ISO 1 - ISO 3 級(jí)是無(wú)塵車間的較高潔凈標(biāo)準(zhǔn),每立方米空氣中 0.1 微米微粒數(shù)量分別控制在 10 個(gè)、100 個(gè)、1000 個(gè)以內(nèi),用于對(duì)污染物極度敏感的產(chǎn)業(yè),且多為局部潔凈區(qū)域(如設(shè)備內(nèi)部腔體),而非整車間布局。半導(dǎo)體行業(yè)的7 納米及以下先進(jìn)制程晶圓光刻環(huán)節(jié)(如 EUV 光刻機(jī)工作臺(tái)區(qū)域),需 ISO 1 - ISO 2 級(jí)潔凈環(huán)境。該制程下晶圓電路線寬只有十幾納米,空氣中的金屬離子(如鈉、鐵離子)或微小塵埃,會(huì)直接造成電路短路或漏電,影響芯片良率。此外,半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的主要配方調(diào)試區(qū)域,也需 ISO 3 級(jí)潔凈度,防止雜質(zhì)影響光刻膠的感光性能與分辨率。車間內(nèi)需維持相對(duì)相鄰區(qū)域的正壓或負(fù)壓,防止污染侵入或外泄。四川1000級(jí)無(wú)塵車間施工

無(wú)塵車間竣工后的驗(yàn)收環(huán)節(jié)至關(guān)重要,興元環(huán)境遵循嚴(yán)格的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),確保項(xiàng)目完全符合要求。驗(yàn)收內(nèi)容涵蓋潔凈度檢測(cè)、溫濕度控制、壓差控制、氣流速度、噪聲水平等多個(gè)維度:潔凈度檢測(cè)采用激光粒子計(jì)數(shù)器,在車間不同區(qū)域布點(diǎn)采樣,確保塵埃粒子數(shù)量達(dá)到設(shè)計(jì)等級(jí);溫濕度檢測(cè)連續(xù) 24 小時(shí)監(jiān)測(cè),誤差控制在 ±1℃與 ±5% RH 以內(nèi);壓差檢測(cè)確保不同潔凈區(qū)域之間的壓差符合規(guī)范,防止空氣倒流導(dǎo)致污染;同時(shí)檢測(cè)車間噪聲,確保符合 80 分貝以下的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。驗(yàn)收過(guò)程中,興元環(huán)境邀請(qǐng)客戶、監(jiān)理單位共同參與,出具詳細(xì)的檢測(cè)報(bào)告,所有指標(biāo)達(dá)標(biāo)后方可簽署驗(yàn)收文件。若存在個(gè)別指標(biāo)未達(dá)標(biāo),立即組織團(tuán)隊(duì)整改,直至完全合格。這種嚴(yán)格的驗(yàn)收流程,讓客戶無(wú)需擔(dān)心 “帶病竣工”,確保無(wú)塵車間交付后即可投入使用。四川百級(jí)無(wú)塵車間裝修無(wú)塵車間新風(fēng)量需滿足人員健康和潔凈度要求。

在電子、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求嚴(yán)苛的行業(yè)中,無(wú)塵車間是保障產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率的基礎(chǔ)設(shè)施,而深圳市興元環(huán)境工程有限公司,正是這一領(lǐng)域深耕20年的專業(yè)力量。自2006年成立以來(lái),興元環(huán)境始終專注于高級(jí)別潔凈集成系統(tǒng)工程,從十級(jí)到三十萬(wàn)級(jí)的潔凈度需求,都能提供定制化解決方案,憑借扎實(shí)的技術(shù)積累與豐富的項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn),成為眾多企業(yè)信賴的合作伙伴。作為國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),興元環(huán)境不僅注冊(cè)資本達(dá)3500萬(wàn)元,更在深圳總部之外設(shè)立成都分公司,業(yè)務(wù)輻射全國(guó)及部分海外地區(qū),形成了完善的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。公司秉持“技術(shù)創(chuàng)新為動(dòng)力,客戶需求為導(dǎo)向”的經(jīng)營(yíng)理念,將精益求精的“工匠精神”融入無(wú)塵車間設(shè)計(jì)、施工的每一個(gè)環(huán)節(jié),從前期咨詢到后期維保,全程為客戶保駕護(hù)航,讓企業(yè)無(wú)需為生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度問(wèn)題擔(dān)憂,專注于主要業(yè)務(wù)發(fā)展。
無(wú)塵車間的潔凈度等級(jí)劃分依據(jù)是單位體積內(nèi)的微粒數(shù)量。國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644 將潔凈度分為 9 個(gè)等級(jí),ISO Class 5 級(jí)(對(duì)應(yīng)傳統(tǒng) 100 級(jí))要求每立方米空氣中≥0.5μm 的微粒不超過(guò) 3520 個(gè),≥5μm 的微粒不超過(guò) 29 個(gè);ISO Class 8 級(jí)(對(duì)應(yīng)傳統(tǒng) 100000 級(jí))則允許每立方米≥0.5μm 的微粒不超過(guò) 3520000 個(gè)。等級(jí)劃分需結(jié)合生產(chǎn)工藝確定,如半導(dǎo)體芯片封裝車間需達(dá)到 ISO Class 5 級(jí),而普通電子組裝車間 ISO Class 8 級(jí)即可滿足。潔凈度檢測(cè)需使用激光粒子計(jì)數(shù)器,在車間內(nèi)按規(guī)定點(diǎn)數(shù)和高度采樣,采樣時(shí)間不少于 1 分鐘,確保檢測(cè)結(jié)果能真實(shí)反映整體潔凈狀態(tài)。高級(jí)別無(wú)塵車間氣流組織形式多為單向流(層流)。

部分行業(yè)對(duì)無(wú)塵車間有特殊要求,興元環(huán)境憑借技術(shù)積累,能應(yīng)對(duì)各類高難度需求。在鋰電池生產(chǎn)領(lǐng)域,無(wú)塵車間需重點(diǎn)防范粉塵與電解液腐蝕,興元環(huán)境采用耐腐蝕的不銹鋼材料與防爆電氣設(shè)備,搭配高效除塵系統(tǒng),避免粉塵引發(fā)的安全隱患;在光學(xué)電子領(lǐng)域,車間需控制振動(dòng)與眩光,設(shè)計(jì)時(shí)采用減震地面與防眩光照明,確保光學(xué)元件生產(chǎn)不受外界干擾;在航空航天領(lǐng)域,針對(duì)精密儀器研發(fā),打造較低濕度無(wú)塵車間,通過(guò)除濕系統(tǒng)將濕度控制在 30% 以下,防止儀器受潮損壞。例如,在星間激光通信超凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè) EPC 項(xiàng)目中,興元環(huán)境克服了實(shí)驗(yàn)室對(duì)潔凈度、溫濕度、振動(dòng)控制的極高要求,交付的無(wú)塵空間完全滿足航天科技研發(fā)需求,展現(xiàn)了其應(yīng)對(duì)特殊行業(yè)挑戰(zhàn)的能力。凈化車間通過(guò)控制空氣微粒濃度達(dá)到特定潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。廣州萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間工程
無(wú)塵車間是提升產(chǎn)品良率的關(guān)鍵要素。四川1000級(jí)無(wú)塵車間施工
清潔與消毒是維持無(wú)塵車間潔凈度的日常工作。清潔需使用無(wú)塵抹布和拖把,材質(zhì)為超細(xì)纖維,避免擦拭時(shí)產(chǎn)生纖維脫落,清潔用水需經(jīng)過(guò)純化處理(電阻率≥18.2MΩ?cm),配合中性清潔劑使用,防止殘留化學(xué)物質(zhì)。清潔順序需遵循 “由內(nèi)到外、由上到下”,先清潔天花板和設(shè)備頂部,再擦拭墻面和工作臺(tái)面,清潔地面,避免交叉污染。消毒則根據(jù)車間類型選擇方式,電子車間可采用紫外線消毒(每次照射 30 分鐘以上),生物醫(yī)藥車間需定期進(jìn)行甲醛熏蒸或過(guò)氧化氫霧化消毒,確保殺滅空氣中和表面的微生物,消毒后需通風(fēng)換氣,避免殘留消毒藥劑影響生產(chǎn)。四川1000級(jí)無(wú)塵車間施工