無塵車間的潔凈度等級劃分依據(jù)是單位體積內(nèi)的微粒數(shù)量。國際通用標(biāo)準(zhǔn) ISO 14644 將潔凈度分為 9 個等級,ISO Class 5 級(對應(yīng)傳統(tǒng) 100 級)要求每立方米空氣中≥0.5μm 的微粒不超過 3520 個,≥5μm 的微粒不超過 29 個;ISO Class 8 級(對應(yīng)傳統(tǒng) 100000 級)則允許每立方米≥0.5μm 的微粒不超過 3520000 個。等級劃分需結(jié)合生產(chǎn)工藝確定,如半導(dǎo)體芯片封裝車間需達(dá)到 ISO Class 5 級,而普通電子組裝車間 ISO Class 8 級即可滿足。潔凈度檢測需使用激光粒子計數(shù)器,在車間內(nèi)按規(guī)定點數(shù)和高度采樣,采樣時間不少于 1 分鐘,確保檢測結(jié)果能真實反映整體潔凈狀態(tài)。興元環(huán)境打造一站式服務(wù),從無塵車間設(shè)計、施工到維保,全程為客戶保駕護航。河源千級無塵車間
半導(dǎo)體行業(yè)是無塵車間的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,因芯片制造過程中,晶圓對微粒、金屬離子、水汽等污染物極為敏感,需在極高潔凈度的環(huán)境中進行。例如,晶圓光刻環(huán)節(jié)需在 ISO 1 - ISO 2 級潔凈車間內(nèi)進行:該等級下,每立方米空氣中 0.1 微米微粒不超過 100 個,且需控制空氣中的金屬離子濃度(如鈉、鉀離子濃度低于 1ppb),防止金屬離子影響光刻膠的感光性能;晶圓蝕刻環(huán)節(jié)則需在 ISO 3 - ISO 4 級潔凈車間內(nèi)進行,同時需控制車間內(nèi)的濕度(低于 30%),避免水汽與蝕刻氣體(如氟化物)反應(yīng)生成腐蝕性物質(zhì),損傷晶圓表面。此外,半導(dǎo)體無塵車間還需具備嚴(yán)格的靜電控制能力:車間內(nèi)的地面、墻面、設(shè)備表面需做防靜電處理,人員穿戴防靜電無塵服,設(shè)備接地電阻控制在 10^6 - 10^9 歐姆之間,防止靜電吸附微?;驌舸┚A電路。可以說,半導(dǎo)體芯片的集成度越高(如 7 納米、5 納米制程),對無塵車間的潔凈度、溫濕度、靜電控制要求越嚴(yán)格,無塵車間的技術(shù)水平直接決定了半導(dǎo)體制造的精度和良率。長沙100級無塵車間設(shè)計人員進入無塵車間需穿戴全套防靜電潔凈服。
對于企業(yè)而言,無塵車間的建設(shè)并非單一的施工環(huán)節(jié),而是涵蓋設(shè)計、采購、施工、維保的系統(tǒng)工程,興元環(huán)境深刻洞察這一需求,打造了“一站式、綜合型、系統(tǒng)化”的服務(wù)體系,為客戶提供全流程解決方案。在項目初期,公司會安排專業(yè)團隊深入企業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場,結(jié)合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、生產(chǎn)工藝與現(xiàn)場條件,制定科學(xué)合理的設(shè)計方案,無論是空間布局、空氣凈化系統(tǒng)配置,還是溫濕度控制、人流物流管理,都細(xì)致考量,確保方案既符合潔凈度要求,又能適配企業(yè)實際生產(chǎn)需求。進入施工階段,興元環(huán)境依托ERP、PMP等專業(yè)管理系統(tǒng),對施工過程進行精細(xì)化管控,從材料采購到施工工藝,每一步都嚴(yán)格把關(guān),避免因細(xì)節(jié)疏漏導(dǎo)致后期返工。項目交付后,公司還提供長期維保服務(wù),定期對無塵車間的空氣凈化系統(tǒng)、設(shè)備運行狀態(tài)進行檢查與維護,及時解決潛在問題,保障無塵車間長期穩(wěn)定運行,讓企業(yè)生產(chǎn)環(huán)境始終處于較佳狀態(tài)。
興元環(huán)境不僅服務(wù)深圳本地客戶,還具備全國及海外無塵車間項目的承接能力,滿足跨地域合作需求。公司總部位于深圳,在成都設(shè)有分公司,可快速響應(yīng)西南地區(qū)客戶需求;對于全國其他地區(qū)的項目,組建專業(yè)跨區(qū)域施工團隊,配備完善的施工設(shè)備與材料運輸體系,確保項目順利推進。例如,為鄭州比亞迪產(chǎn)業(yè)園設(shè)計的無塵車間,團隊從深圳派駐主要技術(shù)人員,與當(dāng)?shù)厥┕り犖榕浜?,按時完成項目交付;在海外項目中,興元環(huán)境熟悉當(dāng)?shù)亟ㄖ?guī)范與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),可提供符合國際要求的無塵車間方案,目前業(yè)務(wù)已覆蓋部分海外地區(qū)。這種跨地域服務(wù)能力,讓全國各地乃至海外的客戶,都能享受到興元環(huán)境專業(yè)的無塵車間設(shè)計裝修服務(wù),無需受地域限制。興元環(huán)境建立 24 小時售后響應(yīng)機制,快速解決無塵車間設(shè)備故障與維護問題。
ISO 1 - ISO 3 級是無塵車間的較高潔凈標(biāo)準(zhǔn),每立方米空氣中 0.1 微米微粒數(shù)量分別控制在 10 個、100 個、1000 個以內(nèi),用于對污染物極度敏感的產(chǎn)業(yè),且多為局部潔凈區(qū)域(如設(shè)備內(nèi)部腔體),而非整車間布局。半導(dǎo)體行業(yè)的7 納米及以下先進制程晶圓光刻環(huán)節(jié)(如 EUV 光刻機工作臺區(qū)域),需 ISO 1 - ISO 2 級潔凈環(huán)境。該制程下晶圓電路線寬只有十幾納米,空氣中的金屬離子(如鈉、鐵離子)或微小塵埃,會直接造成電路短路或漏電,影響芯片良率。此外,半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)實驗室的主要配方調(diào)試區(qū)域,也需 ISO 3 級潔凈度,防止雜質(zhì)影響光刻膠的感光性能與分辨率。遵循 GMP、SEMI 等標(biāo)準(zhǔn),興元環(huán)境助力醫(yī)藥、半導(dǎo)體企業(yè)順利通過行業(yè)認(rèn)證。河源千級無塵車間
興元環(huán)境為天馬微電子打造高精度無塵車間,有效提升顯示面板生產(chǎn)良率。河源千級無塵車間
無塵車間因空間封閉、設(shè)備密集、材料多為易燃物(如環(huán)氧樹脂、塑料),需具備完善的防火設(shè)計和安全措施,防止火災(zāi)發(fā)生和蔓延。首先,防火分區(qū)劃分:根據(jù)車間面積和潔凈度等級,將車間劃分為多個防火分區(qū),每個防火分區(qū)的面積不超過 500 平方米(對于 ISO 1 - ISO 4 級潔凈車間,面積不超過 300 平方米),防火分區(qū)之間采用防火墻或防火卷簾分隔,防火墻的耐火極限不低于 3 小時,防火卷簾的耐火極限不低于 2 小時。其次,消防系統(tǒng)配置:車間內(nèi)需安裝自動噴水滅火系統(tǒng),噴頭采用快速響應(yīng)噴頭,布置密度不低于 12.5 平方米 / 個,確?;馂?zāi)發(fā)生時能快速滅火;同時配備氣體滅火系統(tǒng)(如七氟丙烷滅火系統(tǒng)),用于保護不能用水滅火的精密設(shè)備(如半導(dǎo)體光刻機),氣體滅火系統(tǒng)的設(shè)計濃度需根據(jù)保護對象確定(通常為 8 - 10%)。此外,火災(zāi)報警系統(tǒng)需與潔凈環(huán)境適配:煙感探測器需采用無塵型,避免灰塵影響探測精度;報警控制器需安裝在非潔凈區(qū)的控制室,同時在潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置聲光報警器,確保人員能及時發(fā)現(xiàn)火災(zāi)。安全疏散方面,車間內(nèi)的疏散通道寬度不小于 1.2 米,疏散指示標(biāo)志需采用應(yīng)急照明型,安裝高度為 1.0 - 1.2 米,且疏散門需向外開啟,確保人員能快速撤離。河源千級無塵車間