極測（南京）致力于為全球高精密需求用戶打造超精密穩(wěn)定的研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境，專注于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高端定制化精密環(huán)控系統(tǒng)，目前已擁有結合全場景非標定制能力，滿足用戶不同溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，氣壓穩(wěn)定性、抗微振、防磁、隔音等個性化需求?？茖W技術成果認定為國際先進水平。服務行業(yè)覆蓋：半導體芯片、精密光學、精密測量、新能源、航空航天、通信技術等行業(yè)。極測在新技術浪潮中奮力向前，攀登環(huán)境控制新高度！為用戶提供精zhun、穩(wěn)定、可靠的高精密環(huán)境！靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結構，大型設備現(xiàn)場輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時間。0.01精密溫控設備智能化

極測（南京）關鍵技術市如何適配半導體嚴苛需求的？毫 K 級控溫的技術密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝冷卻水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級制冷回路設計，實現(xiàn)對蝕刻機腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機中，可確保光刻膠曝光時的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強化傳熱：微通道結構與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時避免銅離子污染（半導體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應能力雙壓縮機冗余設計：在晶圓廠 24 小時連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機故障時備用模塊可在快速自動切入，避免因停機導致的工藝中斷；變頻技術動態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測試環(huán)節(jié)面對多工位負載切換時，溫度恢復時間很大縮短。光刻機精密溫控場景極測（南京）高精密環(huán)控設備用于芯片加工、元器件組裝等場景，避免熱應力對精密元件的影響，提升良品率。

極測（南京）技術有限公司的精密水冷冷凍水機組融合多項專li技術，打造超精密溫控關鍵能力：高精密控溫技術：動態(tài)平衡的 “神經(jīng)中樞”機組搭載自主研發(fā)高精度溫度采集模塊，實時捕捉供水溫度數(shù)據(jù)并傳輸至控制器，通過冷凍水閥無級調(diào)節(jié)與電加熱器協(xié)同工作，結合PID 算法及逐級控溫專li技術實現(xiàn)溫度偏差的精zhun計算與動態(tài)調(diào)節(jié)。例如，在半導體極紫外光刻工藝中，該技術可將精密水冷冷凍水機組的出水溫度波動控制在±0.001℃，滿足納米級制造對溫度穩(wěn)定性的嚴苛要求。

濕度穩(wěn)定性：濕度過高可能導致光學鏡片表面結露、金屬部件銹蝕、光刻膠特性改變；濕度過低則容易產(chǎn)生靜電，吸附塵埃污染晶圓和設備。精確的濕度控制對確保工藝穩(wěn)定性和材料性能至關重要。3、chao低振動：光刻機在曝光時需要極高的穩(wěn)定性。任何來自地面（交通、施工、人員走動）、設備自身（空調(diào)、泵）或建筑物（風載荷）的振動，都會直接導致光學系統(tǒng)抖動，使投影到硅片上的圖形模糊或位置偏移。因此，光刻機通常安裝在深達地下的單獨地基或高性能主動/被動隔震平臺上，甚至采用磁懸浮等技術進行主動減振。 極測（南京）冷水機組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達±0.002℃，配置過載保護、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。

極測（南京）微環(huán)境控制系統(tǒng)設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學元件發(fā)霉、機械部件生銹等問題，延長立式干涉儀使用壽命。同時，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），避免灰塵等污染物影響光線傳播與干涉條紋，為干涉儀營造超凈工作空間。 智能功能助力運維極測微環(huán)境控制系統(tǒng)具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。運行中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，便于操作人員直觀掌握環(huán)境變化。微環(huán)境控制系統(tǒng)數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導出，運行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。此外，自動安全保護系統(tǒng)可實現(xiàn)故障自動保護，確保設備全天候穩(wěn)定運行，減少因故障導致的測量中斷?？販鼐龋禾峁I(yè)界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，溫度水平均勻性嚴格控制在 <16mK/m 范圍內(nèi)。安徽高精密溫控

極測（南京）憑借其自主研發(fā)的精密環(huán)控系統(tǒng)，為鍵合設備提供了超穩(wěn)定的運行環(huán)境，成為突破工藝的關鍵支撐。0.01精密溫控設備智能化

在高duan制造業(yè)的關鍵地帶，納米級芯片、微米級航空葉片、亞波長光學元件的精密制造，對生產(chǎn)環(huán)境提出了前所未有的嚴苛要求。其中，精密溫控扮演著決定性角色——一絲微小的溫度波動，都可能成為制約良率與性能的關鍵瓶頸。作為環(huán)境控制領域的關鍵要素，精密溫控設備已從幕后走向前臺，成為前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企業(yè)極測（南京）技術有限公司，憑借二十六載在實驗室環(huán)境控制領域的技術積淀，推出顛覆行業(yè)的精密環(huán)控柜系列產(chǎn)品。其高達±0.002℃ 的溫控精度與ISO Class 3級潔凈度（每立方米≥0.1μm顆粒數(shù)≤1，000個），為半導體制造、航空航天、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)筑起了堅實的“科技堡壘”。0.01精密溫控設備智能化