在芯片研發(fā)與生產(chǎn)過程中,失效分析(FailureAnalysis,FA)是一項(xiàng)必不可少的環(huán)節(jié)。從實(shí)驗(yàn)室樣品驗(yàn)證到客戶現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用,每一次失效背后,都隱藏著值得警惕的機(jī)理與經(jīng)驗(yàn)。致晟光電在長(zhǎng)期的失效分析工作中,積累了大量案例與經(jīng)驗(yàn),大家可以關(guān)注我們官方社交媒體賬號(hào)(小紅書、知乎、b站、公眾號(hào)、抖音)進(jìn)行了解。在致晟光電,我們始終認(rèn)為——真正的可靠性,不是避免失效,而是理解失效、解決失效、再防止復(fù)發(fā)。正是這種持續(xù)復(fù)盤與優(yōu)化的過程,讓我們的失效分析能力不斷進(jìn)化,也讓更多芯片產(chǎn)品在極端工況下依然穩(wěn)定運(yùn)行。熱紅外顯微鏡探測(cè)器:非制冷微測(cè)輻射熱計(jì)(Microbolometer)成本低,適用于常溫樣品的常規(guī)檢測(cè)。半導(dǎo)體熱紅外顯微鏡設(shè)備廠家
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速國(guó)產(chǎn)化的浪潮中,致晟光電始終錨定半導(dǎo)體失效分析這一**領(lǐng)域,以技術(shù)創(chuàng)新突破進(jìn)口設(shè)備壟斷,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)提供高性價(jià)比、高適配性的檢測(cè)解決方案。不同于通用型檢測(cè)設(shè)備,致晟光電的產(chǎn)品研發(fā)完全圍繞半導(dǎo)體器件的特性展開 —— 針對(duì)半導(dǎo)體芯片尺寸微小、缺陷信號(hào)微弱、檢測(cè)環(huán)境嚴(yán)苛的特點(diǎn),其光發(fā)射顯微鏡整合了高性能 InGaAs 近紅外探測(cè)器、精密顯微光學(xué)系統(tǒng)與先進(jìn)信號(hào)處理算法,可在芯片通電運(yùn)行狀態(tài)下,精細(xì)捕捉異常電流產(chǎn)生的微弱熱輻射,高效定位從裸芯片到封裝器件的各類電學(xué)缺陷。低溫?zé)釤峒t外顯微鏡按需定制熱紅外顯微鏡應(yīng)用:在新能源領(lǐng)域用于鋰電池?zé)崾Э胤治?,監(jiān)測(cè)電池內(nèi)部熱演化,優(yōu)化電池安全設(shè)計(jì)。
從技術(shù)演進(jìn)來看,熱紅外顯微鏡thermal emmi正加速向三大方向突破:一是靈敏度持續(xù)躍升,如量子點(diǎn)探測(cè)器的應(yīng)用可大幅增強(qiáng)光子捕捉能力,讓微弱熱信號(hào)的識(shí)別更精確;二是多模態(tài)融合,通過集成 EMMI 光子探測(cè)、OBIRCH 電阻分析等功能,實(shí)現(xiàn) “熱 - 光 - 電” 多維度協(xié)同檢測(cè);三是智能化升級(jí),部分設(shè)備已內(nèi)置 AI 算法,能自動(dòng)標(biāo)記異常熱點(diǎn)并生成分析報(bào)告。這些進(jìn)步為半導(dǎo)體良率提升、新能源汽車電驅(qū)系統(tǒng)熱管理等場(chǎng)景,提供了更高效、更好的解決方案。
在微電子、半導(dǎo)體以及材料研究等高精度領(lǐng)域,溫度始終是影響器件性能與壽命的重要因素。隨著芯片工藝向高密度和高功率方向發(fā)展,器件內(nèi)部的熱行為愈發(fā)復(fù)雜。傳統(tǒng)的熱測(cè)試方法由于依賴接觸探測(cè),往往在空間分辨率、靈敏度和操作便捷性方面存在局限,難以滿足對(duì)新型芯片與功率器件的精細(xì)化熱分析需求。相比之下,熱紅外顯微鏡憑借非接觸測(cè)量、高分辨率成像和高靈敏度探測(cè)等優(yōu)勢(shì),為研究人員提供了更加直觀的解決方案。它不僅能夠?qū)崟r(shí)呈現(xiàn)器件在工作狀態(tài)下的溫度分布,還可識(shí)別局部熱點(diǎn),幫助分析電路設(shè)計(jì)缺陷、電流集中及材料老化等潛在問題。作為現(xiàn)代失效分析與微熱檢測(cè)的重要工具,熱紅外顯微鏡正逐漸成為科研與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用中不可或缺的手段,為提升器件可靠性和延長(zhǎng)使用壽命提供了有力支持。Thermal 熱紅外顯微鏡屬于光學(xué)失效定位中的一種,用于捕捉器件中因失效產(chǎn)生的微弱 / 隱性熱信號(hào)。
熱紅外顯微鏡作為一種特殊的成像設(shè)備,能夠捕捉物體表面因溫度差異產(chǎn)生的紅外輻射,從而生成反映溫度分布的圖像。其原理基于任何物體只要溫度高于零度,就會(huì)不斷向外輻射紅外線,且溫度不同,輻射的紅外線波長(zhǎng)和強(qiáng)度也存在差異。通過高靈敏度的紅外探測(cè)器和精密的光學(xué)系統(tǒng),熱紅外顯微鏡可將這種細(xì)微的溫度變化轉(zhuǎn)化為清晰的圖像,實(shí)現(xiàn)對(duì)微觀結(jié)構(gòu)的溫度分布監(jiān)測(cè)。在半導(dǎo)體行業(yè)中,它能檢測(cè)芯片工作時(shí)的局部過熱區(qū)域,為分析器件功耗和潛在故障提供關(guān)鍵數(shù)據(jù),是電子器件熱特性研究的重要工具。熱紅外顯微鏡應(yīng)用于光伏行業(yè),可檢測(cè)太陽能電池片微觀區(qū)域的熱損耗,助力提升電池轉(zhuǎn)換效率。非制冷熱紅外顯微鏡大全
熱紅外顯微鏡成像儀通過將熱紅外信號(hào)轉(zhuǎn)化為可視化圖像,直觀呈現(xiàn)樣品的溫度分布差異。半導(dǎo)體熱紅外顯微鏡設(shè)備廠家
在失效分析中,零成本簡(jiǎn)單且常用的三個(gè)方法基于“觀察-驗(yàn)證-定位”的基本邏輯,無需復(fù)雜設(shè)備即可快速縮小失效原因范圍:1.外觀檢查法(VisualInspection)2.功能復(fù)現(xiàn)與對(duì)比法(FunctionReproduction&Comparison)3.導(dǎo)通/通路檢查法(ContinuityCheck)但當(dāng)失效分析需要進(jìn)階到微觀熱行為、隱性感官缺陷或材料/結(jié)構(gòu)內(nèi)部異常的層面時(shí),熱紅外顯微鏡(ThermalEMMI)能成為關(guān)鍵工具,與基礎(chǔ)方法結(jié)合形成更深度的分析邏輯。在進(jìn)階失效分析中,熱紅外顯微鏡可捕捉微觀熱分布,鎖定電子元件微區(qū)過熱(如虛焊、短路)、材料內(nèi)部缺陷(如裂紋、氣泡)引發(fā)的隱性熱異常,結(jié)合動(dòng)態(tài)熱演化記錄,與基礎(chǔ)方法協(xié)同,從“不可見”熱信號(hào)中定位失效根因。半導(dǎo)體熱紅外顯微鏡設(shè)備廠家