silane)系偶聯(lián)劑和水，上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外，提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法，其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法，其特征在于，選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外，本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。廣州銅蝕刻液蝕刻液

技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差，連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置，包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機，所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿，所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線，所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器，所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機，所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐，所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐，所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉，所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機，所述攪拌倉的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐，所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐，所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐，所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐，所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐，所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐，所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件。佛山京東方用的蝕刻液蝕刻液廠家現(xiàn)貨哪家蝕刻液的的性價比好。

過濾器的出液管自動上行離開儲存罐，將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中，將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術(shù)方案外，還包括以下技術(shù)特征：進一步的是，所述地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊，所述卡塊與平臺之間形成一插槽；所述氣動夾緊機構(gòu)包括氣缸和壓緊塊，所述壓緊塊位于所述插槽中，所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是，所述拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是，所述拖車的頂部設(shè)置有一集液盒，所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是，所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：1.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐，并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn)，如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線，即提高了單瓶灌裝精度和效率，又降低了企業(yè)的人力成本投入；2.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐，在儲存罐內(nèi)在進液時，其它儲存罐可以進行定量灌裝，提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案。

etchingamount)的相互關(guān)系的圖表。具體實施方式本發(fā)明人確認了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數(shù)值時能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優(yōu)異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發(fā)明中，蝕刻對象膜可以為氮化物膜，保護對象膜可以為氧化物膜。此外，本發(fā)明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。<蝕刻液組合物>具體而言，本發(fā)明可以包含磷酸、添加劑和水，上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯(lián)劑。本發(fā)明的上述添加劑的特征在于，使上述添加劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以(參照以下數(shù)學式)滿足。本發(fā)明中，各添加劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量的例子示于表3中。此外，由此計算的各添加劑的aeff值和與此有關(guān)的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結(jié)果，可以確認到上述添加劑的aeff值推薦滿足。蝕刻液運用在平板顯示中的配方是什么；

經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會夾帶著泡沫，泡沫中還是含有銅元素，為進一步提高回收效率，需對氣體和泡沫進行分離，泡沫與絲網(wǎng)碰撞時會吸附在絲網(wǎng)的細絲表面，細絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降，使泡沫形成較大的液滴沿細絲流至兩根絲的交點，當液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過氣體的上升力和液體表面張力合力時，液滴就從細絲上分離下落，氣體在通過絲網(wǎng)除沫后，基本上不含泡沫。在一個實施例中，如圖1所示，所述分離器設(shè)有液位計7、液位開關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸，產(chǎn)生二次蒸汽，使氣液分離的效率更高，所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變，通過觀察液位計7來使用液位開關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定，保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計的狀態(tài)下。在一個實施例中，如圖1所示，所述液位計7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計7，工作人員可以通過觀察液位計7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器，在分離器內(nèi)液面處工作，壓力傳感器8安裝在分離器底部，有效測量分離器內(nèi)液壓。在一個實施例中，如圖1所示?！覆┭蠡瘜W」專業(yè)生產(chǎn)蝕刻液廠家,選用環(huán)保型的蝕刻液,產(chǎn)品用的放心!江蘇天馬用的蝕刻液蝕刻液批量定制

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負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征，上述氧化物膜推薦包含sio2，上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序，能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應(yīng)氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑，在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時，能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生**少化。因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發(fā)生，氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發(fā)生。以下，對于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進行更詳細的說明。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用。相對于組合物總重量，上述磷酸的含量為50～95重量％，推薦為80～90重量％。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下。廣州銅蝕刻液蝕刻液