探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓,易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備、PC或軟件。上海勤確科技有限公司追求客戶的數量遠不是我們的目的。湖南全自動探針臺生產

晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內部備用資源可用于修復(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的,則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記,或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。山東溫控探針臺供應盡管隨著探針壓力的增強,接觸電阻逐漸降低,終它會達到兩金屬的標稱接觸電阻值。

半導體生產過程中的探測,可略分為三大類:1.參數探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進行探測。當測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司
半導體測試是半導體生產過程中的重要環(huán)節(jié),其測試設備包括測試機、分選機、探針臺。其中,測試機是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設備,分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業(yè)設備,與測試機共同實現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內封裝測試業(yè)產能擴張,半導體測試設備市場快速發(fā)展。作為半導體封測行業(yè)三大設備之一,探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試,研發(fā)難度大,國產化率低,進口依賴度高,它的品質和精度直接決定測試可靠性與否。測試信號的完整性需要高質量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。

高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環(huán)境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環(huán)境的模擬測試,有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在,通過氣流的特性,填充滿密封腔體內,使腔體里內的氣體露的點進行降低直至到一定的點。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。遼寧智能探針臺價格
上海勤確科技有限公司堅持科學管理規(guī)范、完善服務標準。湖南全自動探針臺生產
探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,氣壓為0.4±0.04MPa。相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。湖南全自動探針臺生產