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國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展,技術(shù)創(chuàng)新與市場機遇并存
是一種高效、智能化的電鍍生產(chǎn)系統(tǒng),通過龍門機械手實現(xiàn)工件的全流程自動化傳輸與精細加工,廣泛應(yīng)用于金屬表面處理行業(yè)。
一、設(shè)備結(jié)構(gòu)與組成龍門架與機械手龍門桁架:橫跨電鍍槽上方,搭載伺服驅(qū)動的機械臂,實現(xiàn)三維空間內(nèi)的精確定位(重復(fù)精度±0.1mm)。夾具系統(tǒng):根據(jù)工件形狀(如螺絲、連接器、汽車零件)定制夾具,確保抓取穩(wěn)固。電鍍槽組包含 前處理槽(除油、酸洗)、電鍍槽(鍍鋅、鍍鎳等)、后處理槽(鈍化、烘干)等,槽位數(shù)量可按工藝擴展(如8~20槽)。槽內(nèi)配備液位傳感器、溫控裝置及循環(huán)過濾系統(tǒng),保障鍍液穩(wěn)定性??刂葡到y(tǒng)PLC+HMI:控制器預(yù)設(shè)工藝參數(shù)(電流、時間、溫度),觸摸屏實時監(jiān)控運行狀態(tài)。智能調(diào)度算法:優(yōu)化機械手路徑,減少空載時間,提升產(chǎn)能(如每小時處理500~2000件) 攪拌設(shè)備通過空氣鼓泡或機械槳葉驅(qū)動電解液流動,避免濃度分層,提升鍍層均勻性與沉積效率。廣西電鍍設(shè)備周邊產(chǎn)業(yè)

對比項 傳統(tǒng)滾鍍 半導(dǎo)體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導(dǎo)體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業(yè)環(huán)境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調(diào) 實時閉環(huán)控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質(zhì))
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環(huán)保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優(yōu)化:通過機器學(xué)習(xí)預(yù)測鍍層缺陷。與CMP(化學(xué)機械拋光)、PVD設(shè)備聯(lián)動,形成全自動金屬化產(chǎn)線
半導(dǎo)體滾鍍設(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備,通過精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制,實現(xiàn)納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 脈沖電鍍設(shè)備發(fā)展滾鍍后的離心甩干設(shè)備內(nèi)置防滑襯墊,高速旋轉(zhuǎn)時固定工件,避免碰撞損傷并加速脫水。

掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過精細控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質(zhì),配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng),維持鍍液均勻性
掛具與陽極:鈦或鉑金陽極,掛具設(shè)計適配晶圓尺寸,確保電場分布均勻
自動化傳輸:機械臂自動上下料,減少人工污染風(fēng)險
控制系統(tǒng):PLC/計算機實時調(diào)控電流密度、電鍍時間、pH值等參數(shù)
高均勻性:通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)(如ECP),減少邊緣效應(yīng),實現(xiàn)亞微米級鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質(zhì)控制(<0.1ppm)與膜厚在線監(jiān)測,降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷
高產(chǎn)能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線,替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道,實現(xiàn)芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線層):沉積銅層實現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局
半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動化技術(shù),解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率
一、零件特性:從形狀到材質(zhì)的精細適配
1. 形狀復(fù)雜度
規(guī)則件--(如螺絲、螺母):優(yōu)先選擇臥式滾鍍機,六棱柱滾筒設(shè)計(開孔率 20%-40%)可實現(xiàn)零件均勻翻滾,鍍層均勻性達 95% 以上
精密件--(如半導(dǎo)體引線框架):采用振動電鍍機,通過電磁振動(振幅 0.1-2mm)減少零件碰撞,鍍層厚度偏差≤±5μm,孔隙率可降至 0.4 個 /cm2 以下。
復(fù)雜件--(如帶盲孔的航空零件):離心滾鍍機(轉(zhuǎn)速 50-200rpm)利用離心力強化鍍液滲透,鍍層致密性提升 30%,適合功能性鍍層(如鍍硬鉻)。
2. 材質(zhì)與尺寸
脆性材料(如陶瓷、玻璃):選擇傾斜式滾筒,降低翻滾沖擊力,避免零件破損。
微型零件(如電子元件):精密微型滾鍍機(滾筒容量≤5L)適配,菱形網(wǎng)孔(開孔率>45%)和螺旋導(dǎo)流板設(shè)計確保鍍層均勻,孔隙率<0.1%10。
大型零件(如汽車輪轂):需定制非標臥式滾鍍機,單槽負載可達 50kg,配合變頻調(diào)速(0.5-15rpm)實現(xiàn)鍍層厚度可控。
二、鍍層工藝:從基礎(chǔ)防護到功能
1. 鍍層類型
防護性鍍層(鍍鋅、鎳):
鍍鋅:適合電子元件。
鍍鎳:用于衛(wèi)浴五金
功能性鍍層(硬鉻、貴金屬):
硬鉻:需搭配三價鉻工藝(毒性降低 96%)。
鍍金 / 銀:需選擇磁耦合驅(qū)動設(shè)備,防止鍍液泄漏。 連續(xù)鍍生產(chǎn)線的導(dǎo)電輥鍍覆耐磨碳鎢涂層,降低鋼帶傳輸摩擦,避免劃傷與鍍層缺陷。

是用于將電鍍過程中產(chǎn)生的廢氣收集并輸送至廢氣處理設(shè)備的裝置,常見的有以下幾種:
具有風(fēng)壓高、風(fēng)量較大、效率較高的特點,
適用于輸送距離較長、阻力較大的電鍍廢氣系統(tǒng)。
其特點是風(fēng)量較大、風(fēng)壓低
適用于對通風(fēng)量要求較大但阻力較小的場合,如電鍍車間內(nèi)的局部抽風(fēng)或簡單的廢氣收集系統(tǒng)。
它具有安裝方便、不占用室內(nèi)空間的優(yōu)點,
適用于一些對室內(nèi)空間布局要求較高的電鍍企業(yè)。
這種風(fēng)機采用特殊的防爆結(jié)構(gòu)和材料,能夠有效防止在運行過程中產(chǎn)生的電火花等引發(fā)炸掉事故,確保安全生產(chǎn)。 掛鍍導(dǎo)電裝置采用磷銅合金掛具,表面鍍硬鉻增強導(dǎo)電性,減少接觸電阻導(dǎo)致的鍍層不均問題。廣西電鍍設(shè)備周邊產(chǎn)業(yè)
無氰鍍鋅設(shè)備使用鋅酸鹽絡(luò)合劑替代。廣西電鍍設(shè)備周邊產(chǎn)業(yè)
提供穩(wěn)定直流電,通常采用高頻開關(guān)電源或硅整流器,電壓范圍0-24V,電流可調(diào)至數(shù)千安培,滿足不同鍍種需求。
耐腐蝕材質(zhì)槽體(如PP/CPVC/PVDF),尺寸設(shè)計依據(jù)生產(chǎn)需求,典型容積0.5-10m3,配置防滲漏雙層結(jié)構(gòu)。
陽極組件:可溶性金屬(如鎳板)或不溶性陽極(鈦籃+金屬球),配置陽極袋防止雜質(zhì)擴散
陰極掛具:定制化設(shè)計,確保工件均勻受鍍,接觸電阻<0.1Ω
溫控精度±1℃,流量控制誤差<5%
在線pH監(jiān)測(±0.1精度)
安培小時計控制鍍層厚度
類型 適用場景 產(chǎn)能(㎡/h) 厚度均勻性 典型配置
掛鍍線 精密零部件 0.5-2 ±5% 多工位龍門架,PLC控制 滾鍍系統(tǒng) 小件批量處理 3-8 ±15% 六角滾筒,變頻驅(qū)動 連續(xù)電鍍線 帶材/線材 10-30 ±8% 張力控制+多槽串聯(lián) 選擇性電鍍 局部強化 0.1-0.5 ±3% 數(shù)控噴射裝置,微區(qū)控制 廣西電鍍設(shè)備周邊產(chǎn)業(yè)