾板進(jìn)行拆卸更換，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置，連接構(gòu)件，連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉(cāng)的底部，連接構(gòu)件與攪拌倉(cāng)固定連接，連接構(gòu)件能將裝置主體內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定，且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，有效的提高了裝置連接的實(shí)用性。附圖說(shuō)明圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的過(guò)濾部件剖視圖；圖3為本實(shí)用新型的連接構(gòu)件剖視圖；圖4為本實(shí)用新型的內(nèi)部構(gòu)件連接框架圖。圖中：1、裝置主體，2、支撐腿，3、電源線，4、單片機(jī)，5、控制器，6、防滑紋，7、密封閥門(z45x-16)，8、收集倉(cāng)，9、過(guò)濾部件，10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10)，11、連接構(gòu)件，12、海綿層，13、攪拌電機(jī)(5ik)，14、去離子水儲(chǔ)罐，15、磷酸儲(chǔ)罐，16、醋酸儲(chǔ)罐，17、硝酸儲(chǔ)罐，18、陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐，19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐，20、氯化鉀儲(chǔ)罐，21、硝酸鉀儲(chǔ)罐，22、密封環(huán)，23、攪拌倉(cāng)，24、滑動(dòng)蓋，25、收縮彈簧管，26、過(guò)濾板，27、螺紋管，28、活動(dòng)軸，29、密封軟膠層。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖。蝕刻液 [博洋化學(xué)] 新工藝,實(shí)現(xiàn)循環(huán)使用！安徽BOE蝕刻液蝕刻液溶劑

當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí)，該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng)，并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出，除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象，亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題；此外，為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題，因此，該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小，例如：孔徑a0小于3mm，即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用，亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4，而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實(shí)施說(shuō)明可知，本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相較之下，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì)，有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現(xiàn)象。綿陽(yáng)BOE蝕刻液蝕刻液供應(yīng)蝕刻液使用時(shí)要注意什么？

本發(fā)明涉及一種用來(lái)在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù)：以往，在蝕刻鈦時(shí)一直使用含有氫氟酸或過(guò)氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻(xiàn)1中提出了一種鈦的蝕刻液，該鈦的蝕刻液是用來(lái)在銅或鋁的存在下蝕刻鈦，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過(guò)氧化氫、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問(wèn)題，含有過(guò)氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問(wèn)題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特許第4471094號(hào)說(shuō)明書(shū)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問(wèn)題本發(fā)明是鑒于所述實(shí)際情況而成，其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法，所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦，而且毒性低，保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問(wèn)題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用，并且含有：選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸；以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機(jī)硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。

所述液體入口1處設(shè)有減壓閥12，所述蒸汽出口5處設(shè)有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4，所述除霧組件3用于過(guò)濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體，所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進(jìn)行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進(jìn)行加熱，達(dá)到閃蒸要求的溫度，輸送至分離器，通過(guò)減壓閥12減壓，真空泵13對(duì)分離器內(nèi)抽氣，使分離器內(nèi)處于低壓狀態(tài)，含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸，閃蒸產(chǎn)生大量蒸汽，蒸汽中攜帶著大小不等的液滴，大液滴中含有銅，通過(guò)除霧組件3和除沫組件4對(duì)蒸汽進(jìn)行分離過(guò)濾，也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出，減少產(chǎn)品損失。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述除霧組件3為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板。液體在隨著氣體上升時(shí)會(huì)有慣性，因?yàn)橐后w與氣體的質(zhì)量不同，他們的慣性也不同，當(dāng)夾帶著液體的氣體以一定速度通過(guò)折流板曲折的通道時(shí)，液體流動(dòng)的方向不斷在曲折的通道中發(fā)生變化，液體的慣性較大，依舊保持原來(lái)的運(yùn)動(dòng)方向，從氣體中脫離，撞擊折流板壁面從而被擋下，氣體則順利通過(guò)折流板通道排出，被擋下的液體在壁面上匯集成液流，因重力的作用從折流板上流下。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖1所示，所述除沫組件4為絲網(wǎng)。因?yàn)槌F組件3中的撞擊過(guò)程。鋁蝕刻液的配方是什么？

將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐，備用；第三步：根據(jù)混酸配制表算出各個(gè)原料的添加量，按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐，將上述混料充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為3～5h；第四步：在第三步的混料中再添加h2o2，繼續(xù)攪拌混勻，攪拌時(shí)間為3～5h，用磁力泵將混合液通過(guò)過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾。作為推薦的技術(shù)方案，所述磁力泵出口壓力≤，過(guò)濾器入口壓力≤。根據(jù)制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過(guò)濾器的入口壓力，包裝原料可以被充分過(guò)濾。作為推薦的技術(shù)方案，所述調(diào)配罐內(nèi)的溫度設(shè)定在30～35℃。調(diào)配罐的溫度不能超過(guò)35℃，由于過(guò)氧化氫的密度隨溫度的升高而減小，因此保證交底的反應(yīng)溫度有助于保證原料體系的穩(wěn)定作為推薦的技術(shù)方案，所述過(guò)濾器的微濾膜孔徑為～μm。作為推薦的技術(shù)方案，第三步中各種原料在～，調(diào)配罐內(nèi)填充氮?dú)猓瑪嚢杷俣葹?0～50r/min。作為推薦的技術(shù)方案，原料罐和調(diào)配罐大拼配量不超過(guò)罐容積的80％。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：本發(fā)明在制備酸性銅蝕刻液的過(guò)程中，用低溫純水(10℃)替代常溫純水(25℃)，將低溫純水加入反應(yīng)體系中，降低反應(yīng)體系的反應(yīng)溫度。蘇州哪家公司可以做蝕刻液；廣州京東方用的蝕刻液蝕刻液按需定制

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也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置，包括裝置主體，所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板，所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板，所述承載板上端表面放置有電解池，所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜，所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗，所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng)，所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管，所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管，所述伸縮管下端安裝有噴頭，所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸，所述液壓缸下端安裝有伸縮桿，所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊，所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿，所述分隔板右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵，所述增壓泵下端與電解池之間連接有回流管，所述增壓泵上端與進(jìn)液管之間連接有一號(hào)排液管，所述回流管內(nèi)部左端設(shè)置有一號(hào)電磁閥，所述裝置主體左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵，所述抽氣泵下方設(shè)置有集氣箱，所述集氣箱與抽氣泵之間連接有排氣管，所述電解池下端連接有二號(hào)排液管，所述二號(hào)排液管內(nèi)部上端設(shè)置有二號(hào)電磁閥，所述裝置主體內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板。安徽BOE蝕刻液蝕刻液溶劑