負壓技術的原理
1.降低液體沸點
在真空環(huán)境下,液體(如脫脂劑、有機溶劑)的沸點降低(例如水在 - 0.1MPa 時沸點約為 30℃)。利用這一特性,可在較低溫度下使液體沸騰,產生微小氣泡,通過氣泡破裂的沖擊力剝離盲孔內的油污。
2.增強滲透與排液負壓狀態(tài)下,液體更容易滲透到盲孔深處,同時孔內殘留的空氣被抽出,避免氣泡滯留。處理后恢復常壓時,液體因壓力差迅速排出盲孔,減少殘留。
單批次時間縮 40%,自動化省人工!上海MEMS器件盲孔產品電鍍設備

真空空除油設備正成為制造領域不可或缺的裝備,尤其在半導體、航空航天等對清潔度要求苛刻的行業(yè),其技術優(yōu)勢已轉化為的產業(yè)競爭力。真空除油設備相比傳統(tǒng)清洗工藝具有技術優(yōu)勢
真空環(huán)境下液體沸騰產生納米級氣泡(直徑<10μm),可深入深盲孔(長深比>10:1)及微型溝槽(寬度<0.05mm),比常壓清洗覆蓋率提高 40% 以上。
真空系統(tǒng)交替降壓 / 升壓(如 0.05MPa→-0.095MPa 循環(huán)),形成 "活塞效應",將油污從孔隙中強制排出,清洗速度比靜態(tài)浸泡~5 倍。
廣東深圳真空環(huán)境盲孔產品電鍍設備超聲波 + 負壓雙效,醫(yī)療植入體油膜秒剝離!

【產品定位】本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發(fā)的專業(yè)真空處理系統(tǒng),適用于半導體、精密電子、航空航天等領域的復雜結構工件處理。
【功能】
1.真空置換系統(tǒng):采用旋片式真空泵組,可在60秒內將工作腔壓力降至10mbar以下,通過動態(tài)真空置換技術實現(xiàn)盲孔內空氣的高效抽離
2.智能補液系統(tǒng):配備流量閉環(huán)控制系統(tǒng),可根據(jù)工件孔徑自動調節(jié)藥液填充速率,確保微孔填充率≥99.8%
3.工藝可視化:配置5.7英寸工業(yè)級觸控屏,實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關鍵參數(shù)
【技術優(yōu)勢】
1.采用304不銹鋼內膽+高硼硅玻璃視窗組合,耐酸堿腐蝕且便于觀察
2.可調式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置,確保真空度穩(wěn)定維持在±0.5mbar
3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展,處理效率提升40%以上
【應用價值】
通過建立可控的負壓環(huán)境,有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍、膜厚不均等問題,使鍍層均勻性提升至±5μm以內,降低不良品率。設備符合ISO9001質量管理體系及CE安全認證,已成功應用于100+客戶的量產線,平均提升良品率25%,降低生產成本18%。
1.預處理:工件置于可旋轉支架,采用氮氣密封艙體至10?3Pa級氣密性。
2.抽真空:多級泵組3-5分鐘內將壓力降至100Pa,主泵進一步達10?1Pa以下,同步預加熱至30-80℃。
3.負壓蒸發(fā):紅外加熱結合循環(huán)氣流,礦物油在0.09MPa下沸點降至80℃,薄油膜5-10分鐘完成蒸發(fā)。
4.冷凝回收:-20℃半導體制冷片實現(xiàn)99%油蒸氣回收,分離凈化后循環(huán)使用。
5.干燥破空:真空干燥至-40℃,充入-60℃氮氣并設氣流屏障防污染。
6.后處理:激光測厚檢測油膜厚度,集成MES系統(tǒng)自動匹配參數(shù),預測性維護周期超5000小時。
極限真空≤10?3Pa,能耗0.8-1.5kWh/kg,處理效率5-50kg/h。特殊場景采用脈沖真空、液氮冷卻及防爆設計。通過相變加速、氣流優(yōu)化和能量回收,實現(xiàn)精密部件深度除油,未來將向IoT自適應控制升級。 集成真空干燥功能,可在除油后直接完成微孔內壁水分汽化,縮短工藝流程。

是一種高效、環(huán)保的工業(yè)清洗解決方案,其原理是通過降低設備內部壓力(形成真空環(huán)境)來加速油污的蒸發(fā)和分離。
1.汽車制造
發(fā)動機缸體、變速箱齒輪的除油清洗。
2.電子行業(yè)
PCB 板、半導體芯片的焊后除助焊劑。
3.航空航天渦輪葉片、燃油系統(tǒng)部件的精密清洗。
4.醫(yī)療器械
手術器械的無菌除油預處理。
5.新能源
鋰電池極片、電機定子的干燥除油。
真空 chamber:密封容器,配備加熱 / 冷卻盤管。
真空泵組:多級羅茨泵 + 旋片泵組合,實現(xiàn)高真空度(通?!?00Pa)。
冷凝回收系統(tǒng):將油蒸氣冷凝為液態(tài)回收,減少浪費。
工件放入 chamber → 抽真空至目標壓力 → 加熱加速蒸發(fā) → 冷凝回收油污 → 破空取出工件。 設備采用智能程序控制,可根據(jù)盲孔深度、孔徑自動調節(jié)真空度與清洗時間,提升生產效率 30% 以上。河南盲孔產品電鍍設備參數(shù)對比
采用雙級真空泵組,極限真空度可達 1×10?3mbar,滿足精密電子元件清洗需求。上海MEMS器件盲孔產品電鍍設備
1.先抽真空,如發(fā)現(xiàn)真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。
1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分,把我們要處理的化學藥水壓入到盲孔內,實現(xiàn)除油或電鍍。如果需要加熱,可在設備外放入加熱的液體,再加工件,氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好,膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。
2.有操作設定條件之特殊安全性防爆烤箱外,絕不可將爆裂物,加壓容器或可燃物置于烤箱內,否則可能會導致裂開而造成嚴重的工業(yè)災害。
3.燃物包括:易燃物、氧化物、發(fā)火物及易燃氣體。
4.排風管應保持通暢無阻,真空濾網(wǎng)請定期清潔。
5.必須接好地線,依照電工法規(guī)實施。
6.維修時嚴禁帶電操作,必須切斷總電源,方可檢修。
7.真空箱經多次使用后,會產生不能抽真空的現(xiàn)象,此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出距離來解決。
8.真空箱應經常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭,應用松軟棉布擦拭。
9.若真空箱長期不用,請?zhí)咨纤芰媳∧し缐m罩,放置于干燥的室內,以免電器元件受潮損壞,影響使用。 上海MEMS器件盲孔產品電鍍設備