圖7:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖。圖8:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖9:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖11:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖12:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實(shí)用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號(hào)說明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風(fēng)刀c氣體本實(shí)用新型1蝕刻設(shè)備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風(fēng)刀裝置41***風(fēng)刀42第二風(fēng)刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實(shí)施方式首先,請參閱圖2與圖3所示,為本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)10適用于一濕式蝕刻機(jī)(圖式未標(biāo)示)。蝕刻液的大概費(fèi)用大概是多少?佛山ITO蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
很好的對注入量進(jìn)行精確控制,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實(shí)用新型的整體示意圖;圖2為本實(shí)用新型的a處放大示意圖;圖3為本實(shí)用新型的b處放大示意圖;圖4為本實(shí)用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中:1、制備裝置主體,2、高效攪拌裝置,3、過濾除雜裝置,4、翻折觀察板,401、觀察窗翻折滾輪,402、內(nèi)嵌觀察窗,5、裝置底座,6、成品罐,7、鹽酸裝罐,8、硝酸裝罐,9、熱水流入漏斗,10、加固支架,11、防燙隔膜,12、旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,13、運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,14、震蕩彈簧件,15、控制面板,16、致密防腐桿,17、攪動(dòng)孔,18、注入量控制容器,19、注入量觀察刻度線,20、限流銷,21、負(fù)壓引流器,22、嵌入引流口。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例**是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖1-4,本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:一種ito蝕刻液制備裝置,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3。南京京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售廠家蝕刻液適用于哪些行業(yè)。
將蝕刻液通過回流管抽入到一號(hào)排液管中,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;該回收處理裝置通過設(shè)置有伸縮管與伸縮桿,能夠在蝕刻液通過進(jìn)液管流入到電解池中時(shí),啟動(dòng)液壓缸帶動(dòng)伸縮桿向上移動(dòng),從而通過圓環(huán)塊配合伸縮管帶動(dòng)噴頭向上移動(dòng),進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對電解池造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)電解池的功能;該回收處理裝置通過設(shè)置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動(dòng)抽氣泵,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導(dǎo)入到集氣箱中,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓泵并打開三號(hào)電磁閥,將蓄水箱中的清水通過抽水管抽入到進(jìn)液管中,將裝置主體內(nèi)部的蝕刻液進(jìn)行清洗,具有很好的清理作用。附圖說明圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為本發(fā)明圖2中a的示意圖;圖4為本發(fā)明圖3的整體示意圖;圖5為本發(fā)明電解池的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1、裝置主體;2、分隔板;3、承載板;4、電解池;5、隔膜;6、進(jìn)液漏斗;7、過濾網(wǎng);8、進(jìn)液管;9、伸縮管;10、噴頭;11、液壓缸。
本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí),對于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴(yán)格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合。現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會(huì)的需求。所以,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當(dāng)前需要解決的問題。哪家蝕刻液質(zhì)量比較好一點(diǎn)?
所述制備裝置主體的內(nèi)部中間部位活動(dòng)連接有高效攪拌裝置,所述制備裝置主體的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板,所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座,所述裝置底座的內(nèi)部底部固定連接有成品罐,所述裝置底座的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐,所述裝置底座的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部中間部位活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部兩側(cè)活動(dòng)連接有震蕩彈簧件,所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,所述運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組的頂端電性連接有控制面板,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿,所述致密防腐桿的內(nèi)部內(nèi)側(cè)貫穿連接有攪動(dòng)孔,所述鹽酸裝罐的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有嵌入引流口,所述嵌入引流口的一端固定連接有負(fù)壓引流器,所述負(fù)壓引流器的一端固定連接有注入量控制容器,所述注入量控制容器的內(nèi)部內(nèi)側(cè)固定連接有注入量觀察刻度線,所述注入量控制容器的一側(cè)嵌入連接有限流銷。推薦的,所述翻折觀察板的內(nèi)部頂部活動(dòng)連接有觀察窗翻折滾輪,所述觀察窗翻折滾輪的底端活動(dòng)連接有內(nèi)嵌觀察窗。推薦的,所述鹽酸裝罐的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗。推薦的,所述裝置底座的內(nèi)部兩側(cè)緊密焊接有加固支架。蝕刻液可以用在哪些行業(yè)當(dāng)中?南京京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售廠家
什么制程中需要使用蝕刻液。佛山ITO蝕刻液蝕刻液費(fèi)用
為本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實(shí)施例的宣泄孔排列示意圖,在本實(shí)用新型其二較佳實(shí)施例中,開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w1,其中w1大于圖3的w或圖5的w2,其中w2大于w,而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請參閱圖6與圖7所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖,其中本實(shí)用新型的蝕刻設(shè)備1設(shè)置于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體(圖式未標(biāo)示)內(nèi),該蝕刻設(shè)備1包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)10、一輸送裝置30、一基板20,以及一風(fēng)刀裝置40,其中本實(shí)用新型主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的擋液板結(jié)構(gòu)10搭配該風(fēng)刀裝置40的硬體設(shè)計(jì),有效使該風(fēng)刀裝置40吹出的氣體43得以由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121宣泄。佛山ITO蝕刻液蝕刻液費(fèi)用