江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-11-04
從石英切換到碳化硅,由于材料物理性能差異,部分工藝參數(shù)確實(shí)需要調(diào)整。主要差異和調(diào)整:熱膨脹系數(shù)——碳化硅的熱膨脹系數(shù)與氮化硅、多晶硅相近,低于石英,裝配間隙設(shè)計(jì)可能需微調(diào);導(dǎo)熱系數(shù)——碳化硅導(dǎo)熱系數(shù)遠(yuǎn)高于石英,升降溫速度可以更快,溫度分布更均勻,可能需要優(yōu)化加熱曲線;使用溫度上限——碳化硅使用溫度1350℃,可以提高工藝溫度以改善產(chǎn)品性能或提高產(chǎn)能;熱震性能——碳化硅抗熱震性能優(yōu)于石英,溫度變化速率可以適當(dāng)提高。其他注意:碳化硅比石英重,需確認(rèn)支撐結(jié)構(gòu)承載能力;碳化硅表面特性不同,可能影響晶圓吸附力,需測(cè)試調(diào)整。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司的碳化硅懸臂槳、爐管、晶舟等已完成高純碳化硅部件的國(guó)產(chǎn)化替代,有豐富的工藝轉(zhuǎn)換經(jīng)驗(yàn)。
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