PLCCs器件的引腳的焊盤有著不同設(shè)計(jì)。如果是一個(gè) 長焊盤設(shè)計(jì),在PLCC引腳上焊錫的爬升效果是可以檢查 的。如果焊盤保持明亮,那么焊錫已經(jīng)爬升到了引腳端, 所以認(rèn)為器件是焊上了。假如遵循這個(gè)設(shè)計(jì)原則,可以通過垂直檢測來檢查出缺陷。對于PLCC焊點(diǎn),有時(shí)會出現(xiàn)少錫的情況。由于引腳少 錫的爬升情況和沒有焊錫時(shí)是一樣的,所以對PLCC焊點(diǎn)不 能通過垂直檢測,而要通過斜角檢測的方式來檢查少錫缺陷。PCB的整體布局 對于普通的AXI測試PCB布局,所有的焊盤都必須進(jìn)行 阻焊處理。這是因?yàn)樽韬笇雍蛯?shí)際的焊盤并沒有真正地接 觸到,在阻焊層和焊盤之間存在著一定的間隙。這樣做的 好處是:焊錫受熱后就可以聚集在焊盤內(nèi),這也使得在XRAY影像中很容易再現(xiàn)焊料的爬升情況。根據(jù)被檢測元件位置的瞬間變化進(jìn)行檢測窗口的自動(dòng)化校正,達(dá)到高精度檢測.相城區(qū)附近自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
錫膏印刷之后如果錫膏印刷過程滿足要求,那么ICT發(fā)現(xiàn)的缺陷數(shù)量可大幅度的減少。典型的印刷缺陷包括以下幾點(diǎn):A.焊盤上焊錫不足。B.焊盤上焊錫過多。C.焊錫對焊盤的重合不良。D.焊盤之間的焊錫橋。在ICT上,相對這些情況的缺陷概率直接與情況的嚴(yán)重性成比例。輕微的少錫很少導(dǎo)致缺陷,而嚴(yán)重的情況,如根本無錫,幾乎總是在ICT造成缺陷。焊錫不足可能是元件丟失或焊點(diǎn)開路的一個(gè)原因。盡管如此,決定哪里放置AOI需要認(rèn)識到元件丟失可能是其它原因下發(fā)生的,這些原因必須放在檢查計(jì)劃內(nèi)。這個(gè)位置的檢查**直接地支持過程跟蹤和特征化。這個(gè)階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括,印刷偏移和焊錫量信息,而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會產(chǎn)生。太倉整套自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制每塊PCB可以采用光學(xué)或者X-ray技術(shù)并運(yùn)用適當(dāng) 的運(yùn)算法則來進(jìn)行檢查。
晶片缺陷檢測儀是一款基于光學(xué)和機(jī)械技術(shù)的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測 [1]。該設(shè)備采用405nm光學(xué)系統(tǒng)與多頻道探測器組合技術(shù),可檢測顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規(guī)格晶片。其自動(dòng)化功能包含機(jī)械手臂傳輸和自動(dòng)對焦系統(tǒng),提升了檢測效率和精度。截至2021年1月,該設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)包括 [1]:1.采用405nm波長的光學(xué)系統(tǒng),提升表面微小缺陷的識別能力;
在優(yōu)化階段,在這方面花時(shí)間的原因是為了不讓任何缺陷溜過去。所有已知的缺陷都必須檢查,同時(shí)要把允許出現(xiàn)的誤報(bào)數(shù)量做到**小。在針對減少誤報(bào)而對任何程序進(jìn)行調(diào)整時(shí),要檢查一下,看看以前檢查出來的真正缺陷,是否得到維修站的證實(shí)。通過綜合的核實(shí),保證檢查程序的質(zhì)量,用于專門的制造和核查,同時(shí)對誤報(bào)進(jìn)行追蹤。無鉛和檢測工藝適應(yīng)性程序沒有發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)到無鉛會對焊點(diǎn)質(zhì)量的檢查帶來什么影響。缺陷看上去還是一樣的。毫無疑問,只需要稍微修改一下數(shù)據(jù)庫,就足以排除其他誤報(bào)可能會帶來的影響。檢測系統(tǒng)配置顯微鏡級物像放大器與照明光源,采用線掃相機(jī)逐行拍攝技術(shù)實(shí)現(xiàn)高速采集 [2]。
配置ULPA過濾器,有效控制檢測環(huán)境中的微粒干擾;3.提供2英寸、3英寸、4英寸及6英寸的夾具適配方案,支持多規(guī)格晶片檢測需求。通過四頻道探測器實(shí)現(xiàn)多維數(shù)據(jù)分析:散射光頻道:捕捉表面散射信號以識別顆粒和微觀形變;反射光頻道:分析晶片反射特性,判斷劃痕和凹坑;項(xiàng)移頻道:檢測晶格結(jié)構(gòu)位移異常;Z頻道:測量縱向維度缺陷參數(shù)。設(shè)備集成以下自動(dòng)化模塊 [1]:1.自動(dòng)對焦系統(tǒng):動(dòng)態(tài)調(diào)整焦距確保檢測精度;2.機(jī)械手臂傳輸:實(shí)現(xiàn)晶片的精細(xì)定位與快速轉(zhuǎn)移,降低人工干預(yù)風(fēng)險(xiǎn);3.**環(huán)及片盒定位器:保障晶片在檢測過程中的穩(wěn)定姿態(tài)。夾緊裝置:實(shí)現(xiàn)檢測物品的精確定位.昆山一體化自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
這個(gè)信息可用來修改元件貼放或表明貼片機(jī)需要校準(zhǔn)。這個(gè)位置的檢查滿足過程跟蹤的目標(biāo)。相城區(qū)附近自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
暗場缺陷檢查設(shè)備是一種**于45納米及以上工藝半導(dǎo)體制造缺陷檢測的分析儀器。該設(shè)備通過低角度散射信號收集技術(shù)抑制前層噪音,顯著提高信噪比,同時(shí)具備檢測0.2微米級微粒缺陷與圖形缺陷的雙重能力 [1-3]。在滿足基本檢測靈敏度的條件下,其吞吐量可達(dá)每小時(shí)20片晶圓 [1-2]。主要應(yīng)用于集成電路研發(fā)領(lǐng)域,典型用戶包括上海集成電路研發(fā)中心有限公司采用低角度散射信號收集技術(shù),通過優(yōu)化光學(xué)路徑抑制晶圓前層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的背景噪音,提升檢測信號與背景噪音的比例 [1-2]。相城區(qū)附近自動(dòng)化缺陷檢測設(shè)備批量定制
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