對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,請參閱圖1-4,本實用新型提供技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,裝置主體1的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐15,磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機13,攪拌倉23的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐16,裝置主體1的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐17,裝置主體1的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18,陰離子表面活性劑儲罐18的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19,裝置主體1的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐20。蝕刻液用在哪些工藝段上;揚州ITO蝕刻液蝕刻液報價
因此存在開發(fā)蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構(gòu)成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現(xiàn)有技術(shù)文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術(shù)實現(xiàn)要素:所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術(shù)問題的發(fā)明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發(fā)明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發(fā)明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發(fā)明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。安慶銅蝕刻液蝕刻液推薦貨源BOE蝕刻液歡迎咨詢蘇州博洋化學股份。
技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,所述攪拌倉的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機,所述攪拌倉的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件。
銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產(chǎn)品,廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術(shù)的不斷進步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點:1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機種。哪家的蝕刻液的價格優(yōu)惠?
通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內(nèi)部頂端內(nèi)壁的滑槽進行滑動,將過濾板26插入過濾部件9內(nèi)部兩側(cè)的固定槽內(nèi),收縮彈簧管25設置有四處,分別設置在兩滑動蓋24的內(nèi)側(cè)前面和后面,再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內(nèi)活動,使過濾部件9內(nèi)部空間進行密封,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的,連接構(gòu)件11設置有十四個,連接構(gòu)件11設置在攪拌倉23的底部,連接構(gòu)件11與攪拌倉23固定連接,連接構(gòu)件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個構(gòu)件進行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,在將兩構(gòu)件的連接管放在連接構(gòu)件11的兩端,再通過連接管與連接構(gòu)件11內(nèi)側(cè)兩端的螺紋管27進行連接,通過轉(zhuǎn)動連接構(gòu)件11的兩側(cè)部位,同時使連接管與連接構(gòu)件11的中間位置固定住,通過活動軸28的作用,使連接管通過連接有的螺紋向內(nèi)來連接,使連接管將密封軟膠層29進行擠壓,使兩構(gòu)件的連接管進行密封連接,有效的提高了裝置連接的實用性。工作原理:首先檢查連接構(gòu)件11的完整性,連接構(gòu)件11的兩側(cè)嵌入連接有海綿層12,在使用裝置制備蝕刻液的時候,需要通過連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部的部件進行連接,在旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)件11的兩側(cè)時。哪家的蝕刻液的價格低?廣州市面上哪家蝕刻液供應
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使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻,然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后,再進入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進行更換或安裝,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過過濾部件9將蝕刻液進行過濾,過濾部件9設置有一個,過濾部件9設置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側(cè)滑動。揚州ITO蝕刻液蝕刻液報價