在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，溫度波動(dòng)是導(dǎo)致芯片缺陷的關(guān)鍵因素之一：

蝕刻與沉積環(huán)節(jié)：極紫外（EUV）光刻、等離子蝕刻等工藝需將溫度波動(dòng)控制在±0.01℃以內(nèi)，若溫度漂移超過閾值，可能導(dǎo)致刻蝕深度不均、薄膜應(yīng)力開裂等問題；

晶圓生長(zhǎng)與加工：硅單晶生長(zhǎng)過程中，溫度梯度變化會(huì)引起晶格缺陷，影響晶圓電學(xué)性能；

芯片測(cè)試環(huán)節(jié)：環(huán)境溫度波動(dòng)可能導(dǎo)致測(cè)試儀器誤差增大，造成芯片分選誤判。極測(cè)精密水冷冷凍水機(jī)組以±0.001℃控溫精度（遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）及動(dòng)態(tài)負(fù)載適應(yīng)能力，精zhun解決上述痛點(diǎn)，成為半導(dǎo)體工藝的“溫度守護(hù)者”。 靈活部署：采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，大型設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)輕松組裝，大幅節(jié)省安裝成本和時(shí)間。OCD量測(cè)精密溫控室

這款高精密環(huán)控柜是我司單獨(dú)研發(fā)的精密環(huán)境控制設(shè)備，可達(dá)成ISOClass1-6級(jí)潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多級(jí)溫度波動(dòng)控制精度。依托全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，能滿足用戶在溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等多方面的個(gè)性化需求。設(shè)備具備運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與查詢功能，并配備自動(dòng)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。其構(gòu)成包括主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷（熱）系統(tǒng)、照明系統(tǒng)及局部氣浴等，專為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量與制造設(shè)備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環(huán)境。該系統(tǒng)采用“外環(huán)境保障相對(duì)濕度、大環(huán)境穩(wěn)定絕dui含濕量”的邏輯，通過精zhun控溫實(shí)現(xiàn)倉內(nèi)濕度達(dá)標(biāo)。為滿足嚴(yán)苛要求，采用大風(fēng)量小溫差設(shè)計(jì)，快速循環(huán)過濾空氣并帶走余熱，使關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)低至±0.002℃；同時(shí)通過多級(jí)控溫（表冷盤降溫+多級(jí)電加熱升溫），將精度從±0.1℃逐步提升至±0.002℃。局部氣浴精密溫控價(jià)格潔凈室內(nèi)需配置無塵空氣過濾與流通系統(tǒng)，保證氣流分布合理，無死角，使?jié)崈艨諝獬浞值竭_(dá)每個(gè)角落。

極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的精密水冷冷凍水機(jī)組憑借毫 K 級(jí)控溫精度（±0.001℃）、快速響應(yīng)能力及高穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體制造中蝕刻與沉積設(shè)備、晶圓制造、芯片測(cè)試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的標(biāo)配溫控設(shè)備。本文結(jié)合半導(dǎo)體工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛需求，解析該機(jī)組如何通過專li技術(shù)實(shí)現(xiàn)全流程溫度精zhun控制，助力提升芯片良率與生產(chǎn)效率，為半導(dǎo)體行業(yè)用戶提供溫控設(shè)備選型與應(yīng)用參考。
在半導(dǎo)體制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷凍水機(jī)組已從 “輔助設(shè)備” 升級(jí)為 “關(guān)鍵工藝設(shè)備”。極測(cè)（南京）技術(shù)有限公司的產(chǎn)品憑借毫 K 級(jí)控溫、全流程適配及高可靠性，正在助力國(guó)內(nèi)晶圓廠、封測(cè)廠及研發(fā)機(jī)構(gòu)攻克溫度敏感型工藝難題。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言，選擇一款能夠精zhun匹配蝕刻、沉積、晶圓生長(zhǎng)、芯片測(cè)試等全場(chǎng)景需求的溫控設(shè)備，不僅是提升良率的關(guān)鍵，更是在全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)中構(gòu)建技術(shù)壁壘的重要一環(huán)。

毫開爾文級(jí)控制：精密溫控設(shè)備采用閉環(huán)氣流循環(huán)系統(tǒng)，通過EC風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)氣流以精密算法規(guī)劃的路徑均勻覆蓋設(shè)備內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵區(qū)域溫度波動(dòng)控制在±2mK（靜態(tài)），溫度均勻性<16mK/m

動(dòng)態(tài)響應(yīng)機(jī)制：自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.1%的控制輸出精度，精密溫控設(shè)備對(duì)外界環(huán)境變化實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng)

潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：讓塵埃無處遁形超越傳統(tǒng)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)：精密溫控設(shè)備通過多層高效粒子過濾器與動(dòng)態(tài)氣流管理，工作區(qū)潔凈度達(dá)ISOClass3標(biāo)準(zhǔn)及以上，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室的ISOClass5標(biāo)準(zhǔn)

微粒攔截：精密溫控設(shè)備可攔截直徑0.3μm的塵埃顆粒，杜絕因微粒污染導(dǎo)致的集成電路短路或光學(xué)傳感器失效智能生態(tài)：看得見的穩(wěn)定，可追溯的精zhun

環(huán)境“心電圖”：精密溫控設(shè)備智能監(jiān)控系統(tǒng)自動(dòng)生成帶時(shí)間戳的溫濕度曲線報(bào)告，支持一鍵導(dǎo)出，滿足ISO17025等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)對(duì)數(shù)據(jù)完整性的要求

靜音護(hù)航：精密溫控設(shè)備采用EC風(fēng)機(jī)與高效隔音材質(zhì)，運(yùn)行噪音<45dB，營(yíng)造舒適工作環(huán)境

靈活架構(gòu)：按需定制的環(huán)境解決方案模塊化設(shè)計(jì)：精密溫控設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架結(jié)構(gòu)，支持大型設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)組裝，突破空間限制

按需定制：從溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度等級(jí)到抗微振、防磁、隔音性能，提供全場(chǎng)景非標(biāo)定制服務(wù) 半導(dǎo)體潔凈室中通常溫度需要嚴(yán)格控制在20°C至25°C范圍內(nèi)，且溫度波動(dòng)不能超過±1°C。

極測(cè)（南京）關(guān)鍵技術(shù)市如何適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛需求的？毫 K 級(jí)控溫的技術(shù)密碼專li級(jí) PID + 逐級(jí)控溫：通過 “超高精度工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)及其恒溫控制方法” 專li，結(jié)合自主研發(fā)溫度采集模塊與多級(jí)制冷回路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)蝕刻機(jī)腔體溫度的±0.001℃級(jí)控制，例如在 EUV 光刻機(jī)中，可確保光刻膠曝光時(shí)的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強(qiáng)化傳熱：微通道結(jié)構(gòu)與不銹鋼材質(zhì)提升換熱效率 30% 以上，同時(shí)避免銅離子污染（半導(dǎo)體行業(yè)忌用材質(zhì)），滿足晶圓制造對(duì)水質(zhì)純凈度的要求。抗干擾與快速響應(yīng)能力雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計(jì)：在晶圓廠 24 小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)中，單壓縮機(jī)故障時(shí)備用模塊可在快速自動(dòng)切入，避免因停機(jī)導(dǎo)致的工藝中斷；變頻技術(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)溫：通過壓縮機(jī)變頻調(diào)節(jié)制冷量，在芯片測(cè)試環(huán)節(jié)面對(duì)多工位負(fù)載切換時(shí)，溫度恢復(fù)時(shí)間很大縮短。極測(cè)（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測(cè)、漏液檢測(cè)等功能。北京微環(huán)境精密溫控

極測(cè)（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。OCD量測(cè)精密溫控室

極測(cè)（南京）專注精密環(huán)境控制解決方案，現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。目前，高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期，本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(cè)（南京）技術(shù)此次業(yè)績(jī)表現(xiàn)，不僅標(biāo)志著公司在市場(chǎng)拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)上實(shí)現(xiàn)突破，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升，為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。OCD量測(cè)精密溫控室