螺桿真空泵的抽速下降是常見(jiàn)故障,需按步驟排查:第一步檢查進(jìn)氣過(guò)濾器,若濾芯堵塞(壓差≥5kPa),用壓縮空氣反吹或更換;第二步檢查密封系統(tǒng),用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè),若泄漏率>,更換密封件;第三步檢查轉(zhuǎn)子間隙,若因磨損導(dǎo)致間隙>0.5mm,需拆機(jī)調(diào)整或更換轉(zhuǎn)子。噪音過(guò)大(>80dB)的排查方向包括:電機(jī)軸承磨損(更換軸承)、聯(lián)軸器對(duì)中偏差(重新對(duì)中,偏差≤0.1mm)、泵腔異物(停機(jī)清理)。此外,泵過(guò)載(電流>額定值 110%)多因冷卻不足(清理冷卻系統(tǒng))、轉(zhuǎn)子卡滯(檢查間隙和異物)、電源電壓異常(調(diào)整電壓至 380V±10%),故障排查需遵循 “先外部后內(nèi)部、先電氣后機(jī)械” 原則,避免盲目拆機(jī)。螺...
食品真空包裝工藝中,螺桿真空泵的衛(wèi)生設(shè)計(jì)需符合食品接觸材料安全標(biāo)準(zhǔn),避免對(duì)食品造成污染。首先,設(shè)備與氣體接觸的部件需采用食品級(jí)不銹鋼材質(zhì)(如 304 不銹鋼),表面進(jìn)行電解拋光處理,粗糙度 Ra≤0.8μm,無(wú)死角、無(wú)凹陷,便于清潔,防止食品殘?jiān)逊e滋生細(xì)菌。其次,密封結(jié)構(gòu)需采用食品級(jí)硅橡膠,無(wú)毒無(wú)味,符合 FDA 認(rèn)證要求,避免密封件老化釋放有害物質(zhì);設(shè)備外殼采用防水設(shè)計(jì),防護(hù)等級(jí)達(dá)到 IP54,可直接用水沖洗,方便車(chē)間清潔消毒。此外,設(shè)備需設(shè)置防油污裝置,若為油潤(rùn)滑型泵,需配備高效油霧分離器,確保排氣中無(wú)油霧污染食品包裝環(huán)境;對(duì)于高潔凈需求的食品(如熟食、糕點(diǎn)),建議選用無(wú)油螺桿真空泵,從...
馬德寶LGB150W 干式螺桿真空泵的極限真空可達(dá) 1Pa,抽氣速率穩(wěn)定保持 150L/S,峰值達(dá) 155L/S;搭載 11KW 永磁全封閉水冷電機(jī),能耗較傳統(tǒng)泵降低 27%,且運(yùn)行噪音嚴(yán)格控制在 65 分貝以下,遠(yuǎn)低于行業(yè)平均水平。在***壓力 10000Pa 真空度區(qū)間,變頻運(yùn)行狀態(tài)下抽氣速率比 H150 滑閥泵高 10%,軸功率始終小于 11KW,同時(shí)進(jìn)氣口標(biāo)配粉塵過(guò)濾器,有效應(yīng)對(duì)含少量粉塵的復(fù)雜工況,兼顧高效與耐用。依托無(wú)油污染、耐腐蝕、高真空度的**優(yōu)勢(shì),馬德寶干式螺桿真空泵適配多行業(yè)關(guān)鍵工藝。設(shè)備運(yùn)行時(shí)電流異常需停機(jī)檢查。低噪聲螺桿真空泵經(jīng)銷(xiāo)商當(dāng)螺桿真空泵用于處理腐蝕性氣體(如鹽酸...
干式螺桿真空泵與其他干式泵的性能差異。與爪式真空泵相比,干式螺桿真空泵的抽速范圍更廣(10-1000 vs 10-200 ),但極限壓力略高;與渦旋真空泵相比,干式螺桿真空泵的耐固體顆粒能力更強(qiáng)(可處理粒徑≤10μm 顆粒,渦旋泵*≤5μm),但噪音稍大(75dB vs 65dB);與多級(jí)羅茨泵相比,干式螺桿真空泵的壓縮比更高(1000:1 vs 100:1),但轉(zhuǎn)速更低(6000r/min vs 10000r/min)?;谶@些差異,在選型時(shí)需根據(jù)工況優(yōu)先級(jí):大抽速選干式螺桿真空泵,高真空選渦旋泵,耐顆粒選干式螺桿泵,低噪音選渦旋泵。螺桿真空泵的雙螺桿轉(zhuǎn)子型線多為 “擺線 - 漸開(kāi)線”...
馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)生產(chǎn)的干式等螺距螺桿真空泵,屬無(wú)油真空獲得設(shè)備,是國(guó)內(nèi)**全流道靜音產(chǎn)品,噪音≤65 分貝,部分型號(hào)采用永磁變頻電機(jī),達(dá)一級(jí)能效且可調(diào)節(jié)頻率控制真空度與抽速,適用范圍更廣。其泵腔由主、從動(dòng)轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔、運(yùn)送腔與排氣腔,工作時(shí)轉(zhuǎn)子嚙合轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、運(yùn)氣與排氣,腔內(nèi)無(wú)油潤(rùn)滑可獲潔凈真空,轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層適配惡劣工況,固體粉塵與冷凝液不易沉積,必要時(shí)可充氣吹掃***雜質(zhì)。該產(chǎn)品***用于醫(yī)藥、化工、航空航天等行業(yè),適配高真空蒸餾、真空干燥、真空鍍膜等工藝。螺桿轉(zhuǎn)子采用三維曲面優(yōu)化嚙合效果。山西螺桿真空泵供應(yīng)商推薦在工業(yè)生產(chǎn)能耗成本不斷攀升的背景下,螺桿真空泵的節(jié)能特性成為企業(yè)...
螺桿真空泵的節(jié)能改造可從電機(jī)升級(jí)、運(yùn)行控制、系統(tǒng)優(yōu)化三方面入手,降低運(yùn)行成本。電機(jī)升級(jí)方面,將傳統(tǒng)異步電機(jī)更換為永磁同步電機(jī),電機(jī)效率從 85% 提升至 95% 以上,在相同負(fù)載下能耗降低 10%-15%。運(yùn)行控制改造可加裝變頻控制系統(tǒng),根據(jù)系統(tǒng)真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備空載或滿負(fù)荷無(wú)效運(yùn)行,對(duì)于間歇性抽氣工況,節(jié)能率可達(dá) 30% 以上。系統(tǒng)優(yōu)化方面,對(duì)真空管道進(jìn)行改造,減小管道直徑偏差(≤5%)、減少管道彎頭數(shù)量(每減少 1 個(gè) 90° 彎頭,壓力損失降低 8%),降低氣體流動(dòng)阻力;合理匹配真空泵與工藝需求,避免 “大馬拉小車(chē)” 的現(xiàn)象,選擇合適抽速的設(shè)備。某工廠通過(guò)節(jié)能改造,螺桿...
食品真空包裝工藝中,螺桿真空泵的衛(wèi)生設(shè)計(jì)需符合食品接觸材料安全標(biāo)準(zhǔn),避免對(duì)食品造成污染。首先,設(shè)備與氣體接觸的部件需采用食品級(jí)不銹鋼材質(zhì)(如 304 不銹鋼),表面進(jìn)行電解拋光處理,粗糙度 Ra≤0.8μm,無(wú)死角、無(wú)凹陷,便于清潔,防止食品殘?jiān)逊e滋生細(xì)菌。其次,密封結(jié)構(gòu)需采用食品級(jí)硅橡膠,無(wú)毒無(wú)味,符合 FDA 認(rèn)證要求,避免密封件老化釋放有害物質(zhì);設(shè)備外殼采用防水設(shè)計(jì),防護(hù)等級(jí)達(dá)到 IP54,可直接用水沖洗,方便車(chē)間清潔消毒。此外,設(shè)備需設(shè)置防油污裝置,若為油潤(rùn)滑型泵,需配備高效油霧分離器,確保排氣中無(wú)油霧污染食品包裝環(huán)境;對(duì)于高潔凈需求的食品(如熟食、糕點(diǎn)),建議選用無(wú)油螺桿真空泵,從...
鋰電池干燥工藝對(duì)螺桿真空泵的**要求是 “低水分殘留” 與 “抗粉塵污染”,需從三方面進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。一是進(jìn)氣結(jié)構(gòu)優(yōu)化,采用斜切式進(jìn)氣口搭配前置過(guò)濾裝置,攔截正極材料粉塵(如三元材料顆粒),避免進(jìn)入泵腔造成轉(zhuǎn)子磨損;二是腔體表面處理,內(nèi)壁采用特氟龍涂層,降低鋰鹽(如 LiPF6)殘留附著,減少清潔頻率;三是抽氣曲線適配,根據(jù)干燥階段調(diào)整抽速:升溫階段采用低抽速(50-100m3/h)避免物料飛濺,恒溫階段切換高抽速(300-500m3/h)加速水分排出。適配后的設(shè)備可將電池極片含水量控制在 50ppm 以下,且在連續(xù)運(yùn)行 300 小時(shí)后,泵腔清潔周期延長(zhǎng)至 15 天,滿足鋰電池規(guī)?;a(chǎn)需求。...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕,需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276,該材質(zhì)含鉬、鉻元素,對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上,采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì),在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳希乐购鷼怏w滲入密封系統(tǒng)。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應(yīng)的氟化物,處理效率達(dá) 99.5%。醫(yī)藥行業(yè)凍干工藝依賴(lài)其真空環(huán)境。浙江螺桿真空泵故障國(guó)產(chǎn)螺桿真空泵近年在三大**技術(shù)上實(shí)現(xiàn)突破:一是轉(zhuǎn)子...
馬德寶真空設(shè)備集團(tuán)生產(chǎn)的干式等螺距螺桿真空泵,屬無(wú)油真空獲得設(shè)備,是國(guó)內(nèi)**全流道靜音產(chǎn)品,噪音≤65 分貝,部分型號(hào)采用永磁變頻電機(jī),達(dá)一級(jí)能效且可調(diào)節(jié)頻率控制真空度與抽速,適用范圍更廣。其泵腔由主、從動(dòng)轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔、運(yùn)送腔與排氣腔,工作時(shí)轉(zhuǎn)子嚙合轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、運(yùn)氣與排氣,腔內(nèi)無(wú)油潤(rùn)滑可獲潔凈真空,轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層適配惡劣工況,固體粉塵與冷凝液不易沉積,必要時(shí)可充氣吹掃***雜質(zhì)。該產(chǎn)品***用于醫(yī)藥、化工、航空航天等行業(yè),適配高真空蒸餾、真空干燥、真空鍍膜等工藝。新能源行業(yè)螺桿泵需求年增超 20%。黑龍江干式無(wú)油螺桿真空泵本地廠家不同工業(yè)工藝對(duì)螺桿真空泵的抽氣速率需求差異較大,需通過(guò)...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕,需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276,該材質(zhì)含鉬、鉻元素,對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上,采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì),在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳?,防止含氟氣體滲入密封系統(tǒng)。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應(yīng)的氟化物,處理效率達(dá) 99.5%。航空航天領(lǐng)域用其測(cè)試零部件性能。雙螺桿真空泵頭部企業(yè)/廠家螺桿真空泵作為一種干式真空泵,其**工作部件...
為滿足工藝真空度低于10?3Pa的需求,單一真空泵難以實(shí)現(xiàn)高效抽氣,需采用“螺桿泵+羅茨泵”的組合真空系統(tǒng),通過(guò)兩者協(xié)同發(fā)揮優(yōu)勢(shì)。設(shè)計(jì)該系統(tǒng)時(shí),需重點(diǎn)把控三點(diǎn)關(guān)鍵匹配,以保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行、提升真空效率并延長(zhǎng)使用壽命。一是抽速匹配。羅茨泵的抽速需設(shè)定為螺桿泵的2-3倍,這是因?yàn)槿袅_茨泵抽速低于此范圍,會(huì)導(dǎo)致氣體在兩泵間的連接管路內(nèi)堆積,造成抽氣瓶頸,降低整體系統(tǒng)效率;若抽速過(guò)高,螺桿泵無(wú)法及時(shí)將氣體輸送至羅茨泵,會(huì)使羅茨泵陷入“過(guò)載抽氣”狀態(tài),引發(fā)電機(jī)過(guò)熱,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)損壞泵體內(nèi)部的轉(zhuǎn)子與密封部件,直接影響真空性能。二是入口壓力匹配。羅茨泵在高壓力環(huán)境下運(yùn)行易出現(xiàn)故障,因此必須在兩泵之...
不同工業(yè)工藝對(duì)螺桿真空泵的抽氣速率需求差異較大,需通過(guò)合理調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)精細(xì)適配。對(duì)于需快速建立真空環(huán)境的工藝(如真空壓鑄),可采用 “全速啟動(dòng) + 階梯降速” 模式,啟動(dòng)時(shí)以最高轉(zhuǎn)速運(yùn)行,待真空度達(dá)到工藝要求的 80% 后,逐步降低轉(zhuǎn)速至維持真空所需的比較低值,既縮短抽真空時(shí)間,又減少能耗;對(duì)于真空度波動(dòng)敏感的工藝(如半導(dǎo)體薄膜沉積),需采用 “恒真空度控制”,通過(guò)壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,反饋調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,使真空度波動(dòng)控制在 ±0.02Pa 范圍內(nèi);對(duì)于間歇性抽氣需求的工藝(如真空包裝),可設(shè)置 “定時(shí)啟?!?模式,根據(jù)生產(chǎn)節(jié)拍自動(dòng)啟停設(shè)備,避免無(wú)效運(yùn)行。某電子元件廠通過(guò)抽氣速率調(diào)節(jié)優(yōu)化,使...
金屬熱處理工藝(如真空淬火)中,螺桿真空泵需處理 400℃-600℃的高溫氣體,需制定專(zhuān)項(xiàng)處理方案。首先,設(shè)備進(jìn)氣口需加裝高溫?fù)Q熱器,通過(guò)冷卻水將高溫氣體降溫至 80℃以下,避免高溫氣體進(jìn)入泵體導(dǎo)致密封件老化、潤(rùn)滑油失效;換熱器采用耐高溫不銹鋼材質(zhì),換熱效率≥90%,確保降溫效果。其次,泵體需選用耐高溫部件,轉(zhuǎn)子采用高溫合金材質(zhì),可承受 150℃的運(yùn)行溫度;密封件選用耐高溫石墨密封,避免高溫下密封失效。此外,需加強(qiáng)設(shè)備冷卻系統(tǒng),采用雙循環(huán)冷卻方式,同時(shí)冷卻泵體與電機(jī),確保設(shè)備運(yùn)行溫度控制在 120℃以下。某熱處理廠采用該方案后,螺桿真空泵可穩(wěn)定處理 550℃的高溫淬火氣體,設(shè)備連續(xù)運(yùn)行 100...
螺桿真空泵變頻控制系統(tǒng)基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)真空度,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(如 10Pa)時(shí),PLC 控制器發(fā)送信號(hào)給變頻器,降低電機(jī)轉(zhuǎn)速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當(dāng)真空度因泄漏等因素上升時(shí),變頻器自動(dòng)提升轉(zhuǎn)速,維持真空穩(wěn)定。該系統(tǒng)的節(jié)能效果體現(xiàn)在兩方面:一是運(yùn)行階段,非滿負(fù)荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導(dǎo)體光刻工藝中,設(shè)備平均負(fù)載率 60%,年耗電量較定速設(shè)備減少約 8000kWh;二是啟動(dòng)階段,軟啟動(dòng)功能避免電機(jī)啟動(dòng)時(shí)的電流沖擊(啟動(dòng)電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
螺桿真空泵的材質(zhì)選擇直接影響其適用范圍和使用壽命,尤其是在處理腐蝕性氣體的場(chǎng)景中(如化工、光伏行業(yè)),耐腐蝕材質(zhì)的應(yīng)用至關(guān)重要。目前,主流螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子多采用不銹鋼 316L材質(zhì),該材質(zhì)具有優(yōu)異的耐酸堿、耐氧化性能,能有效抵抗化工生產(chǎn)中常見(jiàn)的鹽酸、硫酸、氨氣等腐蝕性氣體的侵蝕,延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子的使用壽命。泵殼內(nèi)壁則通常采用環(huán)氧樹(shù)脂涂層或聚四氟乙烯襯里,進(jìn)一步增強(qiáng)耐腐蝕能力,同時(shí)減少氣體在泵內(nèi)的殘留和吸附。對(duì)于處理強(qiáng)腐蝕性氣體(如氟化物)的特殊場(chǎng)景,部分廠家還會(huì)采用哈氏合金等**耐腐蝕材質(zhì),雖然成本有所提升,但能確保設(shè)備在惡劣工況下穩(wěn)定運(yùn)行,避免因材質(zhì)腐蝕導(dǎo)致的設(shè)備故障和生產(chǎn)中斷。小型生產(chǎn)線常用抽速 ...
干式螺桿真空泵被明確歸為干式容積真空泵范疇,其**設(shè)計(jì)原則是 “無(wú)油清潔”—— 抽氣流道(泵腔、轉(zhuǎn)子間隙等)內(nèi)不使用任何油類(lèi)密封或潤(rùn)滑液體,排氣口可直接與大氣連通實(shí)現(xiàn)連續(xù)排氣,徹底解決了傳統(tǒng)油封泵的油污染問(wèn)題。作為非接觸型干式真空泵,轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子間*保留 0.1-0.5mm 微小間隙,既避免機(jī)械摩擦,又減少氣體泄漏。其工作壓力覆蓋大氣壓至 ,適配含腐蝕性蒸氣(如半導(dǎo)體工業(yè)的氟化物氣體)、可凝性溶劑(如化工的乙醇蒸氣)及少量固體顆粒的工況,是真空技術(shù)向清潔化、精密化發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備之一。適用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓制造工藝環(huán)節(jié)。滑閥螺桿真空泵在線選型螺桿真空泵日常維護(hù)需遵循 “分級(jí)保養(yǎng)、定期檢測(cè)” ...
鋰電池極片干燥是決定電池能量密度、循環(huán)壽命與安全性能的**工序——極片若殘留雜質(zhì)或水分,會(huì)直接引發(fā)電解液分解、活性物質(zhì)失效等問(wèn)題,因此對(duì)配套螺桿真空泵提出“低水分殘留”“無(wú)油污染”“抗粉塵附著”三大嚴(yán)苛需求,且三者需同步滿足,缺一不可。在“低水分殘留”方面,極片含有的binder(粘結(jié)劑)與活性物質(zhì)(如三元材料、磷酸鐵鋰)對(duì)水分極為敏感:水分會(huì)與電解液中的鋰鹽反應(yīng)生成HF等腐蝕性物質(zhì),破壞極片結(jié)構(gòu),還會(huì)降低極片壓實(shí)密度。這要求螺桿真空泵需具備穩(wěn)定且高效的抽氣能力,不僅要快速抽離干燥腔體內(nèi)蒸發(fā)的水分,還需將腔體極限真空度控制在1Pa以下,確保極片**終水分殘留量低于50ppm,滿足高...
隨著工業(yè) 4.0 的推進(jìn),螺桿真空泵逐漸向智能化、數(shù)字化方向發(fā)展,智能化功能的應(yīng)用大幅提升了設(shè)備的運(yùn)維效率和管理水平。目前,許多廠家在螺桿真空泵上集成了智能控制系統(tǒng),配備觸摸屏操作界面,操作人員可直觀查看設(shè)備的實(shí)時(shí)運(yùn)行參數(shù)(如真空度、溫度、轉(zhuǎn)速、能耗),并能一鍵設(shè)置運(yùn)行模式,簡(jiǎn)化操作流程。更重要的是,部分**機(jī)型支持物聯(lián)網(wǎng)(IoT)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能,通過(guò)內(nèi)置的傳感器和通信模塊,設(shè)備可將運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至云端管理平臺(tái)。企業(yè)管理人員可通過(guò)電腦、手機(jī)等終端隨時(shí)隨地查看設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常(如真空度下降、溫度過(guò)高)時(shí),平臺(tái)會(huì)自動(dòng)發(fā)送報(bào)警信息(短信、APP 推送),提醒維護(hù)人員及時(shí)處理,避免故障擴(kuò)大...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF?、SF?)會(huì)對(duì)螺桿真空泵造成嚴(yán)重腐蝕,需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面構(gòu)建防護(hù)體系。材質(zhì)上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金 C276,該材質(zhì)含鉬、鉻元素,對(duì)氟化物的耐腐蝕性能是 316L 不銹鋼的 8 倍;泵殼內(nèi)壁噴涂聚四氟乙烯涂層,厚度控制在 0.2-0.3mm,避免氣體直接接觸金屬表面。結(jié)構(gòu)上,采用 “干式密封 + 氮?dú)獯祾摺?設(shè)計(jì),在密封腔通入氮?dú)庑纬烧龎浩琳?,防止含氟氣體滲入密封系統(tǒng)。后處理上,排氣口連接活性炭吸附塔,吸附未反應(yīng)的氟化物,處理效率達(dá) 99.5%。螺桿泵啟動(dòng)速度快可快速達(dá)到真空。浙江制藥螺桿真空泵在線選型食品凍干工藝(如水果、肉類(lèi)凍干)對(duì)螺桿真空泵...
馬德寶螺桿真空泵系列產(chǎn)品涵蓋 LG 系列(LG50 至 LG360)與 LGB 系列(LGB70 至 LGB400),抽速范圍 50-480 L/S(50/60Hz),極限壓力 1-50 Pa,配用功率 5.5-55 KW,冷卻水量 2.5-3.5 L/min,進(jìn)氣口徑 50-100mm、排氣口徑 40-65mm,重量 295-680 kg,噪音 72-89 dB (A)。例如 LG100 型抽速 100/120 L/S,極限壓力 2/1 Pa,功率 11/15 KW;LGB200A 型抽速 200/240 L/S,極限壓力 0.02/0.01 mbar,適配多種對(duì)真空度與抽速有不同需求的場(chǎng)景...
螺桿真空泵的 PLC 控制系統(tǒng)是設(shè)備智能化運(yùn)行的**,主要功能涵蓋四個(gè)維度:一是運(yùn)行參數(shù)監(jiān)測(cè),實(shí)時(shí)采集排氣溫度(測(cè)量范圍 0-200℃,精度 ±1℃)、真空度(0-1×10?Pa,精度 ±0.1% FS)、電機(jī)轉(zhuǎn)速(0-3000rpm,精度 ±1rpm)與電流(0-100A,精度 ±0.5A),數(shù)據(jù)刷新周期≤1 秒;二是自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)設(shè)備啟停(軟啟動(dòng)時(shí)間 5-10 秒)、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)(根據(jù)真空度自動(dòng)切換 3 檔轉(zhuǎn)速)、故障停機(jī)(超溫、超壓時(shí)觸發(fā));三是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),記錄每日運(yùn)行參數(shù)曲線(存儲(chǔ)周期 1 年)與故障日志(包含故障類(lèi)型、發(fā)生時(shí)間、處理結(jié)果),支持 USB 導(dǎo)出;四是遠(yuǎn)程通訊,通過(guò) Modbu...
半導(dǎo)體封裝工藝(如芯片鍵合、塑封)對(duì)真空度的精細(xì)控制要求極高,螺桿真空泵需通過(guò)多重技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)真空度的穩(wěn)定控制。首先,采用高精度壓力傳感器,測(cè)量精度達(dá)到 ±0.01Pa,實(shí)時(shí)采集系統(tǒng)真空度數(shù)據(jù),為控制提供準(zhǔn)確依據(jù);其次,配備高精度變頻控制系統(tǒng),根據(jù)壓力傳感器反饋的信號(hào),精確調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度可達(dá) ±1rpm,確保真空度波動(dòng)≤±0.05Pa。此外,需優(yōu)化真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì),減少管道容積(管道長(zhǎng)度≤5 米,直徑偏差≤3%),降低系統(tǒng)滯后性,使真空度調(diào)節(jié)響應(yīng)時(shí)間≤1 秒;在真空泵與封裝腔之間設(shè)置穩(wěn)壓閥,進(jìn)一步穩(wěn)定系統(tǒng)壓力,避免因真空泵抽氣波動(dòng)導(dǎo)致真空度變化。某半導(dǎo)體封裝廠通過(guò)這些措施,使螺桿...
螺桿真空泵日常維護(hù)需遵循 “分級(jí)保養(yǎng)、定期檢測(cè)” 原則,**項(xiàng)目與周期可分為三類(lèi)。每日檢查項(xiàng)目:監(jiān)測(cè)排氣溫度(正?!?40℃)、振動(dòng)值(≤2.8mm/s)與真空度穩(wěn)定性,檢查冷卻系統(tǒng)(水冷式需確認(rèn)水量≥5m3/h,風(fēng)冷式需清潔散熱片);每周維護(hù)項(xiàng)目:更換進(jìn)氣濾芯(過(guò)濾精度≤10μm),檢查密封件是否有泄漏痕跡,補(bǔ)充軸承潤(rùn)滑脂(用量為軸承內(nèi)部空間的 1/3-1/2);每季度深度保養(yǎng):拆解檢查轉(zhuǎn)子間隙(標(biāo)準(zhǔn) 0.05-0.1mm,超 0.15mm 需調(diào)整),清潔泵腔內(nèi)部殘留雜質(zhì),測(cè)試電機(jī)絕半導(dǎo)體刻蝕環(huán)節(jié)離不開(kāi)其穩(wěn)定抽氣。天津螺桿真空泵哪家好螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂...
螺桿真空泵的涂層是提升泵耐腐蝕性、耐磨性的**手段。常用涂層材料包括三類(lèi):氮化鈦(TiN)涂層,硬度達(dá) 2000-2500HV,適用于含固體顆粒的氣體工況,可減少轉(zhuǎn)子刮擦磨損;類(lèi)金剛石涂層(DLC),摩擦系數(shù)低至 0.05-0.1,能降低轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)阻力,適配高轉(zhuǎn)速(6000r/min)工況,使能耗降低 5%-10%;氧化鋁陶瓷涂層,耐酸耐溫性?xún)?yōu)異(耐溫 800℃),可抵御 HCl、H?SO?等酸性蒸氣侵蝕。涂層制備以物***相沉積(PVD)為主,其中磁控濺射法可精確控制涂層厚度(3-10μm),且涂層與轉(zhuǎn)子基體附著力≥50N。經(jīng)涂層處理后,轉(zhuǎn)子使用壽命延長(zhǎng) 2-3 倍,在含腐蝕性氣體的工況中,泵...
在工業(yè)生產(chǎn)能耗成本不斷攀升的背景下,螺桿真空泵的節(jié)能特性成為企業(yè)選型的重要考量因素。與傳統(tǒng)的滑閥真空泵、羅茨真空泵相比,螺桿真空泵采用高效的容積式抽氣結(jié)構(gòu),電機(jī)運(yùn)行時(shí)的能量轉(zhuǎn)化效率更高,在相同抽氣速率下,其功率消耗通??山档?0%~30% 。此外,許多新型螺桿真空泵配備了變頻調(diào)速系統(tǒng),能根據(jù)實(shí)際真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備在滿負(fù)荷狀態(tài)下持續(xù)運(yùn)行造成的能源浪費(fèi)。例如,在食品包裝行業(yè),當(dāng)真空包裝機(jī)完成一批產(chǎn)品包裝后,真空度需求降低,變頻系統(tǒng)可自動(dòng)降低電機(jī)轉(zhuǎn)速,此時(shí)能耗*為滿負(fù)荷運(yùn)行時(shí)的 50% 左右。長(zhǎng)期來(lái)看,節(jié)能特性不僅能為企業(yè)大幅降低電費(fèi)支出,還能減少設(shè)備的散熱損耗,延長(zhǎng)電機(jī)等**部件...
螺桿真空泵的節(jié)能改造可從電機(jī)升級(jí)、運(yùn)行控制、系統(tǒng)優(yōu)化三方面入手,降低運(yùn)行成本。電機(jī)升級(jí)方面,將傳統(tǒng)異步電機(jī)更換為永磁同步電機(jī),電機(jī)效率從 85% 提升至 95% 以上,在相同負(fù)載下能耗降低 10%-15%。運(yùn)行控制改造可加裝變頻控制系統(tǒng),根據(jù)系統(tǒng)真空度需求自動(dòng)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,避免設(shè)備空載或滿負(fù)荷無(wú)效運(yùn)行,對(duì)于間歇性抽氣工況,節(jié)能率可達(dá) 30% 以上。系統(tǒng)優(yōu)化方面,對(duì)真空管道進(jìn)行改造,減小管道直徑偏差(≤5%)、減少管道彎頭數(shù)量(每減少 1 個(gè) 90° 彎頭,壓力損失降低 8%),降低氣體流動(dòng)阻力;合理匹配真空泵與工藝需求,避免 “大馬拉小車(chē)” 的現(xiàn)象,選擇合適抽速的設(shè)備。某工廠通過(guò)節(jié)能改造,螺桿...
隨著工業(yè) 4.0 的推進(jìn),螺桿真空泵逐漸向智能化、數(shù)字化方向發(fā)展,智能化功能的應(yīng)用大幅提升了設(shè)備的運(yùn)維效率和管理水平。目前,許多廠家在螺桿真空泵上集成了智能控制系統(tǒng),配備觸摸屏操作界面,操作人員可直觀查看設(shè)備的實(shí)時(shí)運(yùn)行參數(shù)(如真空度、溫度、轉(zhuǎn)速、能耗),并能一鍵設(shè)置運(yùn)行模式,簡(jiǎn)化操作流程。更重要的是,部分**機(jī)型支持物聯(lián)網(wǎng)(IoT)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能,通過(guò)內(nèi)置的傳感器和通信模塊,設(shè)備可將運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至云端管理平臺(tái)。企業(yè)管理人員可通過(guò)電腦、手機(jī)等終端隨時(shí)隨地查看設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常(如真空度下降、溫度過(guò)高)時(shí),平臺(tái)會(huì)自動(dòng)發(fā)送報(bào)警信息(短信、APP 推送),提醒維護(hù)人員及時(shí)處理,避免故障擴(kuò)大...
半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的含氟氣體(如 CF4、SF6)對(duì)螺桿真空泵腐蝕性極強(qiáng),需從材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、后處理三方面制定方案。材質(zhì)選擇上,轉(zhuǎn)子采用哈氏合金或蒙乃爾合金,這類(lèi)合金含鎳量超 60%,在氟化物環(huán)境中腐蝕速率低于 0.1mm / 年;泵腔內(nèi)壁噴涂陶瓷涂層(厚度 50-100μm),硬度達(dá) HRC60 以上,隔絕氣體與金屬接觸。結(jié)構(gòu)優(yōu)化方面,采用無(wú)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì),避免潤(rùn)滑油與氟化物反應(yīng)生成腐蝕性物質(zhì);設(shè)置氣體冷卻通道,將氣體溫度從 150℃降至 80℃以下,減緩腐蝕反應(yīng)速率。后處理環(huán)節(jié),在排氣口加裝吸附塔,填充活性氧化鋁與氯化鈣混合吸附劑,吸附未反應(yīng)的氟化物氣體(吸附效率≥95%),避免直接排放污染環(huán)境...
隨著工業(yè) 4.0 的推進(jìn),螺桿真空泵逐漸向智能化、數(shù)字化方向發(fā)展,智能化功能的應(yīng)用大幅提升了設(shè)備的運(yùn)維效率和管理水平。目前,許多廠家在螺桿真空泵上集成了智能控制系統(tǒng),配備觸摸屏操作界面,操作人員可直觀查看設(shè)備的實(shí)時(shí)運(yùn)行參數(shù)(如真空度、溫度、轉(zhuǎn)速、能耗),并能一鍵設(shè)置運(yùn)行模式,簡(jiǎn)化操作流程。更重要的是,部分**機(jī)型支持物聯(lián)網(wǎng)(IoT)遠(yuǎn)程監(jiān)控功能,通過(guò)內(nèi)置的傳感器和通信模塊,設(shè)備可將運(yùn)行數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳至云端管理平臺(tái)。企業(yè)管理人員可通過(guò)電腦、手機(jī)等終端隨時(shí)隨地查看設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常(如真空度下降、溫度過(guò)高)時(shí),平臺(tái)會(huì)自動(dòng)發(fā)送報(bào)警信息(短信、APP 推送),提醒維護(hù)人員及時(shí)處理,避免故障擴(kuò)大...