無(wú)塵車間的空氣凈化系統(tǒng)是維持潔凈環(huán)境的主要部分。通常采用 “初效 + 中效 + 高效” 三級(jí)過濾體系,空氣先經(jīng)初效過濾器攔截毛發(fā)、灰塵等大顆粒雜質(zhì),再由中效過濾器捕捉 1-5 微米的懸浮顆粒物,然后通過高效過濾器(HEPA)去除 0.3 微米以上的微粒,過濾效率可達(dá) 99.97% 以上。送風(fēng)量需根據(jù)車間潔凈等級(jí)準(zhǔn)確計(jì)算,Class 100 級(jí)車間的換氣次數(shù)通常每小時(shí)超過 200 次,而 Class 10000 級(jí)車間約為 50-100 次。氣流組織多采用單向流設(shè)計(jì),潔凈空氣從頂部靜壓箱均勻送出,沿垂直或水平方向流動(dòng),將污染物從回風(fēng)口或排風(fēng)口帶出,避免氣流死角導(dǎo)致的污染積聚??諝庠趦艋囬g內(nèi)通常保持層流(單向流)或紊流(非單向流)狀態(tài)。湛江千級(jí)無(wú)塵車間
無(wú)塵車間的維護(hù)保養(yǎng)需制定完善的計(jì)劃??諝膺^濾器需定期檢測(cè)壓差,當(dāng)高效過濾器的阻力超過初始阻力的 20% 時(shí)需及時(shí)更換,中效過濾器每 3 個(gè)月更換一次,初效過濾器每月清洗或更換。空調(diào)機(jī)組的換熱器需每半年清洗一次,防止結(jié)垢影響換熱效率,風(fēng)機(jī)皮帶需定期檢查松緊度,避免打滑。設(shè)備的潤(rùn)滑系統(tǒng)需使用潔凈潤(rùn)滑油,防止油污泄漏污染環(huán)境,傳動(dòng)部件需定期防塵密封檢查。此外,需每月對(duì)車間的潔凈度、溫濕度、氣壓差等參數(shù)進(jìn)行全方面檢測(cè),每季度進(jìn)行一次系統(tǒng)性能評(píng)估,及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題,確保車間長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。廣元10級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)半導(dǎo)體、生物制藥等行業(yè)高度依賴無(wú)塵車間環(huán)境。
人員進(jìn)入無(wú)塵車間的流程管控是防污染的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。需設(shè)置單獨(dú)的更衣區(qū)、緩沖間和潔凈走廊,人員需按 “外鞋 - 一更 - 二更 - 洗手消毒 - 風(fēng)淋” 的順序進(jìn)入。更衣時(shí)要更換無(wú)塵服,從帽子、口罩到鞋子需全方面包裹,避免毛發(fā)、皮屑脫落,無(wú)塵服材質(zhì)多為超細(xì)纖維,具有抗靜電和濾塵功能,且需定期高溫清洗消毒。風(fēng)淋室通過高速氣流(風(fēng)速通常 18-22m/s)吹除附著在衣物表面的灰塵,停留時(shí)間需達(dá)到 30 秒以上,確保無(wú)死角吹掃。緩沖間則通過氣壓差設(shè)計(jì)(潔凈區(qū)氣壓高于非潔凈區(qū)),防止未凈化空氣滲入,人員需在此完成二次清潔確認(rèn)。
在無(wú)塵車間建設(shè)過程中,企業(yè)常面臨各種復(fù)雜場(chǎng)景,如舊車間改造、特殊場(chǎng)地施工、緊急項(xiàng)目交付等,興元環(huán)境憑借豐富的經(jīng)驗(yàn)與靈活的應(yīng)對(duì)能力,能夠妥善解決這些難題,確保項(xiàng)目順利推進(jìn)。在舊車間改造項(xiàng)目中,公司會(huì)先對(duì)原有車間結(jié)構(gòu)、設(shè)備進(jìn)行全方面評(píng)估,制定科學(xué)的改造方案,盡量減少對(duì)企業(yè)正常生產(chǎn)的影響,例如采用“分區(qū)改造、交替生產(chǎn)”的模式,讓企業(yè)在改造期間仍能保持部分生產(chǎn)能力;在特殊場(chǎng)地施工方面,如高樓層、狹窄空間等,興元環(huán)境會(huì)選用小型化、靈活性強(qiáng)的施工設(shè)備,優(yōu)化施工流程,確保施工安全與質(zhì)量。某半導(dǎo)體企業(yè)因業(yè)務(wù)擴(kuò)張,急需在現(xiàn)有廠房?jī)?nèi)新增無(wú)塵車間,且要求3個(gè)月內(nèi)完成交付,興元環(huán)境接到項(xiàng)目后,組建專項(xiàng)項(xiàng)目組,制定詳細(xì)的施工計(jì)劃,合理調(diào)配人力與設(shè)備,采用并行施工模式,提前一周完成項(xiàng)目交付,滿足企業(yè)緊急生產(chǎn)需求。這種應(yīng)對(duì)復(fù)雜場(chǎng)景的能力,讓興元環(huán)境在行業(yè)中樹立了“靠譜”的形象,成為企業(yè)解決無(wú)塵車間建設(shè)難題的首要選擇的合作伙伴。針對(duì)緊急項(xiàng)目,興元環(huán)境可組建專項(xiàng)團(tuán)隊(duì),采用并行施工模式,確保按時(shí)交付無(wú)塵車間。
無(wú)塵車間的壓力控制是防止外部污染物侵入的重要手段,原則是 “潔凈度高的區(qū)域壓力高于潔凈度低的區(qū)域,潔凈區(qū)壓力高于非潔凈區(qū)”,通常通過 “送風(fēng)量大于回風(fēng)量 + 排風(fēng)量” 的方式實(shí)現(xiàn)。例如,ISO 5 級(jí)潔凈區(qū)的壓力需比相鄰的 ISO 6 級(jí)潔凈區(qū)高 5 - 10Pa,ISO 6 級(jí)潔凈區(qū)需比非潔凈區(qū)高 10 - 15Pa,確??諝鈴母邼崈舳葏^(qū)域流向低潔凈度區(qū)域,避免低潔凈度區(qū)域的空氣倒灌。壓力控制通過 “壓力傳感器 + 變頻風(fēng)機(jī)” 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn):壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)車間內(nèi)的壓力值,若壓力低于設(shè)定值,變頻風(fēng)機(jī)自動(dòng)提高送風(fēng)量;若壓力高于設(shè)定值,風(fēng)機(jī)則降低送風(fēng)量,確保壓力穩(wěn)定在允許范圍內(nèi)(波動(dòng)不超過 ±2Pa)。氣流平衡則是確保車間內(nèi)氣流均勻分布、無(wú)死角的關(guān)鍵,需通過氣流組織設(shè)計(jì)和風(fēng)量調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn):例如,垂直層流車間的送風(fēng)量需根據(jù)車間面積和高度計(jì)算(通常每平方米送風(fēng)量為 200 - 300m3/h),回風(fēng)口需均勻布置在地面,避免局部氣流不足;水平層流車間的送風(fēng)口和回風(fēng)口需對(duì)稱布置,確保氣流速度均勻(通常為 0.3 - 0.5m/s)。此外,車間內(nèi)的門需采用氣密門,關(guān)閉時(shí)縫隙不超過 0.1 毫米,防止壓力泄漏;傳遞窗(用于物料傳遞)需具備互鎖功能,即一側(cè)門打開時(shí),另一側(cè)門無(wú)法打開,避免壓力波動(dòng)和污染物傳遞。無(wú)塵車間半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的必備設(shè)施。黃岡千級(jí)無(wú)塵車間
無(wú)塵車間工具和器皿需定期深度清潔。湛江千級(jí)無(wú)塵車間
無(wú)塵車間的日常清潔與維護(hù)是維持潔凈環(huán)境的關(guān)鍵,需遵循 “由內(nèi)到外、由上到下、由潔凈度高區(qū)域到潔凈度低區(qū)域” 的原則,且清潔工具需無(wú)塵布、無(wú)塵拖把、防靜電吸塵器等,避免交叉污染。日常清潔流程包括:每日開工前,用無(wú)塵布蘸取清潔劑(如中性無(wú)塵清洗劑)擦拭墻面、天花板、設(shè)備表面,重點(diǎn)清潔角落、接縫處等易積塵部位;用防靜電吸塵器清理地面,吸塵器需配備高效過濾器(HEPA),防止吸塵過程中微粒泄漏;對(duì)空氣凈化系統(tǒng)的初效過濾器進(jìn)行檢查,若表面積塵較多,需及時(shí)更換(通常每 1 - 2 個(gè)月更換一次)。每周需進(jìn)行一次深度清潔:拆卸中效過濾器進(jìn)行檢查或更換(每 3 - 6 個(gè)月更換一次);用紫外線燈對(duì)車間進(jìn)行表面消毒(消毒時(shí)間不少于 30 分鐘);檢查溫濕度控制系統(tǒng)和壓力控制系統(tǒng),確保參數(shù)穩(wěn)定(如車間與相鄰區(qū)域的壓差不小于 5Pa)。每月需對(duì)高效過濾器進(jìn)行檢測(cè):采用 “塵埃粒子計(jì)數(shù)器” 檢測(cè)過濾器出風(fēng)口的微粒濃度,若濃度超標(biāo),需及時(shí)更換(通常每 1 - 2 年更換一次);同時(shí)檢查風(fēng)淋室、傳遞窗等設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),確保門鎖、風(fēng)機(jī)、噴嘴正常工作。此外,清潔人員需經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn),熟悉清潔流程和工具使用方法,避免清潔過程中產(chǎn)生新的污染物。湛江千級(jí)無(wú)塵車間