真空處理設備技術方案

【產(chǎn)品定位】本設備是針對盲孔類工件電鍍及前處理工藝研發(fā)的專業(yè)真空處理系統(tǒng)，適用于半導體、精密電子、航空航天等領域的復雜結(jié)構(gòu)工件處理。

【功能】

1.真空置換系統(tǒng)：采用旋片式真空泵組，可在60秒內(nèi)將工作腔壓力降至10mbar以下，通過動態(tài)真空置換技術實現(xiàn)盲孔內(nèi)空氣的高效抽離

2.智能補液系統(tǒng)：配備流量閉環(huán)控制系統(tǒng)，可根據(jù)工件孔徑自動調(diào)節(jié)藥液填充速率，確保微孔填充率≥99.8%

3.工藝可視化：配置5.7英寸工業(yè)級觸控屏，實時顯示真空度、液位高度、處理時間等關鍵參數(shù)

【技術優(yōu)勢】

1.采用304不銹鋼內(nèi)膽+高硼硅玻璃視窗組合，耐酸堿腐蝕且便于觀察

2.可調(diào)式硅橡膠密封條配合氣壓補償裝置，確保真空度穩(wěn)定維持在±0.5mbar

3.模塊化設計支持單工位/雙工位/多工位擴展，處理效率提升40%以上

【應用價值】

通過建立可控的負壓環(huán)境，有效解決盲孔類工件因氣穴導致的漏鍍、膜厚不均等問題，使鍍層均勻性提升至±5μm以內(nèi)，降低不良品率。設備符合ISO9001質(zhì)量管理體系及CE安全認證，已成功應用于100+客戶的量產(chǎn)線，平均提升良品率25%，降低生產(chǎn)成本18%。

真空除油設備配置防爆電機，滿足化工、制藥等高風險行業(yè)安全需求。北京MEMS器件盲孔產(chǎn)品電鍍設備

真空除油設備原理

通過集成真空負壓系統(tǒng)與高效霧化噴射技術，在 0.01-0.05MPa 低氣壓環(huán)境下實現(xiàn)工件表面油污的快速剝離與回收，配合多級精密過濾裝置可循環(huán)處理切削油、沖壓油等工業(yè)油污，適用于汽車零部件、精密模具等復雜工件的深度清潔。

在新能源動力電池生產(chǎn)領域，真空除油設備采用雙工位交替作業(yè)模式，通過 PLC 智能控制系統(tǒng)精細控制真空度（-0.095MPa）與溶劑噴淋量（5-15L/min），確保極片表面殘留油污≤0.1mg/cm2，滿足鋰離子電池對電極材料潔凈度的嚴苛要求。 重慶盲孔產(chǎn)品電鍍設備盲孔產(chǎn)品制造動態(tài)壓力循環(huán)，深徑比 10:1 盲孔無死角！

真空除油設備中，負壓除油的流程：

1.抽真空階段

將工件放入真空罐，啟動真空泵使罐內(nèi)壓力降至設定值（通常-0.08~-0.1MPa）。持續(xù)抽氣1~3分鐘，排出盲孔內(nèi)空氣。

2.液體浸泡與沸騰

注入脫脂劑或溶劑，在負壓下液體迅速沸騰，產(chǎn)生微氣泡沖刷盲孔內(nèi)壁。浸泡時間根據(jù)油污類型調(diào)整（通常3~5分鐘）。

3.循環(huán)漂洗

排出污液后，注入清水或中和液，再次抽真空使液體滲透并排出?？芍貜?~3次，確保殘留洗凈。

4.干燥階段保持真空狀態(tài)，通過熱輻射或熱風（60~80℃）快速蒸發(fā)殘留液體?；謴统汉笕〕龉ぜ?。

真空除油設備創(chuàng)新采用納米氣泡增效技術，將氣體以直徑 10-200nm 的微氣泡形式注入清洗液，通過氣泡爆破產(chǎn)生的局部高溫高壓（瞬間溫度達 5000℃）強化油污分解，處理效率提升 40% 的同時降低溶劑消耗 30%。

在醫(yī)療器械滅菌前處理中，真空除油設備通過醫(yī)藥級 316L 不銹鋼材質(zhì)與 EO 滅菌兼容設計，可手術器械表面的生物膜和礦物油殘留，其真空干燥后的部件含水率低于 0.1%，滿足 ISO 13485 醫(yī)療器械生產(chǎn)標準。

真空除油設備集成物聯(lián)網(wǎng)（IoT）模塊，通過云平臺實時監(jiān)控設備運行狀態(tài)（真空度、溫度、溶劑流量等 20 + 參數(shù)），并提供預測性維護建議，幫助企業(yè)實現(xiàn)設備全生命周期管理，降低停機時間 25% 以上。 半導體晶圓除油，顆粒殘留≤0.5μm！

盲孔加工技術的突破瓶頸

在精密制造領域，盲孔結(jié)構(gòu)因其獨特的空間約束特性，成為衡量加工精度的重要指標。傳統(tǒng)機械鉆孔工藝在0.3mm以下孔徑時，易產(chǎn)生毛刺、孔壁不規(guī)整等問題。隨著半導體封裝、微型傳感器等領域的需求升級，負壓輔助加工技術的引入，使盲孔加工精度提升至±5μm以內(nèi)，有效解決了深徑比超過10:1的技術難題。

負壓環(huán)境的物理作用機制

在真空負壓環(huán)境下（10^-3Pa量級），材料去除過程產(chǎn)生的熱量可通過分子熱傳導快速消散。研究表明，該環(huán)境下刀具磨損速率降低40%，加工表面粗糙度Ra值從0.8μm優(yōu)化至0.2μm。負壓氣流還能實時切削碎屑，避免二次污染，特別適用于生物醫(yī)學植入體等潔凈度要求嚴苛的場景。

配備真空超聲波系統(tǒng)，在 - 0.08MPa 環(huán)境下增強空化效應，改善深孔清洗均勻性。北京MEMS器件盲孔產(chǎn)品電鍍設備

鍍液消耗降 50%，廢水處理省三成！北京MEMS器件盲孔產(chǎn)品電鍍設備

真空除油設備的定義

一、基本概念

1.通過真空泵將設備內(nèi)部氣壓降至常壓以下（通常 - 0.08~-0.1MPa），形成負壓環(huán)境。

2.利用真空狀態(tài)下液體沸點降低、滲透力增強的特性，實現(xiàn)深度除油。

二、負壓技術的作用

1.強化滲透：負壓使液體快速填充盲孔，排出空氣并沖刷油污。

2.微氣泡清洗：液體沸騰產(chǎn)生的微氣泡破裂時釋放能量，剝離頑固附著物。

3.低溫干燥：真空環(huán)境下液體蒸發(fā)速度提升 5~10 倍，避免高溫損傷基材。

三、部件

真空罐體：密閉容器，承載工件并維持負壓。

真空泵組：多級羅茨泵 + 旋片泵組合，快速抽氣并維持真空度。

加熱系統(tǒng)：控制液體溫度（通常 40~60℃）。

超聲波發(fā)生器（可選）：增強空化效應，提升清洗效率。 北京MEMS器件盲孔產(chǎn)品電鍍設備