致晟光電研發(fā)的熱紅外顯微鏡配置了性能優(yōu)異的InSb（銦銻）探測(cè)器，能夠在中波紅外波段（3–5 μm）有效捕捉熱輻射信號(hào)。該材料在光電轉(zhuǎn)換方面表現(xiàn)突出，同時(shí)具備極低的本征噪聲。

在制冷條件下，探測(cè)器實(shí)現(xiàn)了納瓦級(jí)的熱靈敏度，并具備20mK以內(nèi)的溫度分辨能力，非常適合高精度、非接觸式的熱成像測(cè)量需求。通過(guò)應(yīng)用于顯微級(jí)熱紅外檢測(cè)系統(tǒng)，該探測(cè)器能夠提升空間分辨率，達(dá)到微米級(jí)別，并保持良好的溫度響應(yīng)線性，從而為半導(dǎo)體器件及微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱、熱量擴(kuò)散與瞬態(tài)熱現(xiàn)象提供細(xì)致表征。與此同時(shí)，致晟光電在光學(xué)與熱控方面的自主設(shè)計(jì)也發(fā)揮了重要作用。

高數(shù)值孔徑的光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)定的熱控平臺(tái)相結(jié)合，使InSb探測(cè)器能夠在多物理場(chǎng)耦合的復(fù)雜環(huán)境中實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場(chǎng)成像，為電子器件失效機(jī)理研究、電熱效應(yīng)分析及新型材料熱學(xué)性能測(cè)試提供了可靠的工具與支持。 熱紅外顯微鏡成像儀分辨率可達(dá)微米級(jí)別，能清晰呈現(xiàn)微小樣品表面的局部熱點(diǎn)與低溫區(qū)域。低溫?zé)釤峒t外顯微鏡范圍

作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體失效分析設(shè)備領(lǐng)域的原廠，蘇州致晟光電科技有限公司（簡(jiǎn)稱“致晟光電”）專注于ThermalEMMI系統(tǒng)的研發(fā)與制造。與傳統(tǒng)熱紅外顯微鏡相比，ThermalEMMI的主要差異在于其功能定位：它并非對(duì)溫度分布進(jìn)行基礎(chǔ)測(cè)量，而是通過(guò)精確捕捉芯片工作時(shí)因電流異常產(chǎn)生的微弱紅外輻射，直接實(shí)現(xiàn)對(duì)漏電、短路、靜電擊穿等電學(xué)缺陷的定位。該設(shè)備的重要技術(shù)優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在超高靈敏度與微米級(jí)分辨率上：不僅能識(shí)別納瓦級(jí)功耗所產(chǎn)生的局部熱熱點(diǎn)，還能確保缺陷定位的精細(xì)度，為半導(dǎo)體芯片的研發(fā)優(yōu)化與量產(chǎn)階段的品質(zhì)控制，提供了可靠的技術(shù)依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡聯(lián)系人針對(duì)消費(fèi)電子芯片，Thermal EMMI 助力排查因封裝散熱不良導(dǎo)致的局部熱失效問(wèn)題。

隨著新能源汽車和智能汽車的快速發(fā)展，汽車電子系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性顯得尤為重要。由于車載環(huán)境復(fù)雜，功率器件、控制芯片和傳感器在運(yùn)行中極易受到溫度波動(dòng)的影響，從而引發(fā)性能衰減或失效。熱紅外顯微鏡為這一領(lǐng)域提供了先進(jìn)的檢測(cè)手段。它能夠在不干擾系統(tǒng)運(yùn)行的情況下，實(shí)時(shí)監(jiān)控關(guān)鍵器件的溫度分布，快速發(fā)現(xiàn)潛在的過(guò)熱隱患。通過(guò)對(duì)熱紅外顯微鏡成像結(jié)果的分析，工程師可以有針對(duì)性地優(yōu)化散熱設(shè)計(jì)和器件布局，確保電子系統(tǒng)在高溫、震動(dòng)等極端條件下仍能穩(wěn)定工作。這不僅提升了汽車電子的可靠性，也為整車的安全性能提供了保障?？梢哉f(shuō)，熱紅外顯微鏡已經(jīng)成為推動(dòng)汽車電子產(chǎn)業(yè)升級(jí)的重要技術(shù)支撐，未來(lái)其應(yīng)用范圍還將進(jìn)一步拓展至智能駕駛和車載功率系統(tǒng)的更多環(huán)節(jié)。

與傳統(tǒng)的 emmi 相比，thermal emmi 在檢測(cè)復(fù)雜半導(dǎo)體器件時(shí)展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。傳統(tǒng) emmi 主要聚焦于光信號(hào)檢測(cè)，而 thermal emmi 增加了溫度監(jiān)測(cè)維度，能更***地反映缺陷的物理本質(zhì)。例如，當(dāng)芯片出現(xiàn)微小短路缺陷時(shí)，傳統(tǒng) emmi 可檢測(cè)到短路點(diǎn)的微光信號(hào)，但難以判斷短路對(duì)器件溫度的影響程度；而 thermal emmi 不僅能定位微光信號(hào)，還能通過(guò)溫度分布圖像顯示短路區(qū)域的溫升幅度，幫助工程師評(píng)估缺陷對(duì)器件整體性能的影響，為制定修復(fù)方案提供更***的參考。熱紅外顯微鏡工作原理：結(jié)合光譜技術(shù)，可同時(shí)獲取樣品熱分布與紅外光譜信息，分析物質(zhì)成分與熱特性的關(guān)聯(lián)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速國(guó)產(chǎn)化的浪潮中，致晟光電始終錨定半導(dǎo)體失效分析這一**領(lǐng)域，以技術(shù)創(chuàng)新突破進(jìn)口設(shè)備壟斷，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)提供高性價(jià)比、高適配性的檢測(cè)解決方案。不同于通用型檢測(cè)設(shè)備，致晟光電的產(chǎn)品研發(fā)完全圍繞半導(dǎo)體器件的特性展開(kāi) —— 針對(duì)半導(dǎo)體芯片尺寸微小、缺陷信號(hào)微弱、檢測(cè)環(huán)境嚴(yán)苛的特點(diǎn)，其光發(fā)射顯微鏡整合了高性能 InGaAs 近紅外探測(cè)器、精密顯微光學(xué)系統(tǒng)與先進(jìn)信號(hào)處理算法，可在芯片通電運(yùn)行狀態(tài)下，精細(xì)捕捉異常電流產(chǎn)生的微弱熱輻射，高效定位從裸芯片到封裝器件的各類電學(xué)缺陷。熱紅外顯微鏡能捕捉微觀物體熱輻射信號(hào)，為材料熱特性研究提供高分辨率觀測(cè)手段。檢測(cè)用熱紅外顯微鏡工作原理

熱紅外顯微鏡應(yīng)用于光伏行業(yè)，可檢測(cè)太陽(yáng)能電池片微觀區(qū)域的熱損耗，助力提升電池轉(zhuǎn)換效率。低溫?zé)釤峒t外顯微鏡范圍

作為專為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)計(jì)的紅外熱點(diǎn)顯微鏡，它兼具高頻、高靈敏度與高分辨率優(yōu)勢(shì)。通過(guò)周期性電信號(hào)激勵(lì)與相位分析，紅外熱點(diǎn)顯微鏡能實(shí)時(shí)提取微弱紅外光譜信號(hào)，檢測(cè)mK級(jí)溫度變化——這意味著即使是芯片內(nèi)部0.1mK的微小溫差，紅外熱點(diǎn)顯微鏡也能捕捉，輕松定位內(nèi)部發(fā)熱缺陷的深度與分布。紅外熱點(diǎn)顯微鏡的無(wú)損檢測(cè)能力尤為突出。無(wú)需破壞器件，紅外熱點(diǎn)顯微鏡就能檢測(cè)功率半導(dǎo)體及IGBT缺陷，涵蓋電源電路缺陷、電流泄漏等問(wèn)題，為器件設(shè)計(jì)優(yōu)化與良率提升提供數(shù)據(jù)支撐。同時(shí)，紅外熱點(diǎn)顯微鏡適配“設(shè)備-算法-應(yīng)用場(chǎng)景”一體化思路，不僅滿足檢測(cè)精度，更適配產(chǎn)業(yè)效率需求。低溫?zé)釤峒t外顯微鏡范圍