上海倍藍(lán)光電科技有限公司2025-09-15

倍藍(lán)顯微分光膜厚儀集成50倍長工作距物鏡，光斑尺寸較小可達(dá)5μm，專為微電子器件局部膜厚測量設(shè)計(jì)。共軸照明系統(tǒng)確保了對深孔和臺(tái)階結(jié)構(gòu)的清晰成像。倍藍(lán)特有的多區(qū)域?qū)Ρ葴y量功能，可自動(dòng)識(shí)別并排除劃痕等表面缺陷的干擾。在某MEMS器件檢測中，成功測量了20μm焊盤上的2μm厚金鍍層。儀器平臺(tái)采用大理石底座，隔振性能優(yōu)異，配合倍藍(lán)精密電動(dòng)載物臺(tái)，定位重復(fù)性達(dá)±1μm。軟件提供3D膜厚分布重構(gòu)功能，可直觀顯示芯片表面鍍層均勻性。

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