高純氣體系統(tǒng)工程對(duì)管道密封性的要求堪稱苛刻，哪怕微小泄漏都可能引入雜質(zhì)，破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測(cè)手段，在該系統(tǒng)中不可或缺。檢測(cè)時(shí)，先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa，再向管道內(nèi)側(cè)充入 5% 氦氣與 95% 氮?dú)獾幕旌蠚怏w，外側(cè)用氦質(zhì)譜檢漏儀探頭掃描。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s，這一精度遠(yuǎn)高于肥皂水檢漏等傳統(tǒng)方法。對(duì)于輸送超高純氮?dú)猓兌?99.9999%）或電子級(jí)氨氣的管道，氦檢漏能準(zhǔn)確定位焊接缺陷、閥門(mén)密封不良等問(wèn)題，避免微量泄漏導(dǎo)致的氣體純度下降 —— 要知道，電子級(jí)氣體中雜質(zhì)含量需控制在 ppb 級(jí)，任何泄漏引入的空氣（含氧氣、水分）都會(huì)直接影響產(chǎn)品良率，因此氦檢漏是高純氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收的 “必過(guò)項(xiàng)”。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)保壓測(cè)試 0.6MPa，24 小時(shí)壓降≤0.02MPa，保障氣動(dòng)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。廣州實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)水分（ppb級(jí)）

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的保壓測(cè)試不合格（存在泄漏）會(huì)導(dǎo)致氧含量超標(biāo)，因此需聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。例如氮?dú)夤艿佬孤?huì)吸入空氣，導(dǎo)致氧含量從 50ppb 升至 5000ppb，影響產(chǎn)品質(zhì)量。檢測(cè)時(shí)，保壓測(cè)試合格（壓力降≤0.5%）后，再測(cè)氧含量（≤100ppb）；若保壓不合格，氧含量檢測(cè)必超標(biāo)的概率達(dá) 90% 以上。這種聯(lián)動(dòng)檢測(cè)能快速定位問(wèn)題：若保壓合格但氧含量超標(biāo)，可能是制氮機(jī)純度不足；若保壓不合格且氧含量超標(biāo)，必為管道泄漏。對(duì)于工業(yè)集中供氣系統(tǒng)而言，這種方法能提高檢測(cè)效率，準(zhǔn)確排查隱患。揭陽(yáng)電子特氣系統(tǒng)工程氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)的氦檢漏，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，保障易燃易爆氣體使用安全。

高純氣體系統(tǒng)工程中，顆粒是浮游菌的載體，因此需聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。例如 0.1 微米以上的顆?？晌郊?xì)菌，隨氣體進(jìn)入生產(chǎn)環(huán)境，導(dǎo)致產(chǎn)品污染。檢測(cè)時(shí)，顆粒度合格（0.1μm 及以上顆粒≤1000 個(gè) /m3）后，測(cè)浮游菌（≤1CFU/m3）；若顆粒度超標(biāo)，需先凈化再測(cè)浮游菌。高純氣體系統(tǒng)需安裝 “高效過(guò)濾 + 除菌過(guò)濾” 組合裝置，且過(guò)濾器需定期完整性測(cè)試，而關(guān)聯(lián)檢測(cè)能驗(yàn)證過(guò)濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標(biāo)，可能是除菌過(guò)濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度，符合生物制藥、微電子等行業(yè)的嚴(yán)苛要求。

大宗供氣系統(tǒng)的管道輸送量大、距離長(zhǎng)，微小泄漏會(huì)導(dǎo)致氣體大量浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成本，氦檢漏能準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)這類問(wèn)題。檢測(cè)時(shí)，向管道內(nèi)充入氦氣（壓力 0.3MPa），用氦質(zhì)譜檢漏儀在管道外側(cè)掃描，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。大宗供氣系統(tǒng)的管道多為螺旋縫埋弧焊鋼管，焊接處若存在氣孔、未焊透等缺陷，會(huì)導(dǎo)致泄漏 —— 例如某鋼廠的氧氣管道，年泄漏量可達(dá) 5000m3，損失超過(guò) 10 萬(wàn)元。氦檢漏能定位這些泄漏點(diǎn)，尤其是埋地管道的泄漏（可通過(guò)地表氦氣濃度檢測(cè)發(fā)現(xiàn)），為修復(fù)提供準(zhǔn)確位置，降低氣體損耗。對(duì)于大宗供氣系統(tǒng)而言，氦檢漏不僅是質(zhì)量保障手段，更是降本增效的重要措施。尾氣處理系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，需在處理前后對(duì)比，評(píng)估凈化效果。

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)中的氮?dú)馊粞鹾砍瑯?biāo)，會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，尤其在熱處理、焊接等工藝中。例如在軸承淬火中，氮?dú)庵械难鯕鈺?huì)導(dǎo)致軸承表面氧化，硬度下降；在粉末冶金中，氧含量過(guò)高會(huì)導(dǎo)致粉末氧化，影響燒結(jié)后的強(qiáng)度。ppb 級(jí)氧含量檢測(cè)需用氧化鋯傳感器，在管道出口處采樣，檢測(cè)范圍 1-1000ppb，誤差≤±2%。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的管道若未徹底置換，或止回閥泄漏，會(huì)導(dǎo)致空氣進(jìn)入 —— 例如氮?dú)夤艿琅c空氣管道并行鋪設(shè)時(shí)，若氮?dú)鈮毫Φ陀诳諝鈮毫?，?huì)發(fā)生倒灌。通過(guò)氧含量檢測(cè)，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)這些問(wèn)題，確保氮?dú)饧兌龋ㄑ鹾俊?0ppb）滿足工藝要求，這是工業(yè)集中供氣系統(tǒng)質(zhì)量的重要指標(biāo)。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，每立方米≤10000 個(gè)，保護(hù)精密設(shè)備。廣州工業(yè)集中供氣系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)氧含量（ppb級(jí)）

高純氣體系統(tǒng)工程的 0.1 微米顆粒度檢測(cè)，每立方米顆粒需≤1000 個(gè)，保障氣體潔凈度。廣州實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)水分（ppb級(jí)）

電子特氣系統(tǒng)工程中，管道泄漏會(huì)吸入顆粒污染物，因此保壓測(cè)試與顆粒度檢測(cè)需聯(lián)動(dòng)。例如某半導(dǎo)體廠的特氣管道因閥門(mén)泄漏，吸入車間粉塵，導(dǎo)致 0.1 微米顆粒超標(biāo)，影響晶圓質(zhì)量。檢測(cè)時(shí)，保壓測(cè)試合格（壓力降≤0.5%）后，測(cè)顆粒度；若保壓不合格，需修復(fù)后重新檢測(cè)。電子特氣系統(tǒng)的管道需采用無(wú)縫設(shè)計(jì)，避免死角積塵，而保壓測(cè)試能驗(yàn)證焊接和閥門(mén)的密封性，顆粒度檢測(cè)能驗(yàn)證清潔效果。這種關(guān)聯(lián)檢測(cè)能保障特氣潔凈度，符合半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)。廣州實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)氣體管道五項(xiàng)檢測(cè)水分（ppb級(jí)）