該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,故該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法的步驟流程圖,其中本實用新型蝕刻設(shè)備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。蝕刻液應(yīng)用于什么樣的場合?安慶江化微的蝕刻液蝕刻液銷售廠家
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。成都江化微的蝕刻液蝕刻液訂做價格天馬微電子用哪家蝕刻液更多?
其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果:本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計,有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?,F(xiàn)象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險等主要優(yōu)勢。附圖說明圖1:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)的整體設(shè)置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設(shè)置有過濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。BOE蝕刻液生產(chǎn)廠家就找蘇州博洋化學(xué)股份。
過濾器的出液管自動上行離開儲存罐,將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。本實用新型除上述技術(shù)方案外,還包括以下技術(shù)特征:進一步的是,所述地磅的頂部平臺中設(shè)置有兩條卡塊,所述卡塊與平臺之間形成一插槽;所述氣動夾緊機構(gòu)包括氣缸和壓緊塊,所述壓緊塊位于所述插槽中,所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。進一步的是,所述拖車的頂部設(shè)置有一圈圍設(shè)在所述儲存罐外部的護欄。進一步的是,所述拖車的頂部設(shè)置有一集液盒,所述儲存罐安裝在所述集液盒中。進一步的是,所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側(cè)設(shè)置有集液腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:1.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,并采用液壓升降式拖車帶著儲存罐在鋁蝕刻液生產(chǎn)車間與自動灌裝車間之中周轉(zhuǎn),如此便可為鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備配備全自動灌裝線,即提高了單瓶灌裝精度和效率,又降低了企業(yè)的人力成本投入;2.將原有的大型儲存罐更換成數(shù)個小型儲存罐,在儲存罐內(nèi)在進液時,其它儲存罐可以進行定量灌裝,提高了鋁蝕刻液的生產(chǎn)效率。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案。蝕刻液的主要成分是什么?池州市面上哪家蝕刻液聯(lián)系方式
哪家公司的蝕刻液是比較劃算的?安慶江化微的蝕刻液蝕刻液銷售廠家
目前的平面顯示裝置,尤其是有機電激發(fā)光顯示器,多使用鉻金屬作為導(dǎo)線的材料。但是因為鉻金屬的阻值高,因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導(dǎo)線的材料。以往曾經(jīng)有提議以銀作為平面顯示裝置的導(dǎo)線材料,但是因為無適當穩(wěn)定的蝕刻液組成物,所以并未有***的運用。近幾年為提高平面顯示裝置的效能,研究者仍專注于如何降低導(dǎo)線材料的電阻值。銀合金目前被視為適當?shù)膶?dǎo)線材料,因其阻值低于其他的金屬。此外,含銀量超過80%以上的銀合金,雖然阻值未若銀金屬一般低,但是其阻值遠低于鉻金屬。然而由于銀合金未具有適當?shù)奈g刻液,所以并沒有廣泛應(yīng)用于晶片或面板的黃光制程。發(fā)明人爰因于此,本于積極發(fā)明的精神,亟思一種可以解決上述問題的“銀合金蝕刻液”,幾經(jīng)研究實驗終至完成此項嘉惠世人的發(fā)明。安慶江化微的蝕刻液蝕刻液銷售廠家