應(yīng)用領(lǐng)域:視覺傳感器的低成本和易用性已吸引機器設(shè)計師和工藝工程師將其集成入各類曾經(jīng)依賴人工、多個光電傳感器,或根本不檢驗的應(yīng)用。視覺傳感器的工業(yè)應(yīng)用包括檢驗、計量、測量、定向、瑕疵檢測和分撿。以下只是一些應(yīng)用范例:在汽車組裝廠,檢驗由機器人涂抹到車門邊框的膠珠是否連續(xù),是否有正確的寬度;在瓶裝廠,校驗瓶蓋是否正確密封、裝灌液位是否正確,以及在封蓋之前沒有異物掉入瓶中;在包裝生產(chǎn)線,確保在正確的位置粘貼正確的包裝標簽;變換電路負責對轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號進行放大調(diào)制;寶山區(qū)標準傳感器性能
其中,電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點,是MEMS微加速度計中的主流產(chǎn)品。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統(tǒng),主要有振動式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用**多的屬于振動陀螺儀,它利用單晶硅或多晶硅的振動質(zhì)量塊在被基座帶動旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時,系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動是否到位,主動在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當?shù)闹苿右苑乐蛊嚸撾x車道,通常,它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。寶山區(qū)標準傳感器性能因此可以說,沒有眾多的優(yōu)良的傳感器,現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。
4、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時間短,適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時間式)、機械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。5、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。
2、浮筒式液位傳感器浮筒式液位傳感器是將磁性浮球改為浮筒,它是根據(jù)阿基米德浮力原理設(shè)計的。浮筒式液位傳感器是利用微小的金屬膜應(yīng)變傳感技術(shù)來測量液體的液位、界位或密度的。它在工作時可以通過現(xiàn)場按鍵來進行常規(guī)的設(shè)定操作。3、靜壓或液位傳感器該傳感器利用液體靜壓力的測量原理工作。它一般選用硅壓力測壓傳感器將測量到的壓力轉(zhuǎn)換成電信號,再經(jīng)放大電路放大和補償電路補償,***以4~20mA或0~10mA電流方式輸出。真空度真空度傳感器,采用先進的硅微機械加工技術(shù)生產(chǎn),以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的**元件制成的***壓力變送器,由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔,及一系列無應(yīng)力封裝技術(shù)及精密溫度補償技術(shù),因而具有穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高的突出優(yōu)點,適用于各種情況下***壓力的測量與控制。在利用信息的過程中,首先要解決的就是要獲取準確可靠的信息,而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段。
國家標準GB/T 7665-2005對傳感器的定義是:“能感受被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置,通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成”。 [3]中國物聯(lián)網(wǎng)校企聯(lián)盟認為,傳感器的存在和發(fā)展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來?!薄皞鞲衅鳌痹谛马f式大詞典中定義為:“從一個系統(tǒng)接受功率,通常以另一種形式將功率送到第二個系統(tǒng)中的器件”。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成,如圖1 所示。部分散射光返回到傳感器接收器,被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上。寶山區(qū)標準傳感器性能
新技術(shù)的到來,世界開始進入信息時代。寶山區(qū)標準傳感器性能
國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。3、微機械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般*用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運動控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、***儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、***等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實現(xiàn)的微機械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠。寶山區(qū)標準傳感器性能
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