鎖相紅外熱成像系統(tǒng)是一種高精度熱分析工具,通過檢測被測對象在紅外波段的微弱熱輻射,并利用鎖相放大技術(shù)提取信號(hào),實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高分辨率的熱成像。與傳統(tǒng)紅外熱成像相比,鎖相技術(shù)能夠抑制環(huán)境噪聲和干擾信號(hào),使微小溫度變化也能夠被可靠捕捉,從而在半導(dǎo)體器件、微電子系統(tǒng)和材料研究中發(fā)揮重要作用。該系統(tǒng)可以非接觸式測量芯片或器件的局部溫度分布,精確定位熱點(diǎn)和熱異常區(qū)域,幫助工程師識(shí)別電路設(shè)計(jì)缺陷、材料劣化或工藝問題。鎖相熱成像系統(tǒng)讓電激勵(lì)下的缺陷無所遁形。紅外光譜鎖相紅外熱成像系統(tǒng)故障維修
鎖相紅外熱成像系統(tǒng)的重要原理可概括為 “調(diào)制 - 鎖相 - 檢測” 的三步流程,即通過調(diào)制目標(biāo)紅外輻射,使探測器響應(yīng)特定相位信號(hào),實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)的準(zhǔn)確提取。第一步調(diào)制過程中,系統(tǒng)通過調(diào)制器(如機(jī)械斬波器、電光調(diào)制器)對目標(biāo)紅外輻射進(jìn)行周期性調(diào)制,使目標(biāo)信號(hào)具備特定的頻率與相位特征,與環(huán)境干擾信號(hào)區(qū)分開。第二步鎖相過程,探測器與參考信號(hào)發(fā)生器同步工作,探測器對與參考信號(hào)相位一致的調(diào)制信號(hào)產(chǎn)生響應(yīng),過濾掉相位不匹配的干擾信號(hào)。第三步檢測過程,系統(tǒng)對鎖相后的信號(hào)進(jìn)行放大、處理,轉(zhuǎn)化為可視化的紅外圖像。在偵察領(lǐng)域,這一原理的優(yōu)勢尤為明顯,戰(zhàn)場環(huán)境中存在大量紅外干擾源(如紅外誘餌彈),鎖相紅外熱成像系統(tǒng)通過調(diào)制目標(biāo)(如敵方裝備)的紅外輻射,使探測器響應(yīng)特定相位的信號(hào),有效規(guī)避干擾,實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)的準(zhǔn)確識(shí)別與追蹤。中波鎖相紅外熱成像系統(tǒng)品牌結(jié)合顯微光學(xué),實(shí)現(xiàn)微米級(jí)熱圖像。
相較于傳統(tǒng)靜態(tài)熱成像技術(shù),鎖相紅外技術(shù)在檢測原理、抗干擾能力與適用場景上實(shí)現(xiàn)了***升級(jí),徹底改變了熱成像 “粗略溫度測繪” 的局限。傳統(tǒng)靜態(tài)熱成像的**局限在于 “瞬時(shí)性” 與 “易干擾性”:它*能捕捉檢測對象某一時(shí)刻的靜態(tài)溫度分布,無法持續(xù)追蹤溫度變化規(guī)律,且極易受環(huán)境因素影響 —— 比如周圍環(huán)境的熱輻射、氣流擾動(dòng)帶來的溫度波動(dòng),都會(huì)掩蓋檢測對象的真實(shí)溫度信號(hào),導(dǎo)致對微小缺陷或深層問題的判斷出現(xiàn)偏差,尤其在檢測精度要求高的場景中,傳統(tǒng)靜態(tài)熱成像往往難以滿足需求。
致晟光電依托南京理工大學(xué)光電技術(shù)學(xué)院的科研背景,在鎖相紅外應(yīng)用方面建立了深厚的學(xué)術(shù)與技術(shù)優(yōu)勢。目前,公司不僅面向產(chǎn)業(yè)客戶提供設(shè)備與解決方案,還積極與科研院所開展聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室合作,共同推動(dòng)熱學(xué)檢測與失效分析的前沿研究。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷演進(jìn),先進(jìn)封裝與高功率器件的可靠性問題愈發(fā)凸顯,鎖相紅外技術(shù)的應(yīng)用需求將持續(xù)擴(kuò)大。致晟光電將持續(xù)優(yōu)化自身產(chǎn)品性能,從提升分辨率、增強(qiáng)靈敏度,到實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化與智能化分析,逐步打造國產(chǎn)化gao duan檢測設(shè)備的biao gan。未來,公司希望通過技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)賦能,讓鎖相紅外走出實(shí)驗(yàn)室,真正成為產(chǎn)業(yè)可靠性檢測的標(biāo)配工具。 紅外熱成像模塊功能是實(shí)時(shí)采集被測物體表面的紅外輻射信號(hào),轉(zhuǎn)化為隨時(shí)間變化的溫度分布圖像序列。
作為國內(nèi)半導(dǎo)體失效分析設(shè)備領(lǐng)域的原廠,蘇州致晟光電科技有限公司(簡稱“致晟光電”)專注于ThermalEMMI系統(tǒng)的研發(fā)與制造。與傳統(tǒng)熱紅外顯微鏡相比,ThermalEMMI的主要差異在于其功能定位:它并非對溫度分布進(jìn)行基礎(chǔ)測量,而是通過精確捕捉芯片工作時(shí)因電流異常產(chǎn)生的微弱紅外輻射,直接實(shí)現(xiàn)對漏電、短路、靜電擊穿等電學(xué)缺陷的定位。該設(shè)備的重要技術(shù)優(yōu)勢體現(xiàn)在超高靈敏度與微米級(jí)分辨率上:不僅能識(shí)別納瓦級(jí)功耗所產(chǎn)生的局部熱熱點(diǎn),還能確保缺陷定位的精細(xì)度,為半導(dǎo)體芯片的研發(fā)優(yōu)化與量產(chǎn)階段的品質(zhì)控制,提供了可靠的技術(shù)依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。電激勵(lì)的脈沖寬度與鎖相熱成像系統(tǒng)采樣頻率需匹配,通過參數(shù)優(yōu)化可大幅提高檢測信號(hào)的信噪比和清晰度。直銷鎖相紅外熱成像系統(tǒng)工作原理
鎖相檢測模塊功能是通過與電激勵(lì)信號(hào)的同步鎖相處理,從熱像序列中提取與激勵(lì)頻率一致的溫度波動(dòng)分量。紅外光譜鎖相紅外熱成像系統(tǒng)故障維修
非制冷紅外相機(jī)主要參數(shù):探測波段覆蓋8-14微米,探測器材質(zhì)多為氧化釩或非晶硅,無需依賴制冷設(shè)備,可在室溫環(huán)境下穩(wěn)定工作;主要優(yōu)勢:成本與壽命更具優(yōu)勢:整機(jī)采購成本較低,且連續(xù)開機(jī)使用壽命長(超過5年),運(yùn)行過程無噪音,維護(hù)便捷性高;鎖相模式性能突出:雖常規(guī)高分辨率約為10微米,但切換至鎖相模式后,溫度分辨能力可突破至<1mK,能精確識(shí)別微弱熱輻射;半導(dǎo)體場景適配性強(qiáng):在半導(dǎo)體工業(yè)中,可高效探測電路板線路、大功率元器件的漏電問題,為失效分析提供清晰的熱信號(hào)依據(jù)。紅外光譜鎖相紅外熱成像系統(tǒng)故障維修