1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計減少“邊緣增厚”現(xiàn)象,鍍層均勻性達±5%以內(nèi)。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動:±0.5℃。
3.潔凈度保障:設(shè)備內(nèi)建HEPA過濾系統(tǒng),滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。
4.高效生產(chǎn):支持多片晶圓同時處理(如6片/批次),UPH(每小時產(chǎn)量)可達50~100片。
1.先進封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結(jié)構(gòu)表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 鍍銅設(shè)備的陽極磷銅板定期活化處理,維持表面活性,穩(wěn)定銅離子濃度,保障鍍層沉積速率。脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線

電鍍設(shè)備是通過電解反應(yīng)在物體表面沉積金屬層的裝置,用于形成保護性或功能性涂層。
其系統(tǒng)包括:
電解電源:提供0-24V直流電,電流可達數(shù)千安培,適配不同鍍種需求;
電解槽:耐腐蝕材質(zhì)(如PP/PVDF),雙層防漏設(shè)計,容積0.5-10m3;
電極系統(tǒng):陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃,陰極掛具定制設(shè)計,確保接觸電阻<0.1Ω;
控制系統(tǒng):精細溫控(±1℃)、pH監(jiān)測(±0.1)及鍍層厚度管理。
設(shè)備分類:
掛鍍線:精密件加工,厚度均勻性±5%;
滾鍍系統(tǒng):小件批量處理,效率3-8㎡/h;
連續(xù)電鍍線:帶材/線材高速生產(chǎn),產(chǎn)能達30㎡/h;選擇性電鍍:數(shù)控噴射,局部鍍層精度±3%。技術(shù)前沿:脈沖電鍍:納米晶結(jié)構(gòu)(晶粒<50nm),孔隙率降低60%;
復(fù)合電鍍:添加納米顆粒(SiC/Al?O?),硬度達HV1200;智能化:機器視覺定位(±0.1mm),大數(shù)據(jù)實時優(yōu)化工藝。環(huán)保與應(yīng)用:閉路水循環(huán)(回用率>90%)及重金屬回收技術(shù);汽車(耐鹽霧>720h)、PCB(微孔鍍銅偏差<8%)、航空航天(耐溫800℃)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。設(shè)備正向高精度、低能耗、智能化發(fā)展,納米電鍍等新技術(shù)持續(xù)突破工藝極限。選型需結(jié)合基材特性、鍍層需求及成本綜合考量。 小型電鍍設(shè)備發(fā)展鍍鉻設(shè)備需配置鉛合金陽極與陽極袋,防止雜質(zhì)污染電解液,確保硬鉻鍍層的高硬度與耐磨性。

1.掛鍍生產(chǎn)線:適用于各種形狀和尺寸的零件,尤其是較大型、批量較小的零件,能夠保證零件的電鍍質(zhì)量和均勻性。
應(yīng)用:汽車零部件、機械零件、五金制品等行業(yè),如汽車輪轂、自行車車架、門把手等的電鍍。
2.滾鍍生產(chǎn)線:該生產(chǎn)線生產(chǎn)效率高,適合于大批量、小尺寸零件的電鍍。
應(yīng)用:常見于電子元件、緊固件、小飾品等行業(yè),如螺絲、螺母、電子引腳、拉鏈等的電鍍。
3.連續(xù)鍍生產(chǎn)線:具有自動化程度高、生產(chǎn)速度快、鍍層均勻等優(yōu)點,能夠?qū)崿F(xiàn)高效、穩(wěn)定的生產(chǎn)。
應(yīng)用:用于電子、電器行業(yè)的帶狀材料,如電子線路板的電鍍、電線電纜的鍍錫等。
4.塑料電鍍生產(chǎn)線:由于塑料本身不導(dǎo)電,需要先對塑料零件進行特殊的前處理,如化學(xué)鍍等,使其表面形成一層導(dǎo)電層,然后再進行常規(guī)的電鍍工藝。塑料電鍍生產(chǎn)線需要增加專門的塑料前處理設(shè)備和工藝。
應(yīng)用:在汽車內(nèi)飾件、電子產(chǎn)品外殼、裝飾品等領(lǐng)域,如汽車儀表盤、手機外殼、塑料紐扣等的電鍍。
5.貴金屬電鍍生產(chǎn)線:用于電鍍金、銀、鉑等貴金屬,對電鍍工藝和設(shè)備的要求較高,需要精確控制電鍍參數(shù),以保證貴金屬鍍層的質(zhì)量和純度。
應(yīng)用:用于珠寶首飾、電子工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,如首飾的鍍金、電子芯片的鍍金絲等。
集氣罩:根據(jù)前處理設(shè)備形狀、廢氣散發(fā)特點定制,如槽邊側(cè)向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質(zhì)有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風(fēng)管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質(zhì),用于連接抽風(fēng)設(shè)備各部件,將廢氣輸送至處理設(shè)備,其設(shè)計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風(fēng)機:常安裝在輸送通道出風(fēng)口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據(jù)實際需求選擇不同規(guī)格和性能的引風(fēng)機。
此外,一些抽風(fēng)裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網(wǎng)板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質(zhì)等對風(fēng)機的損害 。 懸掛傳輸設(shè)備以鏈條或龍門架為載體,實現(xiàn)工件在各槽體間自動轉(zhuǎn)移,減少人工干預(yù)并提高生產(chǎn)節(jié)奏。

1.鍍槽:是電鍍加工的設(shè)備,用于盛放電鍍液,為電鍍提供反應(yīng)場所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同,鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同,常見的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。
2.整流器:其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電,為電鍍過程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性,以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。
3.過濾機:用于過濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物,保持電鍍液的清潔度。過濾機通常采用濾芯式或濾袋式過濾,可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過濾精度要求選擇不同的過濾材料。
4.加熱和冷卻裝置:加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式,而冷卻裝置則多采用冷水機或冷卻塔進行冷卻。
5.攪拌設(shè)備:包括機械攪拌和空氣攪拌等方式。
6.掛具:用于懸掛和固定待電鍍的工件,使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸,并保證電流均勻地通過工件。7.行車:主要用于在電鍍車間內(nèi)吊運工件、原材料和成品等重物。
8.廢氣處理設(shè)備:電鍍過程中會產(chǎn)生各種有害氣體,如酸霧、堿霧和重金屬廢氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等,對廢氣進行凈化處理,達標(biāo)后排放。 貴金屬電鍍設(shè)備配備高精度電源與凈化系統(tǒng),嚴(yán)格控制金、銀鍍層純度,滿足珠寶及電子芯片的高要求。浙江出口型電鍍設(shè)備
智能電鍍設(shè)備的云端監(jiān)控平臺,實時采集全生產(chǎn)線數(shù)據(jù),通過大數(shù)據(jù)分析優(yōu)化工藝參數(shù)與能耗。脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線
需結(jié)合工藝需求、生產(chǎn)規(guī)模、預(yù)算及環(huán)保要求,以下建議:
1.工藝類型根據(jù)鍍層種類選擇設(shè)備,例如鍍鉻需耐高溫鍍槽,鍍金需高精度整流器。前處理/后處理流程決定是否需要超聲波清洗機、甩干機等配。
2.生產(chǎn)規(guī)模中小批量:優(yōu)先選擇模塊化設(shè)備(如可擴展的鍍槽、單機過濾機),降低初期投入。大規(guī)模量產(chǎn):考慮自動化生產(chǎn)線(如機器人上下料、PLC集中控制系統(tǒng)),提升效率。
3.鍍層質(zhì)量要求高精度產(chǎn)品(如電子元件):需配備在線檢測設(shè)備(如X射線測厚儀)、恒溫恒濕控制系統(tǒng)。普通五金件:可選基礎(chǔ)檢測設(shè)備(如磁性測厚儀)。
1.鍍槽材質(zhì):酸性選聚丙烯(PP),高溫強堿選聚四氟乙烯(PTFE)。尺寸:根據(jù)工件大小和產(chǎn)能計算槽體容積,預(yù)留10%-20%余量避免溢出。
2.整流器優(yōu)先選擇高頻開關(guān)電源(節(jié)能30%以上),輸出電流需覆蓋最大負載的120%。復(fù)雜工藝(如脈沖電鍍)需配置可編程整流器。
3.過濾系統(tǒng)精密電鍍(如PCB):采用多級過濾(濾芯+超濾膜),精度≤1μm。常規(guī)電鍍:選用袋式過濾機,精度5-25μm即可。
4.環(huán)保設(shè)備廢氣處理:酸霧量大時選噴淋塔+活性炭吸附廢水處理:重金屬廢水需配備離子交換或反滲透(RO)系統(tǒng) 脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線