中源綠凈針對半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈室的潔凈度監(jiān)測方案，聚焦于腐蝕性環(huán)境下的 監(jiān)測。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體濕法刻蝕潔凈車間。針對 1000 級刻蝕區(qū)，配置防腐蝕監(jiān)測終端，可耐受 Cl?、HF 等腐蝕性氣體環(huán)境，實(shí)時監(jiān)測 0.5μm 微粒濃度（采樣流量 28.3L/min）、蝕刻液飛濺微粒及局部濕度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封裝傳感器，檢測精度在腐蝕性環(huán)境中仍保持 ±10% 以內(nèi)。通過與蝕刻槽聯(lián)動控制，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動啟動局部排風(fēng)，使晶圓刻蝕均勻性不良率下降 45%。已服務(wù)于華虹半導(dǎo)體、士蘭微等企業(yè)，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度監(jiān)測準(zhǔn)確率 99.92%。中源綠凈為 45 + 橡膠廠做環(huán)境監(jiān)測，廢氣回收利用率提升 22%，資源更節(jié)約！環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈為半導(dǎo)體晶圓切割潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與濕度的 管控。應(yīng)用場景：晶圓切割與劃片潔凈車間。針對 100 級切割區(qū)，部署防靜電監(jiān)測終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、車間濕度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割區(qū)溫度（23±1℃）及靜電電壓（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，配合濕度動態(tài)調(diào)節(jié)算法，可將濕度波動控制在 ±3% 以內(nèi)。系統(tǒng)支持與切割設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時自動暫停作業(yè)，使晶圓切割崩邊率下降 45%。已在中芯國際、華虹半導(dǎo)體應(yīng)用，符合 SEMI F47 電壓標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.93%。蘇州萬級環(huán)境監(jiān)測檢測中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測設(shè)備，在 60 + 制藥廠運(yùn)行穩(wěn)定，年故障率＜2%，性能值得信賴！

中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中，構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景：電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對 100 級至 1000 級潔凈環(huán)境，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的高密度部署，可實(shí)時采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度，采樣流量達(dá) 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計數(shù)器， 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm，檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，當(dāng)微粒濃度超過閾值時自動聯(lián)動 FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速，使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用，符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。

中源綠凈為半導(dǎo)體離子注入潔凈室定制的潔凈度監(jiān)測系統(tǒng)，強(qiáng)化了高能環(huán)境下的監(jiān)測可靠性。應(yīng)用場景：半導(dǎo)體離子注入潔凈車間。依據(jù) SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級注入?yún)^(qū)部署耐輻射監(jiān)測終端，可承受高能離子輻射環(huán)境，實(shí)時監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、注入?yún)^(qū)溫度（20~25℃±0.5℃）及靜電電位。采用防輻射涂層處理傳感器，在輻射環(huán)境下檢測精度衰減≤5%/ 年。通過與離子源設(shè)備聯(lián)動調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度異常時自動優(yōu)化束流參數(shù)，使離子注入摻雜不均勻率下降 42%。已在中芯寧波、聯(lián)電等企業(yè)應(yīng)用，通過半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證，監(jiān)測數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，可與企業(yè)現(xiàn)有設(shè)備無縫集成，降低企業(yè)改造成本！

中源綠凈為食品無菌加工無塵車間開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微生物與壓差梯度的 管控。應(yīng)用場景：食品無菌灌裝無塵車間。針對 C 級無菌加工區(qū)，部署每 2.5 平方米 1 個監(jiān)測點(diǎn)，同步采集浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次，檢測下限 1CFU/m3）、0.5μm 微粒濃度、加工區(qū)與外界壓差（≥15Pa，精度 ±1Pa）及溫濕度。采用 ATP 生物熒光檢測技術(shù)，微生物檢測時間從傳統(tǒng) 48 小時縮短至 15 分鐘，準(zhǔn)確率達(dá) 98.8%。系統(tǒng)與灌裝設(shè)備聯(lián)動，參數(shù)異常時立即觸發(fā)停機(jī)并啟動消毒程序，使食品微生物超標(biāo)率下降 62%。已在娃哈哈、統(tǒng)一企業(yè)等應(yīng)用，符合 GB 14881 食品生產(chǎn)通用衛(wèi)生規(guī)范，環(huán)境數(shù)據(jù)審計通過率 100%。中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測方面，為 30 + 學(xué)校提供空氣質(zhì)量檢測，保障師生健康！深圳百萬級環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范

中源綠凈為 35 + 制革廠監(jiān)測廢水，鉻含量去除率達(dá) 95%，環(huán)保達(dá)標(biāo)無憂！環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書

中源綠凈在醫(yī)療器械清洗潔凈室環(huán)境監(jiān)測中，構(gòu)建了水質(zhì) - 微粒雙參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場景：醫(yī)療器械清洗消毒潔凈車間。針對手術(shù)器械清洗的 B 級潔凈區(qū)，采用每 2 平方米 1 個監(jiān)測終端的布局，實(shí)時監(jiān)測清洗用水微粒濃度（0.5μm 粒徑，檢測下限 10 粒 / L）、車間空氣浮游菌（每 30 分鐘采樣 1 次）、水溫（40~60℃，精度 ±0.5℃）及相鄰區(qū)域壓差（≥15Pa）。系統(tǒng)搭載的在線水質(zhì)傳感器響應(yīng)時間≤2 秒，數(shù)據(jù)采樣頻率 5 次 / 秒，可同步捕捉水中與空氣中的污染風(fēng)險。通過與清洗設(shè)備聯(lián)動，當(dāng)水質(zhì)微粒超標(biāo)時自動切換過濾系統(tǒng)，使器械清洗合格率提升 38%。已在邁瑞醫(yī)療、威高集團(tuán)應(yīng)用，符合 ISO 15883 清洗消毒標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境數(shù)據(jù)追溯通過率 100%。環(huán)境監(jiān)測計數(shù)器使用說明書