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在半導(dǎo)體芯片的研發(fā)與生產(chǎn)全流程中,失效分析(FailureAnalysis,FA)是保障產(chǎn)品可靠性與性能的重要環(huán)節(jié)。芯片內(nèi)部的微小缺陷,如漏電、短路、靜電損傷等,通常難以通過常規(guī)檢測手段識(shí)別,但這類缺陷可能導(dǎo)致整個(gè)芯片或下游系統(tǒng)失效。為實(shí)現(xiàn)對這類微小缺陷的精確定位,蘇州致晟光電科技有限公司研發(fā)的ThermalEMMI熱紅外顯微鏡(業(yè)界也稱之為熱發(fā)射顯微鏡),憑借針對性的技術(shù)能力滿足了這一需求,目前已成為半導(dǎo)體工程師開展失效分析工作時(shí)不可或缺的設(shè)備。
熱紅外顯微鏡儀器內(nèi)置校準(zhǔn)系統(tǒng),定期校準(zhǔn)可確保長期使用中微觀溫度測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。自銷熱紅外顯微鏡牌子

此外,致晟光電自主研發(fā)的熱紅外顯微鏡thermal emmi還能對芯片內(nèi)部關(guān)鍵半導(dǎo)體結(jié)點(diǎn)的溫度進(jìn)行監(jiān)測,即結(jié)溫。結(jié)溫水平直接影響器件的穩(wěn)定運(yùn)行和使用壽命,過高的結(jié)溫會(huì)加速性能衰減。依托其高空間分辨率的熱成像能力,熱紅外顯微鏡不僅能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)溫的精確測量,還能為研發(fā)人員提供詳盡的熱學(xué)數(shù)據(jù),輔助制定合理的散熱方案。借助這一技術(shù),工程師能夠在芯片研發(fā)、測試和應(yīng)用各環(huán)節(jié)中掌握其熱特性,有效提升芯片的可靠性和整體性能表現(xiàn)。 制造熱紅外顯微鏡廠家熱紅外顯微鏡成像:支持實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)成像,每秒可采集數(shù)十幀熱像圖,記錄樣品熱分布隨時(shí)間的變化過程。

芯片出問題不用慌!致晟光電專門搞定各類失效難題~不管是靜電放電擊穿的芯片、過壓過流燒斷的導(dǎo)線,還是過熱導(dǎo)致的晶體管損傷、熱循環(huán)磨斷的焊點(diǎn),哪怕是材料老化引發(fā)的漏電、物理磕碰造成的裂紋,我們都有辦法定位。致晟的檢測設(shè)備能捕捉到細(xì)微的失效信號(hào),從電氣應(yīng)力到熱力學(xué)問題,從機(jī)械損傷到材料缺陷,一步步幫你揪出“病根”,還會(huì)給出詳細(xì)的分析報(bào)告。不管是研發(fā)時(shí)的小故障,還是量產(chǎn)中的質(zhì)量問題,交給致晟,讓你的芯片難題迎刃而解~有失效分析需求?隨時(shí)來找我們呀!??
致晟光電研發(fā)的熱紅外顯微鏡配置了性能優(yōu)異的InSb(銦銻)探測器,能夠在中波紅外波段(3–5 μm)有效捕捉熱輻射信號(hào)。該材料在光電轉(zhuǎn)換方面表現(xiàn)突出,同時(shí)具備極低的本征噪聲。
在制冷條件下,探測器實(shí)現(xiàn)了納瓦級(jí)的熱靈敏度,并具備20mK以內(nèi)的溫度分辨能力,非常適合高精度、非接觸式的熱成像測量需求。通過應(yīng)用于顯微級(jí)熱紅外檢測系統(tǒng),該探測器能夠提升空間分辨率,達(dá)到微米級(jí)別,并保持良好的溫度響應(yīng)線性,從而為半導(dǎo)體器件及微電子系統(tǒng)中的局部發(fā)熱、熱量擴(kuò)散與瞬態(tài)熱現(xiàn)象提供細(xì)致表征。與此同時(shí),致晟光電在光學(xué)與熱控方面的自主設(shè)計(jì)也發(fā)揮了重要作用。
高數(shù)值孔徑的光學(xué)系統(tǒng)與穩(wěn)定的熱控平臺(tái)相結(jié)合,使InSb探測器能夠在多物理場耦合的復(fù)雜環(huán)境中實(shí)現(xiàn)高時(shí)空分辨的熱場成像,為電子器件失效機(jī)理研究、電熱效應(yīng)分析及新型材料熱學(xué)性能測試提供了可靠的工具與支持。 它采用 鎖相放大(Lock-in)技術(shù) 來提取周期性施加電信號(hào)后伴隨熱信號(hào)的微弱變化。

從技術(shù)演進(jìn)來看,熱紅外顯微鏡thermal emmi正加速向三大方向突破:一是靈敏度持續(xù)躍升,如量子點(diǎn)探測器的應(yīng)用可大幅增強(qiáng)光子捕捉能力,讓微弱熱信號(hào)的識(shí)別更精確;二是多模態(tài)融合,通過集成 EMMI 光子探測、OBIRCH 電阻分析等功能,實(shí)現(xiàn) “熱 - 光 - 電” 多維度協(xié)同檢測;三是智能化升級(jí),部分設(shè)備已內(nèi)置 AI 算法,能自動(dòng)標(biāo)記異常熱點(diǎn)并生成分析報(bào)告。這些進(jìn)步為半導(dǎo)體良率提升、新能源汽車電驅(qū)系統(tǒng)熱管理等場景,提供了更高效、更好的解決方案。 熱紅外顯微鏡工作原理:利用紅外光學(xué)透鏡組收集樣品熱輻射,經(jīng)分光系統(tǒng)分光后,由探測器接收并輸出熱信息。鎖相熱紅外顯微鏡廠家電話
熱紅外顯微鏡應(yīng)用:在新能源領(lǐng)域用于鋰電池?zé)崾Э胤治?,監(jiān)測電池內(nèi)部熱演化,優(yōu)化電池安全設(shè)計(jì)。自銷熱紅外顯微鏡牌子
對于3D封裝產(chǎn)品,傳統(tǒng)的失效點(diǎn)定位往往需要采用逐層去層的方法,一層一層地進(jìn)行異常排查與確認(rèn),不僅耗時(shí)長、人工成本高,還存在對樣品造成不可逆損傷的風(fēng)險(xiǎn)。借助Thermal EMMI設(shè)備,可通過檢測失效點(diǎn)熱輻射在傳導(dǎo)過程中的相位差,推算出失效點(diǎn)在3D封裝結(jié)構(gòu)中的深度位置(Z軸方向)。這一方法能夠在不破壞封裝的前提下,快速判斷失效點(diǎn)所在的芯片層級(jí),實(shí)現(xiàn)高效、精細(xì)的失效定位。如圖7所示,不同深度空間下失效點(diǎn)與相位的關(guān)系為該技術(shù)提供了直觀的參考依據(jù)。自銷熱紅外顯微鏡牌子