電子探針儀（圖1）主要包括：探針形成系統(tǒng) (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。電子探針的**早應(yīng)用領(lǐng)域是金屬學(xué)。對(duì)合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析，直觀而方便，還能較準(zhǔn)確地測(cè)定元素的擴(kuò)散和偏析情況。此外，它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問(wèn)題，測(cè)定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等，是機(jī)械構(gòu)件失效分析、生產(chǎn)工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針?lè)治稣掌?。波譜儀的關(guān)鍵在于怎樣實(shí)現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素Z聯(lián)系起來(lái)？楊浦區(qū)特制探針商家

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素；但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素，其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬(wàn)分之一，在有些情況下可達(dá)十萬(wàn)分之一。檢測(cè)的***靈敏度因元素而異，一般為10-14～10-16克。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對(duì)原子序數(shù)高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的。1948年法國(guó)的R.卡斯坦制造了***臺(tái)電子探針儀。1958年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處。70年代以來(lái)生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區(qū)成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。楊浦區(qū)特制探針商家電子探針是法國(guó)制成的，是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

該系統(tǒng)為電子探針?lè)治鎏峁┚哂凶銐蚋叩娜肷淠芰?，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發(fā)源。為此，一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號(hào)強(qiáng)度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。其方法是，先利用能發(fā)出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置，通過(guò)樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上，同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。

（1）電子光學(xué)系統(tǒng)。電子束直徑0.1～1μm，電子束穿透深度1～3μm。被激發(fā)原子發(fā)射特征X射線譜過(guò)程如下：圍繞原子核運(yùn)動(dòng)的內(nèi)層電子，被電子束的電子轟擊后，其他外層電子為補(bǔ)充轟擊出的電子而發(fā)生躍遷，在躍遷過(guò)程中釋放出能量，即發(fā)射出X射線。（2）X射線譜儀。測(cè)量各種元素產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度，并以此對(duì)微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。特征X射線圖像顯像管的原理是：X射線束入射到一已知晶面間距的晶體上（X射線分光光度計(jì)的彎曲晶體上），經(jīng)衍射后各種波長(zhǎng)的X射線按不同的布拉格角彼此分開(kāi)，因此如轉(zhuǎn)動(dòng)晶體，改變衍射角，同時(shí)以兩倍于晶體的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)計(jì)數(shù)器，就可以依次測(cè)量出各種元素所產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度，達(dá)到定性和定量分析的目的。探針卡是一種測(cè)試接口，主要對(duì)裸芯進(jìn)行測(cè)試，通過(guò)連接測(cè)試機(jī)和芯片，通過(guò)傳輸信號(hào)對(duì)芯片參數(shù)進(jìn)行測(cè)試.。

探針的標(biāo)記方式有放射性標(biāo)記和非放射性標(biāo)記。標(biāo)記物質(zhì)有放射性元素（如32P等）和非放射性物質(zhì)（如生物素、地高辛等）。32P是**常用的核苷酸標(biāo)記同位素，被標(biāo)記的dNTP本身就帶有磷酸基團(tuán)，便于標(biāo)記。特點(diǎn)是比活性高，可達(dá)9000Ci/mmol；發(fā)射的β射線能量高。用它標(biāo)記的探針自顯影時(shí)間短，靈敏度高。32P的半壽期短，雖使用不方便，但為廢棄物的處理減輕了壓力。非放射性標(biāo)記法有酶標(biāo)法和化學(xué)物標(biāo)記法。酶標(biāo)方法與免疫測(cè)定ELISA方法相似，只是被標(biāo)記的核酸代替了被標(biāo)記的抗體，事實(shí)上被標(biāo)記的抗體也稱為探針，現(xiàn)有許多商品是生物素、地高辛標(biāo)記的。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量（預(yù)置9999測(cè)試點(diǎn)）定量分析。崇明區(qū)優(yōu)勢(shì)探針商家

當(dāng)某一X射線光子進(jìn)入計(jì)數(shù)管后，管內(nèi)氣體電離，并在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電脈沖信號(hào)。楊浦區(qū)特制探針商家

電子探針可以對(duì)試樣中微小區(qū)域（微米級(jí)）的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析?？梢赃M(jìn)行點(diǎn)、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量（預(yù)置9999測(cè)試點(diǎn)）定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡(jiǎn)便（相對(duì)復(fù)雜的化學(xué)分析方法而言）、實(shí)驗(yàn)結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過(guò)程不損壞樣品、測(cè)量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點(diǎn)，故在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益***地應(yīng)用，是礦物測(cè)試分析和樣品成分分析的重要工具。楊浦區(qū)特制探針商家

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