薄膜沉積的傳統(tǒng)方法一直是熱蒸發(fā)，或采用電阻加熱蒸發(fā)源或采用電子束蒸發(fā)源。薄膜特性主要決定于沉積原子的能量，傳統(tǒng)蒸發(fā)中原子的能量*約0.1eV。IAD沉積導(dǎo)致電離化蒸汽的直接沉積并且給正在生長(zhǎng)的膜增加活化能，通常為50eV量級(jí)。離子源將束流從離子***指向基底表面和正在生長(zhǎng)的薄膜來(lái)改善傳統(tǒng)電子束蒸發(fā)的薄膜特性。薄膜的光學(xué)性質(zhì)，如折射率、吸收和激光損傷閾值，主要依賴于膜層的顯微結(jié)構(gòu)。薄膜材料、殘余氣壓和基底溫度都可能影響薄膜的顯微結(jié)構(gòu)。如果蒸發(fā)沉積的原子在基底表面的遷移率低，則薄膜會(huì)含有微孔。當(dāng)薄膜暴露于潮濕的空氣時(shí)，這些微孔逐漸被水汽所填充。 [3圖4和圖5分別給出中性光強(qiáng)分光膜和平板型偏振分光膜的反射光譜曲線。啟東放心選光學(xué)膜服務(wù)電話

◆ 迄今為止（2013年）常用的光學(xué)薄膜有：高反射膜；減反射膜；濾光膜；濾色膜；增透膜；聚光膜；擴(kuò)散膜；偏光膜等等。Veitch Tech的液晶顯示光學(xué)薄膜是一種通過(guò)微結(jié)構(gòu)產(chǎn)生光線多次折射及聚焦原理形成的光學(xué)膜，其獨(dú)特的技術(shù)和工藝而減少光 線吸收，保證了光線穿透而亮度更高。除可以提高亮度收益之外， 還可以通過(guò)光的折射及散射而起到光擴(kuò)散，霧化功能效果。增光膜增光膜（BEF）是在透明性非常好的PET表面，使用丙烯酸樹(shù)脂，精密成型一層分散一致的棱鏡結(jié)構(gòu)及背面光擴(kuò)散層組合的光學(xué)薄膜，運(yùn)用在液晶顯示的上層增光,使光線經(jīng)由增光之微結(jié)構(gòu)進(jìn)行光的回收與聚光，產(chǎn)生增亮的效果，高亮度設(shè)計(jì)，帶擴(kuò)散功能, 由於擴(kuò)散層的基理,從而消除光耦合（Wet out） 現(xiàn)象，光顯示更加均勻，柔和。海安本地光學(xué)膜廠家供應(yīng)薄膜的光學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì)以及其他有關(guān)性質(zhì)的研究;

光學(xué)薄膜按應(yīng)用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學(xué)保護(hù)膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4種。光學(xué)反射膜用以增加鏡面反射率，常用來(lái)制**光、折光和共振腔器件。光學(xué)增透膜沉積在光學(xué)元件表面，用以減少表面反射，增加光學(xué)系統(tǒng)透射，又稱減反射膜。光學(xué)濾光膜用來(lái)進(jìn)行光譜或其他光性分割，其種類多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。光學(xué)保護(hù)膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面，用以增加其強(qiáng)度或穩(wěn)定性，改進(jìn)光學(xué)性質(zhì)。最常見(jiàn)的是金屬鏡面的保護(hù)膜。

一般情況下，采用單層增透膜很難達(dá)到理想的增透效果,為了在單波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)零反射,或在較寬的光譜區(qū)達(dá)到好的增透效果，往往采用雙層、三層甚至更多層數(shù)的減反射膜。圖1的a、b、c分別繪出Kg玻璃表面的單層、雙層和三層增透膜的剩余反射曲線。減反射膜是應(yīng)用**廣、產(chǎn)量比較大的一種光學(xué)薄膜，因此，它至今仍是光學(xué)薄膜技術(shù)中重要的研究課題，研究的重點(diǎn)是尋找新材料，設(shè)計(jì)新膜系,改進(jìn)淀積工藝,使之用**少的層數(shù)，**簡(jiǎn)單、**穩(wěn)定的工藝，獲得盡可能高的成品率，達(dá)到**理想的效果。對(duì)激光薄膜來(lái)說(shuō)，減反射膜是激光損傷的薄弱環(huán)節(jié)，如何提高它的破壞強(qiáng)度，也是人們**關(guān)心的問(wèn)題之一。這種濾光片的透過(guò)率對(duì)薄膜的損耗非常敏感，所以制備透過(guò)率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。

對(duì)于CO2激光燈中紅外線波段，常用的鍍膜材料有氟化釔、氟化鐠、鍺等；對(duì)于YAG激光燈近紅外波段或可見(jiàn)光波段，常用的鍍膜材料有硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、氧化鋯等。除了高反膜、增透膜之外，還可以鍍對(duì)某波長(zhǎng)增反射、對(duì)另一波長(zhǎng)增透射的特殊膜，如激光倍頻技術(shù)中的分光膜等。光的干涉在薄膜光學(xué)中廣泛應(yīng)用。光學(xué)薄膜技術(shù)的普遍方法是借助真空濺射的方式在玻璃基板上涂鍍薄膜，一般用來(lái)控制基板對(duì)入射光束的反射率和透過(guò)率，以滿足不同的需要。為了消除光學(xué)零件表面的反射損失，提高成像質(zhì)量，涂鍍一層或多層透明介質(zhì)膜，稱為增透膜或減反射膜。隨著激光技術(shù)的發(fā)展，對(duì)膜層的反射率和透過(guò)率有不同的要求，促進(jìn)了多層高反射膜和寬帶增透膜的發(fā)展。為各種應(yīng)用需要，利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等。有時(shí)需要考慮一個(gè)光譜區(qū)域叫做寬帶分光膜；用于可見(jiàn)光的寬帶分光膜，又叫做中性分光膜。如東國(guó)內(nèi)光學(xué)膜銷售

光學(xué)薄膜元件的設(shè)計(jì)、制備及其性能的測(cè)試等。啟東放心選光學(xué)膜服務(wù)電話

圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機(jī)基板上的硬件布局。兩個(gè)電子槍源位于基板兩邊，周圍是環(huán)形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間，光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部，真空室里有含6個(gè)圓形夾具的行星系統(tǒng)。夾具用于放置被鍍膜的光學(xué)元件。使用行星系統(tǒng)是保證被蒸發(fā)材料在夾具區(qū)域內(nèi)均勻分布的優(yōu)先方法。夾具繞公共軸旋轉(zhuǎn)，同時(shí)繞其自身軸旋轉(zhuǎn)。光控和晶控處于行星驅(qū)動(dòng)機(jī)械裝置的中部，驅(qū)動(dòng)軸遮擋晶控。背面的大開(kāi)口通向附加的高真空泵?；准訜嵯到y(tǒng)由4個(gè)石英燈組成，真空室的兩邊各兩個(gè)。啟東放心選光學(xué)膜服務(wù)電話

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