一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法技術(shù)領(lǐng)域1.本技術(shù)涉及化學(xué)蝕刻技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。背景技術(shù):2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過(guò)化學(xué)蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對(duì)于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對(duì)ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術(shù)難題,本技術(shù)提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。4.具體地,本技術(shù)首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數(shù)的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過(guò)對(duì)蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進(jìn)行精確限定,以實(shí)現(xiàn)了對(duì)王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調(diào)控,并在一定程度上實(shí)現(xiàn)了對(duì)蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35哪家的蝕刻液的價(jià)格優(yōu)惠?安慶天馬用的蝕刻液蝕刻液供應(yīng)

經(jīng)除霧組件3除霧后的氣體會(huì)夾帶著泡沫,泡沫中還是含有銅元素,為進(jìn)一步提高回收效率,需對(duì)氣體和泡沫進(jìn)行分離,泡沫與絲網(wǎng)碰撞時(shí)會(huì)吸附在絲網(wǎng)的細(xì)絲表面,細(xì)絲表面上泡沫不斷累積和泡沫的重力沉降,使泡沫形成較大的液滴沿細(xì)絲流至兩根絲的交點(diǎn),當(dāng)液滴累積至其自身產(chǎn)生的重力超過(guò)氣體的上升力和液體表面張力合力時(shí),液滴就從細(xì)絲上分離下落,氣體在通過(guò)絲網(wǎng)除沫后,基本上不含泡沫。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述分離器設(shè)有液位計(jì)7、液位開(kāi)關(guān)9、液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。蒸汽從加熱器11到分離器會(huì)因分離器內(nèi)壓力小而發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生二次蒸汽,使氣液分離的效率更高,所以要維持分離器內(nèi)的壓力不變,通過(guò)觀察液位計(jì)7來(lái)使用液位開(kāi)關(guān)9控制分離器內(nèi)壓力穩(wěn)定,保證分離器的工作狀態(tài)在設(shè)計(jì)的狀態(tài)下。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,所述液位計(jì)7連接有液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8。液相氣相溫度傳感器6和壓力傳感器8將分離器內(nèi)的工作情況反映到液位計(jì)7,工作人員可以通過(guò)觀察液位計(jì)7知道分離器內(nèi)的工作情況。液相氣相溫度傳感器6采用漂浮式傳感器,在分離器內(nèi)液面處工作,壓力傳感器8安裝在分離器底部,有效測(cè)量分離器內(nèi)液壓。在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示。江蘇BOE蝕刻液蝕刻液什么價(jià)格性價(jià)比高的蝕刻液哪里可以買(mǎi)到;

近年來(lái),oled顯示器廣泛應(yīng)用于手機(jī)和平板顯示。金屬銀以優(yōu)異的電導(dǎo)率和載流子遷移率被廣泛應(yīng)用于oled顯示器的陽(yáng)極布線(ito/ag/ito)結(jié)構(gòu)中。為了對(duì)此進(jìn)行蝕刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,但在實(shí)際使用過(guò)程中仍會(huì)存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問(wèn)題。4.本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過(guò)程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問(wèn)題。5.本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:6.一種銀蝕刻液組合物,其成分由質(zhì)量占比為40-60%磷酸、2-10%硝酸、%有機(jī)酸、%硝酸鹽、%含氮元素有機(jī)物、其余為水組成。
推薦的,所述制備裝置主體的兩端緊密貼合有防燙隔膜。推薦的,所述高效攪拌裝置是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán),內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)的震蕩彈簧件,震蕩彈簧件頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組頂端的控制面板,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿和致密防腐桿內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)的攪動(dòng)孔共同組合而成。推薦的,所述注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口,嵌入引流口一端的負(fù)壓引流器,負(fù)壓引流器一端的注入量控制容器,注入量控制容器內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線和注入量控制容器一側(cè)的限流銷(xiāo)共同組合而成。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本種實(shí)用新型的有益效果是:1.通過(guò)設(shè)置高效攪拌裝置,該裝置通過(guò)運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán),使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán)帶動(dòng)高效攪拌裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,高效攪拌裝置內(nèi)部的蝕刻液通過(guò)內(nèi)置的致密防腐桿,致密防腐桿內(nèi)部的攪動(dòng)孔能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉,攪拌均勻效果較好。2.通過(guò)設(shè)置高效攪拌裝置,通過(guò)設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置,工作人員通過(guò)負(fù)壓引流器將鹽酸硝酸引向注入量控制容器內(nèi),通過(guò)觀察注入量控制容器內(nèi)的注入量觀察刻度線對(duì)注入量進(jìn)行精確控制,當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的注入量時(shí)將限流銷(xiāo)插入進(jìn)行限流即可。剝離液可以有正膠和負(fù)膠以及正負(fù)膠不同的分類(lèi)。

過(guò)濾器的出液管自動(dòng)上行離開(kāi)儲(chǔ)存罐,將裝滿的儲(chǔ)存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車(chē)間移動(dòng)至自動(dòng)灌裝車(chē)間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲(chǔ)存罐的出液口中便可將儲(chǔ)存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。本實(shí)用新型除上述技術(shù)方案外,還包括以下技術(shù)特征:進(jìn)一步的是,所述地磅的頂部平臺(tái)中設(shè)置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺(tái)之間形成一插槽;所述氣動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu)包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進(jìn)一步的是,所述拖車(chē)的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲(chǔ)存罐外部的護(hù)欄。進(jìn)一步的是,所述拖車(chē)的頂部設(shè)置有一集液盒,所述儲(chǔ)存罐安裝在所述集液盒中。進(jìn)一步的是,所述拖車(chē)的頂部于所述儲(chǔ)存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐,并采用液壓升降式拖車(chē)帶著儲(chǔ)存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車(chē)間與自動(dòng)灌裝車(chē)間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動(dòng)灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;2.將原有的大型儲(chǔ)存罐更換成數(shù)個(gè)小型儲(chǔ)存罐,在儲(chǔ)存罐內(nèi)在進(jìn)液時(shí),其它儲(chǔ)存罐可以進(jìn)行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案。如何選擇一家好的做蝕刻液的公司。成都銅鈦蝕刻液蝕刻液銷(xiāo)售廠
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司使命必達(dá)。安慶天馬用的蝕刻液蝕刻液供應(yīng)
本發(fā)明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。背景技術(shù):參照?qǐng)D1,可以確認(rèn)3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過(guò)在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來(lái)制造。在不損傷氧化物膜的同時(shí)將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術(shù)之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時(shí)*將氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不損傷氧化物膜的范圍內(nèi)將氮化物膜完全去除時(shí),會(huì)使用防蝕能力強(qiáng)的添加劑,由此可能發(fā)生氮化物膜沒(méi)有被完全去除的工序不良(參照?qǐng)D2)。此外,想要將氮化物膜完全去除時(shí),會(huì)使用防蝕能力弱的添加劑,由此雖然氮化物膜被完全去除,但是可能發(fā)生對(duì)氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照?qǐng)D3)。以往,為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當(dāng)水平的防蝕能力的添加劑時(shí),按照添加劑的種類(lèi)和濃度通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行確認(rèn)。沒(méi)有這樣的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)就選擇添加劑實(shí)際上是不可能的。安慶天馬用的蝕刻液蝕刻液供應(yīng)