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矽睿科技獲TüV萊茵 ISO 26262 認(rèn)證
國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展,技術(shù)創(chuàng)新與市場機(jī)遇并存
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應(yīng),又能與堿反應(yīng),所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,油墨型號(hào)為80-39、80-59、80-49等。這種耐腐蝕油墨細(xì)膩,印出的紋樣質(zhì)量高。印完紋樣后放進(jìn)電爐內(nèi)烘干,然后用即時(shí)貼封住后面,用膠帶封邊,進(jìn)入腐蝕工藝。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時(shí)應(yīng)平放,在腐蝕的過程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,應(yīng)隨時(shí)用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起。鋁板的腐蝕時(shí)間大約在15~20min左右就可完成。一般情況下鋁板厚度不應(yīng)低于1mm,否則一不小心會(huì)腐蝕透,影響效果。鋁板的防護(hù)材料用香蕉水去掉。腐蝕后的鋁板拋光和銅板一樣,拋光時(shí)用香蕉水搓凈余蠟,用另一塊棉花擦磨出亮光,然后噴護(hù)光劑防護(hù),其它同銅一樣加工。)蘇州博洋生產(chǎn)BOE蝕刻液。無錫BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠

本實(shí)用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術(shù):線路板生產(chǎn)工業(yè)中,會(huì)對(duì)已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進(jìn)行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進(jìn)行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進(jìn)入分離器,會(huì)在分離器中發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導(dǎo)致了產(chǎn)品發(fā)生損失。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:基于此,有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設(shè)有減壓閥,所述蒸汽出口處設(shè)有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經(jīng)除霧組件除霧的氣體進(jìn)行除沫。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除霧組件為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除沫組件為絲網(wǎng)。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器設(shè)有液位計(jì)、液位開關(guān)、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中。成都BOE蝕刻液蝕刻液推薦貨源如何正確使用蝕刻液。

etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實(shí)施方式本發(fā)明人確認(rèn)了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時(shí)能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中,蝕刻對(duì)象膜可以為氮化物膜,保護(hù)對(duì)象膜可以為氧化物膜。此外,本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言,本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學(xué)式)滿足。本發(fā)明中,各添加劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外,由此計(jì)算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果,可以確認(rèn)到上述添加劑的aeff值推薦滿足。
將蝕刻液通過回流管抽入到一號(hào)排液管中,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設(shè)置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進(jìn)液管流入到電解池中時(shí),啟動(dòng)液壓缸帶動(dòng)伸縮桿向上移動(dòng),從而通過圓環(huán)塊配合伸縮管帶動(dòng)噴頭向上移動(dòng),進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對(duì)電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池的功能;該回收處理裝置通過設(shè)置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動(dòng)抽氣泵,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導(dǎo)入到集氣箱中,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓泵并打開三號(hào)電磁閥,將蓄水箱中的清水通過抽水管抽入到進(jìn)液管中,將裝置主體內(nèi)部的蝕刻液進(jìn)行清洗,具有很好的清理作用。附圖說明圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明圖2中a的示意圖;圖4為本發(fā)明圖3的整體示意圖;圖5為本發(fā)明電解池的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1、裝置主體;2、分隔板;3、承載板;4、電解池;5、隔膜;6、進(jìn)液漏斗;7、過濾網(wǎng);8、進(jìn)液管;9、伸縮管;10、噴頭;11、液壓缸。什么制程中需要使用蝕刻液。

從蝕刻速度及安全性的觀點(diǎn)來看,推薦為40℃至70℃,更推薦為45℃至55℃。處理時(shí)間視對(duì)象物的表面狀態(tài)及形狀等而變化,通常為30秒至120秒左右。實(shí)施例然后,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例與比較例一起進(jìn)行說明。此外,本發(fā)明并非限定于下述實(shí)施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液,在下述條件下進(jìn)行蝕刻試驗(yàn)及蝕刻液的穩(wěn)定性試驗(yàn)。此外,表1及表2所示的組成的各蝕刻液中,剩余部分為離子交換水。另外,表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計(jì)的濃度。(蝕刻試驗(yàn))通過濺鍍法在樹脂上形成50nm的鈦膜,然后成膜200nm的銅膜,進(jìn)而通過電鍍銅在該銅膜上形成圖案,將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液,將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后,將試樣浸漬在實(shí)施例1至實(shí)施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進(jìn)行蝕刻實(shí)驗(yàn)。將實(shí)驗(yàn)結(jié)果示于表1。[表1]像表1所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩(wěn)定性試驗(yàn))將實(shí)施例1、實(shí)施例7、實(shí)施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后,進(jìn)行所述蝕刻試驗(yàn),比較放置前后的蝕刻速度。將比較結(jié)果示于表2。[表2]像表2所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液的保存穩(wěn)定性優(yōu)異,即便在長期保存的情況下也可穩(wěn)定地選擇性地蝕刻鈦。BOE蝕刻液生產(chǎn)廠家就找蘇州博洋化學(xué)股份。廣州格林達(dá)蝕刻液商家
哪家蝕刻液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?無錫BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠
目前的平面顯示裝置,尤其是有機(jī)電激發(fā)光顯示器,多使用鉻金屬作為導(dǎo)線的材料。但是因?yàn)殂t金屬的阻值高,因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導(dǎo)線的材料。以往曾經(jīng)有提議以銀作為平面顯示裝置的導(dǎo)線材料,但是因?yàn)闊o適當(dāng)穩(wěn)定的蝕刻液組成物,所以并未有***的運(yùn)用。近幾年為提高平面顯示裝置的效能,研究者仍專注于如何降低導(dǎo)線材料的電阻值。銀合金目前被視為適當(dāng)?shù)膶?dǎo)線材料,因其阻值低于其他的金屬。此外,含銀量超過80%以上的銀合金,雖然阻值未若銀金屬一般低,但是其阻值遠(yuǎn)低于鉻金屬。然而由于銀合金未具有適當(dāng)?shù)奈g刻液,所以并沒有廣泛應(yīng)用于晶片或面板的黃光制程。發(fā)明人爰因于此,本于積極發(fā)明的精神,亟思一種可以解決上述問題的“銀合金蝕刻液”,幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成此項(xiàng)嘉惠世人的發(fā)明。無錫BOE蝕刻液蝕刻液銷售廠