極測（南京）技術有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證，大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定，以實現(xiàn)環(huán)境倉內部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內部構造先進，包括分區(qū)送風靜壓腔、分區(qū)回風流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設計方案等。自研高精密溫控技術，冷凍水的出水溫度蕞高精度可達 ±0.002℃。
在溫度控制方面，采用大風量小溫差的設計思想，通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量，使溫度波動處于極低數(shù)值，關鍵區(qū)域可達 ±0.002℃。同時采用多級控溫，將溫度精度逐步提升。針對光路部分設計密閉防護罩，表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度，控制風速。對于局部發(fā)熱區(qū)域，采用局部氣浴進行溫度控制，確保該區(qū)域溫度在一定范圍內，且 30s 內的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后，精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃，濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，潔凈度從 100 級提升至 10 級，噪音值從 70dB 降低至 55dB，測量誤差從 400 降低至 4。
極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關鍵支撐。北京抗微振精密溫控

干涉儀對精密微環(huán)境的嚴苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環(huán)境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數(shù)，精度可達納米級別。溫度波動引致光學元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設備損耗，干涉儀精密微環(huán)境的穩(wěn)定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環(huán)境穩(wěn)定關鍵極測精密溫控技術可實現(xiàn)內部溫度穩(wěn)定性關鍵區(qū)域可達 +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學元件與機械結構不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態(tài)，為精Zhun測量提供穩(wěn)定基礎。百級潔凈+濕度協(xié)同打造干涉儀長效微環(huán)境系統(tǒng)通過極測精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，實現(xiàn)濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構建多參數(shù)協(xié)同精密微環(huán)境。智能精密溫控：干涉儀微環(huán)境運維閉環(huán)實時監(jiān)控干涉儀微環(huán)境溫濕度等數(shù)據(jù)，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質量分析。智能防護模塊保障精密溫控設備24小時連續(xù)運行，避免測量中斷。極測（南京）精密溫控柜極測（南京）研發(fā)及設計團隊，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結構工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。

晶圓制造是一項對環(huán)境極為敏感的工藝。無論是光刻、刻蝕，還是封裝環(huán)節(jié)，溫度的細微波動和空氣中的微小顆粒都可能帶來災難性后果，影響芯片的功能或造成短路或斷路，導致整片晶圓報廢。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術有限公司推出的超精密恒溫潔凈棚，憑借突破性的環(huán)境控制技術，為晶圓構建起無可比擬的操作空間，可實現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制，及ISO class1-ISO class6不同等級的潔凈度，相比晶圓操作臺通過被動抵御環(huán)境溫度變化，極測精密恒溫潔凈棚通過其在溫度控制和潔凈度管理上的雙重突破，主動調控外部溫度，形成超精密恒溫潔凈間的 “黃金環(huán)境”，成為推動半導體產(chǎn)業(yè)向更高精度邁進的關鍵力量。

精密環(huán)境受到多種因素的影響。溫度波動會導致儀器設備、被測樣品等產(chǎn)生形變，影響空氣對光的折射波動；濕度波動會影響空氣折射率，濕度過高還易造成電器故障；二氧化碳濃度、壓力梯度波動會影響空氣折射率；微振動會造成儀器設備等抖動，影響光路；電磁干擾、接地電阻過大會影響儀器設備正常工作。
極測（南京）技術有限公司針對不同環(huán)境控制需求，提供了完善的解決方案。普通環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±2℃，濕度控制精度為 ±5~15%，潔凈度等級為十萬級到百級，采用恒溫恒濕超凈間；精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.5~1℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為萬級到百級，采用精密恒溫恒濕超凈間；高精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.1~0.3℃，濕度控制精度為 ±2~5%，潔凈度等級為千級到百級，采用高精密恒溫恒濕超凈間；超精密環(huán)境控制需求溫度控制精度為 ±0.002~0.1℃，濕度控制精度為 ±1~5%，潔凈度等級為百級到十級，在高精密恒溫恒濕超凈間中搭建精密環(huán)控系統(tǒng)，同時氣流 / 風速 / 壓差控制、CO?濃度調節(jié)、噪音控制、環(huán)境參數(shù)閉環(huán)控制。
極測（南京）精密環(huán)控柜滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求。

在半導體制造領域，每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測的關鍵環(huán)節(jié)，半導體量測設備（如電子顯微鏡、膜厚測量儀、OCD量測等）自身對運行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細微波動，都會引入測量誤差。 除整體環(huán)境外，半導體量測設備通常配備高精度光學成像器件（廣義上的“照相機”），其中光源，電子控制單元，運動部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源，蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性，以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測（南京）技術有限公司深刻理解這一需求，憑借在微環(huán)境控制領域的深厚技術積累，專為高duan半導體量測設備設計精密環(huán)控系統(tǒng)，做好設備配套。系統(tǒng)由設備主柜體（設備維護結構模塊）、潔凈過濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過整體環(huán)境溫度的精密調控，以及針對局部發(fā)熱點進行局部氣浴，配套控制潔凈度及減振處理等，為半導體檢測設備打造精密穩(wěn)定，恒溫潔凈的運行環(huán)境。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，使實驗室內溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)。北京抗微振精密溫控

精密測量要求環(huán)境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測量精度?？梢允褂肏EPA過濾器、潔凈工作臺等。北京抗微振精密溫控

高精密冷凍水機組是一種專為工業(yè)及特殊環(huán)境設計的制冷設備，通過精確的溫度控制和高效制冷循環(huán)，為高精度制造、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)藥生產(chǎn)等領域提供穩(wěn)定可靠的冷卻解決方案。其關鍵特點在于高能效、低波動性及智能化控制，滿足嚴苛的溫控需求。極測（南京）技術有限公司采??研溫控技術，高精密冷凍水機組冷凍?的出?溫度蕞?精度可達±0.002℃。高精密冷凍水機組采用國際有名品牌壓縮機，配套高質量高效能銅管制作的板式換熱器及有名品牌電氣元器件。使機組具有精度高、體積小、噪音低、壽命長、操作簡便、高效節(jié)能等優(yōu)點。高精密冷凍水機組采用自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，準確測量實驗艙內實時的溫濕度數(shù)值并傳輸給控制器，冷凍水閥無級調節(jié)、無級調節(jié)電加熱器、模擬量控制加濕器可根據(jù)實際實驗艙需求調節(jié)輸出功率。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，在運行過程中進行比例、積分、微分的計算并輸出控制，使實驗室內溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，絕dui焓濕量的控制策略，使控制實驗艙內濕度控制快速準確，沒有誤操作誤判斷。北京抗微振精密溫控