正壓漏率與真空漏率:正壓漏率是指泄漏到大氣的漏率,真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流與粘滯流,其中分子流與壓力差成正比,粘滯流與壓力平方差成正比。一般來說,對于同一個漏孔,內(nèi)部壓力>10Bar,正壓漏率≈真空漏率。漏孔壓力與漏率衰減計算:10-1-10-6mbar.L/sec的漏孔,漏率與壓力平方成近似正比,壓力衰減,漏率也會衰減。計算時假定一段時間△t漏率不變,例如1個160cc的氣室,充氣壓力106bar,起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我們?nèi)?天為△t,以計算1天衰減后的壓力和漏率(同樣△t可以去1h,1min,或ls,乃至更小,但計算量線性增加)再以該計算的漏率計算第2天衰減后的壓力和漏率,以此類推,可以計算1年或某個時間的壓力衰減及漏率。標(biāo)準漏孔連接接口有多種規(guī)格可供不同場景選擇。南京滲氦標(biāo)準漏孔外形

10-7Pa·m3/s量級以下的漏孔,在正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的,但是由于客戶不清楚漏孔的一些結(jié)構(gòu),通常會關(guān)閉閥門。對于滲氦型漏孔,如果長時間關(guān)閉閥門會積攢一定的氦氣,使得滲透元件的邊界條件遭到破壞,使用時短時間內(nèi)漏率值便會偏大,打開閥門經(jīng)過一段時間(24小時)平衡后,漏率值會還原。滲氦型標(biāo)準漏孔的應(yīng)用包括氦質(zhì)譜檢漏儀校準、作為氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準漏孔、氦質(zhì)譜檢漏儀小的可檢漏率校準以及實際漏孔漏率的確定等。常州冷媒漏孔的漏率標(biāo)準漏孔使用時有明確的溫度范圍限制 。

標(biāo)準漏孔用于來校準腔體檢漏設(shè)備,以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度,避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量,是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān),頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來會縮短其壽命,只要定期維護和校準可延長其有效的使用時間。正確使用標(biāo)準漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提,操作人員需經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn),熟悉其性能、特點、流程和操作規(guī)范,避免因誤操作導(dǎo)致的計量誤差或設(shè)備損壞。
標(biāo)準漏孔的漏率換算:1mbar.L/sec=0.1Pa.m3/sec=1/標(biāo)準體積)=59.23scc/min、1mbar.L/sec≈1cc/sec,直觀的來說,1mbar.L/sec≈1秒鐘泄漏1cc標(biāo)準體積氣體、23℃,某氣體分子量=m,它的泄漏率為Xmbar.L/s,換算成克/年見如下公式:Xmbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m*(1/1.013)(克/年),漏孔壓力:一般分為表壓(相對大氣壓的壓差)和絕壓(相對真空的壓差)。漏孔絕壓:1個大氣壓+表壓。標(biāo)準漏孔維護需嚴格按照說明書操作執(zhí)行。

檢漏方法:人們對于泄漏的檢測很早就已經(jīng)出現(xiàn),檢漏方法也經(jīng)歷了從簡單的定性檢測到現(xiàn)代復(fù)雜的定量檢測過程。檢漏方法根據(jù)被檢設(shè)備所處的狀態(tài)又可分為加壓檢漏法和真空檢漏法。加壓檢漏法將被檢件內(nèi)部充以比外部壓力更高的示蹤氣體,在被檢件外面用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嘤袩o示蹤氣體漏出、從哪兒漏出、漏出量多少等,進而判斷被檢件有無泄漏點,泄漏點的位置和大小。屬于這種方法的有壓降法、氣泡法、鹵素檢漏儀外探頭法、鹵素噴燈法、加壓滲透法、聲波法、紅外線熱圖像法、稱質(zhì)量法、放射性同位素法。真空檢漏法被檢件內(nèi)部抽成真空后,將示蹤氣體施于被檢件外部,如果被檢件器壁上有漏,示蹤氣體通過泄漏點進入被檢件內(nèi)部,利用某種方法將漏進的示蹤氣體檢測出來,從而判斷出泄漏點的位置和漏率大小。屬于這種方法的有靜態(tài)升壓法、放電管法、鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法、各類真空計法、離子泵檢漏法、氦質(zhì)譜噴吹和氦罩檢漏法等。標(biāo)準漏孔可檢測檢漏儀的靈敏度指標(biāo)。山東全系列標(biāo)準漏孔生產(chǎn)廠家
標(biāo)準漏孔需詳細記錄每次使用的相關(guān)情況。南京滲氦標(biāo)準漏孔外形
可調(diào)通道型漏孔的技術(shù)規(guī)格包括但不限于充裝氣體類型(?如He,H2,N2等其他的可根據(jù)需要定制)?、?漏率范圍(?一般在10-3-10-10Pa·m3/s)?、示值允許偏差(?±15%)?、?溫度補償(?<0.3%/℃)?、?漏孔元件(?如微通道管、?金屬壓扁管等)?、?抗堵塞能力較為優(yōu)異、?隔離閥、?接口類型(?如KF16、?KF25、?VCR等可根據(jù)需要來定制)?、?出口(?真空或大氣)?、?氣室容積:1000mL或定制,可重復(fù)充氣使用等。?南京滲氦標(biāo)準漏孔外形