氦氣真空標準漏孔真空漏孔的選用主要包括以下幾個技術(shù)指標：漏率值和示漏氣體：主要由檢漏工藝和需求決定，說明的是在檢漏儀內(nèi)置漏孔一般為2×10-8Pa.m3/s的氦漏率。漏孔泄漏方式，主要分為滲氦型和通道型。一般滲氦型漏孔主要用作帶氦氣室，并且氦氣漏率在（10-10～10-7）Pa.m3/s的標準漏孔，檢漏儀內(nèi)置漏孔大多采用該型號。通道型漏孔相對滲氦型漏孔，應(yīng)用會更廣，特別是非標定制的模擬漏孔。還具有可以用高壓容器，溫度系數(shù)小等優(yōu)勢。是否帶氦氣/氫氮混合氣室。主要由標準漏孔使用方式?jīng)Q定。帶氦氣室具有漏率穩(wěn)定/恒定的特點，而不帶氦氣室往往用作模擬漏孔，模擬允許漏率指標的被檢工件，用來保證檢漏系統(tǒng)的定量需求。接口方式和外形尺寸，是指氣源加壓端接口和漏氣端接口。主要根據(jù)漏孔使用方式確定。檢測漏孔時可借助適用儀器，能更精確地找到滲漏位置。重慶正壓漏孔技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對離子源電離的氦氣分子數(shù)量進行量化，而到達質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時，這個分流比會有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個點做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說明這臺檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準確的，可能到E-9就很不準確。建議用2個標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行標定。事實上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購置接近自己工件要求漏率的標準漏孔進行標定。如待測工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購置一個接近該漏率的標準漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過校準的檢漏儀不需要自檢通過也能準確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購?fù)庵脴藴事┛?，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標準漏孔。用戶可選用帶氣室的標準漏孔或開放式漏孔。杭州標準漏孔尺寸標準漏孔能驗證各類檢漏方法的可靠性。

檢漏儀內(nèi)置標準漏孔目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標準漏孔， 漏率一般是10-8 Pa·m3/s量級， 東貝真空制作的內(nèi)置標準漏孔是采用微通道毛細管的通道型漏孔。檢漏儀內(nèi)置標準漏孔的特點是抗震抗摔，使用壽命較長：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復(fù)使用，廠家建議一般2年更換一次漏孔，上海東貝真空采用的微通道毛細管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質(zhì)漏孔幾倍甚至更長。

通道型漏孔屬于實漏型漏孔，漏孔元件是物理節(jié)流的漏氣通道，對所有的氣體成分都能通過，一般使用純氣體，以便得到所要求的氣體的漏率，本產(chǎn)品的VTL-B型為真空漏孔,是一種在真空技術(shù)和泄漏檢測中廣泛應(yīng)用的裝置，它設(shè)計用于產(chǎn)生已知且恒定的氣體泄漏率，以便在測試過程中提供準確和可重復(fù)的參考。這種漏孔通常由特定材料制成，包含一個精確的微孔或通道，允許氣體以恒定的速率泄漏。標準漏孔的主要應(yīng)用包括泄漏檢測設(shè)備的校準、質(zhì)量控制和過程監(jiān)控、以及研究和開發(fā)等領(lǐng)域。標準漏孔安裝時要確保連接部位密封完好。

JJF1946-2022《鹵素檢漏儀校準規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準用標準器（鹵素標準漏孔）的可溯源范圍相適應(yīng)，待發(fā)布的正壓漏孔校準規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應(yīng)。測量標準：測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔，如表所示，鹵素標準漏孔應(yīng)具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標準漏孔，一個標準漏孔對應(yīng)一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應(yīng)的標準漏孔。標準漏孔漏率偏差需把控在允許范圍內(nèi) 。山東鹵素漏孔定制

標準漏孔使用壓力不能超過額定值 。重慶正壓漏孔技術(shù)

檢漏的具體工作內(nèi)容就是在一些設(shè)備制造、安裝、調(diào)試和運行過程中，來判斷泄漏量是否在允許范圍之內(nèi)、來檢測泄漏率的大小，并且查明泄漏點具體的位置，從而可以進一步的找出一些原因，從而來避免發(fā)生因泄漏而導(dǎo)致的一些故障問題。其中值得說明的是漏率的概念問題，漏率是指單位時間內(nèi)流過泄漏點的物質(zhì)的質(zhì)量或者是分子數(shù)。液體、固體泄漏常用的漏率單位有：Kg/s、g/s、L/s、mL/s。氣體物質(zhì)的漏率，我國規(guī)定的漏率單位為：Pa·m3/s。重慶正壓漏孔技術(shù)