國瑞熱控針對氮化鎵外延生長工藝，開發(fā)**加熱盤適配 MOCVD 設備需求。采用高純石墨基材表面噴涂氮化鋁涂層，在 1200℃高溫下熱膨脹系數與藍寶石襯底匹配，避免襯底開裂風險，熱導率達 150W/mK，確保熱量均勻傳遞至襯底表面。內部設計 8 組**加熱模塊，通過 PID 精密控制實現 ±0.5℃的控溫精度，精細匹配氮化鎵外延層生長的溫度窗口（1050℃-1150℃）。設備配備惰性氣體導流通道，減少反應氣體湍流導致的薄膜缺陷，與中微公司 MOCVD 設備聯合調試，使外延層厚度均勻性誤差控制在 3% 以內，為 5G 射頻器件、電力電子器件量產提供**溫控支持。耐高溫導線配置，絕緣性能優(yōu)異，確保用電安全可靠。無錫晶圓級陶瓷加熱盤非標定制

無錫國瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤，專為物***相沉積環(huán)節(jié)的嚴苛溫控需求設計。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩(wěn)定基底。內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，適配 6 英寸至 12 英寸不同規(guī)格晶圓。設備整體采用無揮發(fā)潔凈工藝處理，在高真空環(huán)境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達 30℃/ 分鐘），完美契合 PVD 工藝中對溫度穩(wěn)定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐。南京刻蝕晶圓加熱盤工業(yè)級耐用加熱盤，耐腐蝕抗沖擊，適應嚴苛工況，保障生產連續(xù)性。

針對化學氣相沉積工藝的復雜反應環(huán)境，國瑞熱控 CVD 電控加熱盤以多維技術創(chuàng)新**溫控難題。加熱盤內置多區(qū)域**溫控模塊，可根據反應腔不同區(qū)域需求實現差異化控溫，溫度調節(jié)范圍覆蓋室溫至 600℃，滿足各類 CVD 反應的溫度窗口要求。采用特種絕緣材料與密封結構設計，能耐受反應腔內部腐蝕性氣體侵蝕，同時具備 1500V/1min 的電氣強度，無擊穿閃絡風險。搭配高精度鉑電阻傳感器，實時測溫精度達 ±0.5℃，通過 PID 閉環(huán)控制確保溫度波動小于 ±1℃，為晶圓表面材料的均勻沉積與性能穩(wěn)定提供關鍵保障，適配集成電路制造的規(guī)模化生產需求。

國瑞熱控半導體封裝加熱盤，聚焦芯片封裝環(huán)節(jié)的加熱需求，為鍵合、塑封等工藝提供穩(wěn)定熱源。采用鋁合金與云母復合結構，兼具輕質特性與優(yōu)良絕緣性能，加熱面功率密度可根據封裝規(guī)格調整，比較高達 2W/CM2。通過優(yōu)化加熱元件排布，使封裝區(qū)域溫度均勻性達 95% 以上，確保焊料均勻熔融與鍵合強度穩(wěn)定。設備配備快速響應溫控系統(tǒng)，從室溫升至 250℃*需 8 分鐘，且溫度波動小于 ±2℃，適配不同封裝材料的固化需求。表面采用防氧化處理，使用壽命超 30000 小時，搭配模塊化設計，可根據封裝生產線布局靈活組合，為半導體封裝的高效量產提供支持。便于自動化集成，標準接口通訊支持，助力智能制造。

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統(tǒng)，為設備快速降溫與溫度穩(wěn)定提供有力支持。系統(tǒng)采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統(tǒng)配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節(jié)水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監(jiān)測與報警功能，確保系統(tǒng)運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環(huán)，為半導體制造中多工藝環(huán)節(jié)的連續(xù)生產提供保障。嚴格出廠檢測流程，多項性能測試，確保每臺設備質量可靠。連云港晶圓加熱盤非標定制

專業(yè)應用工程師團隊，提供工藝優(yōu)化建議，創(chuàng)造更大價值。無錫晶圓級陶瓷加熱盤非標定制

借鑒空間站 “雙波長激光加熱” 原理，國瑞熱控開發(fā)半導體激光加熱盤，適配極端高溫材料制備。采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層，表面可承受 3000℃以上局部高溫，配合半導體激光與二氧化碳激光協同加熱，實現 “表面強攻 + 內部滲透” 的加熱效果。加熱區(qū)域直徑可在 10mm-200mm 間調節(jié)，溫度響應時間小于 1 秒，控溫精度 ±1℃，支持脈沖式加熱模式。設備配備紅外測溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng)，在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應用，為航空航天等**領域提供極端環(huán)境模擬工具。無錫晶圓級陶瓷加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念，先進的管理經驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時刻準備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價值的產品，我們將以更好的狀態(tài)，更認真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！