杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-11-01
全自動(dòng)超聲掃描顯微鏡的檢測(cè)效率主要受掃描速度、信號(hào)處理能力與樣品固定方式影響。高速掃描模式下,設(shè)備通過線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)換能器實(shí)現(xiàn)500mm/s的移動(dòng)速度,配合并行信號(hào)采集技術(shù),可在40秒內(nèi)完成10mm×10mm區(qū)域的檢測(cè)。然而,若樣品固定不穩(wěn)導(dǎo)致振動(dòng),或材料內(nèi)部存在多層結(jié)構(gòu)需多次聚焦,會(huì)***延長檢測(cè)時(shí)間。例如,檢測(cè)堆疊式芯片時(shí),需分階段調(diào)整焦距以覆蓋不同深度層,單件檢測(cè)時(shí)間可能超過2分鐘。
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檢測(cè)效率與設(shè)備硬件配置及軟件算法優(yōu)化密切相關(guān)。**型號(hào)采用多探頭陣列(如四探頭系統(tǒng)),可同時(shí)采集多個(gè)區(qū)域的反射信號(hào),將檢測(cè)速度提升至傳統(tǒng)單探頭設(shè)備的3倍。此外,基于深度學(xué)習(xí)的圖像識(shí)別算法可自動(dòng)過濾無關(guān)信號(hào),減少人工復(fù)核環(huán)節(jié)。例如,在電池極片檢測(cè)中,系統(tǒng)通過預(yù)訓(xùn)練模型識(shí)別極耳焊接缺陷,單片檢測(cè)時(shí)間從120秒縮短至30秒,且誤檢率低于0.5%。
環(huán)境因素與操作參數(shù)設(shè)置對(duì)檢測(cè)效率有***影響。設(shè)備在20-35℃、濕度≤50%RH的環(huán)境中可保持比較好性能,若溫度過高會(huì)導(dǎo)致耦合水蒸發(fā),需頻繁補(bǔ)水中斷檢測(cè)流程。操作參數(shù)方面,增益設(shè)置過高會(huì)引入噪聲信號(hào),降低圖像信噪比,迫使系統(tǒng)降低掃描速度以重復(fù)采集數(shù)據(jù);而增益不足則可能遺漏微小缺陷。例如,檢測(cè)陶瓷基板時(shí),需將增益控制在60-70dB范圍內(nèi),才能在保證分辨率的同時(shí)維持400mm2/s的檢測(cè)速度。
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