尾氣處理系統(tǒng)中，顆粒污染物會(huì)影響氧含量檢測(cè)的準(zhǔn)確性（如堵塞采樣探頭），因此需關(guān)聯(lián)檢測(cè)。例如尾氣中的粉塵會(huì)附著在氧傳感器上，導(dǎo)致讀數(shù)偏低，影響燃燒控制。檢測(cè)時(shí)，先測(cè)顆粒度（0.1μm 及以上顆?！?00000 個(gè) /m3），合格后測(cè)氧含量；若顆粒度超標(biāo)，需清潔采樣系統(tǒng)后重新檢測(cè)。尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)若磨損，會(huì)產(chǎn)生金屬顆粒，同時(shí)導(dǎo)致空氣吸入（氧含量升高），因此顆粒度與氧含量均超標(biāo)時(shí)，需檢查風(fēng)機(jī)狀態(tài)。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能確保氧含量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，保障處理系統(tǒng)安全運(yùn)行。高純氣體系統(tǒng)工程的保壓與氦檢漏聯(lián)動(dòng)，確保管道既無(wú)宏觀泄漏也無(wú)微觀泄漏。揭陽(yáng)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)

尾氣處理系統(tǒng)的管道輸送的多為有毒氣體（如氯氣、硫化氫），泄漏會(huì)導(dǎo)致環(huán)境污染與人員中毒，氦檢漏是保障其密封性的關(guān)鍵手段。檢測(cè)時(shí)，將尾氣管道抽真空至≤10Pa，在管道內(nèi)側(cè)充入氦氣（壓力 0.1MPa），外側(cè)用氦質(zhì)譜儀掃描，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。尾氣處理系統(tǒng)的管道多為 FRP（玻璃鋼）或 PVC 材質(zhì)，接頭處若粘結(jié)不牢，易出現(xiàn)微漏；長(zhǎng)期使用后，腐蝕會(huì)導(dǎo)致管壁變薄，也可能產(chǎn)生泄漏。例如在制藥廠的有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)中，若甲苯尾氣泄漏，會(huì)造成 VOCs 超標(biāo)排放，面臨環(huán)保處罰。氦檢漏能準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)這些隱患，確保尾氣 100% 進(jìn)入處理裝置，符合環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。揭陽(yáng)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的氧含量（ppb 級(jí)）檢測(cè)≤50ppb，防止氧氣干擾惰性氣體實(shí)驗(yàn)。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)中的氮?dú)馊粞鹾砍瑯?biāo)，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，尤其在熱處理、焊接等工藝中。例如在軸承淬火中，氮?dú)庵械难鯕鈺?huì)導(dǎo)致軸承表面氧化，硬度下降；在粉末冶金中，氧含量過(guò)高會(huì)導(dǎo)致粉末氧化，影響燒結(jié)后的強(qiáng)度。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用氧化鋯傳感器，在管道出口處采樣，檢測(cè)范圍 1-1000ppb，誤差≤±2%。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道若未徹底置換，或止回閥泄漏，會(huì)導(dǎo)致空氣進(jìn)入 —— 例如氮?dú)夤艿琅c空氣管道并行鋪設(shè)時(shí)，若氮?dú)鈮毫Φ陀诳諝鈮毫?，?huì)發(fā)生倒灌。通過(guò)氧含量檢測(cè)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題，確保氮?dú)饧兌龋ㄑ鹾俊?0ppb）滿足工藝要求，這是工業(yè)集中供氣系統(tǒng)質(zhì)量的重要指標(biāo)。

尾氣處理系統(tǒng)中，某些尾氣（如可燃性氣體）的氧含量需嚴(yán)格控制，防止發(fā)生事故。例如在化工企業(yè)的甲醇尾氣處理中，氧含量超過(guò) 5% 會(huì)形成危險(xiǎn)混合物，遇明火引發(fā)事故；在催化燃燒系統(tǒng)中，氧含量不足會(huì)導(dǎo)致燃燒不完全，處理效率下降。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用磁氧分析儀，在尾氣進(jìn)入處理設(shè)備前采樣，檢測(cè)范圍 0-10000ppm（可擴(kuò)展至 ppb 級(jí)），精度≤±0.1% FS。檢測(cè)時(shí)需關(guān)注管道是否泄漏 —— 若空氣滲入尾氣管道，會(huì)導(dǎo)致氧含量升高，因此尾氣處理系統(tǒng)需先通過(guò)保壓測(cè)試確保密封性，再進(jìn)行氧含量檢測(cè)。通過(guò)嚴(yán)格的氧含量控制，可保障尾氣處理系統(tǒng)的安全運(yùn)行，避免事故發(fā)生。大宗供氣系統(tǒng)的氧含量（ppb 級(jí)）檢測(cè)需≤50ppb，避免氧氣超標(biāo)導(dǎo)致金屬加工件氧化。

高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道泄漏率的要求遠(yuǎn)高于普通工業(yè)管道，因?yàn)槟呐率?1×10??Pa?m3/s 的微漏，也會(huì)導(dǎo)致高純氣體（純度 99.9999%）被空氣污染。氦檢漏需采用 “真空法”：先對(duì)管道抽真空至≤1Pa，再在管道外側(cè)噴氦氣，內(nèi)側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)。氦氣分子直徑?。?.31nm），易穿透微小縫隙，檢漏靈敏度可達(dá) 1×10?12Pa?m3/s。在高純氧氣、氫氣系統(tǒng)中，泄漏會(huì)導(dǎo)致氣體純度下降 —— 例如電子級(jí)氧氣中若混入空氣，氧含量降至 99.999%，會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓氧化層厚度不均。氦檢漏能準(zhǔn)確定位泄漏點(diǎn)（如閥門(mén)填料函、焊接熱影響區(qū)），為修復(fù)提供依據(jù)，是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “硬性指標(biāo)”。高純氣體系統(tǒng)工程保壓測(cè)試，壓力 0.6MPa，24 小時(shí)壓降≤0.03MPa，確保無(wú)泄漏。揭陽(yáng)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)

電子特氣系統(tǒng)工程的顆粒污染物控制，需結(jié)合 0.1 微米檢測(cè)和管道吹掃工藝。揭陽(yáng)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)

高純氣體系統(tǒng)工程中，保壓測(cè)試可初步判斷泄漏，氦檢漏則準(zhǔn)確定位，兩者需聯(lián)動(dòng)進(jìn)行。保壓測(cè)試發(fā)現(xiàn)壓力降超標(biāo)（>0.5%）后，立即用氦檢漏定位泄漏點(diǎn)；保壓合格但需驗(yàn)證微小泄漏時(shí)，也需用氦檢漏（泄漏率≤1×10?1?Pa?m3/s）。例如某光纖廠的高純氦氣系統(tǒng)，保壓測(cè)試壓力降 0.3%（合格），但氦檢漏發(fā)現(xiàn)過(guò)濾器密封不良（泄漏率 5×10??Pa?m3/s），長(zhǎng)期運(yùn)行會(huì)導(dǎo)致純度下降。這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能多方面保障系統(tǒng)密封性，避免 “保壓合格但仍有微漏” 的隱患，符合高純氣體系統(tǒng)的嚴(yán)苛要求。揭陽(yáng)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)