(3)X射線強(qiáng)度測(cè)量系統(tǒng)。特征X射線,由B系統(tǒng)中的計(jì)數(shù)管接收,并轉(zhuǎn)換成電脈沖,通過脈沖高度分析儀、計(jì)數(shù)率計(jì)、定標(biāo)器、電子電位計(jì)將其強(qiáng)度測(cè)量出來。(4)光學(xué)顯微鏡目測(cè)系統(tǒng)。用以準(zhǔn)確選擇需要分析的區(qū)域,并作光學(xué)觀察。(5)背散射電子圖像系統(tǒng)。(6)吸收電子圖像系統(tǒng)。(7)特征X射線圖像系統(tǒng)。電子探針的技術(shù)**是利用X射線晶體光學(xué),主要應(yīng)用兩種方法:1)晶體衍射法(X射線光譜法)。利用晶體轉(zhuǎn)到一定角度,來衍射某種波長(zhǎng)的X射線,通過讀出晶體不同的衍射角,求出X射線的波長(zhǎng),從而定出樣品所含的元素。利用特征波長(zhǎng)來確定元素的儀器叫做波長(zhǎng)色散譜儀(波譜儀),利用特征能量的就稱為能量色散譜儀(能譜儀)。寶山區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家
B、在線測(cè)試探針:PCB線路板安裝元器件后的檢測(cè)探針;**產(chǎn)品的**技術(shù)還是掌握在國外公司手中,國內(nèi)部分探針產(chǎn)品已研發(fā)成功,可替代進(jìn)口探針產(chǎn)品;C、微電子測(cè)試探針:即晶圓測(cè)試或芯片IC檢測(cè)探針,**技術(shù)還是掌握在國外公司手中,國內(nèi)生產(chǎn)廠商積極參與研發(fā),但只有一小部分成功生產(chǎn)。探針主要類型:懸臂探針和垂直探針。懸臂探針:劈刀型(Blade Type)和環(huán)氧樹脂型(Epoxy Type)垂直探針:垂直型(Vertical Type)1.ICT探針 (ICT series Probes)一般直徑在2.54mm-1.27mm之間,有業(yè)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)稱呼100mil,75mil,50mil,還有更特別的直徑只有0.19mm,主要用于在線電路測(cè)試和功能測(cè)試.也稱ICT測(cè)試和FCT測(cè)試.也是目應(yīng)用較多的一種探針.上海質(zhì)量探針品牌X射線譜儀。測(cè)量各種元素產(chǎn)生的X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度,并以此對(duì)微小體積中所含元素進(jìn)行定性和定量分析。
利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學(xué)組成以及各元素的重量百分?jǐn)?shù)。分析前要根據(jù)試驗(yàn)?zāi)康闹苽錁悠罚瑯悠繁砻嬉鍧?。用波譜儀分析樣品時(shí)要求樣品平整,否則會(huì)降低測(cè)得的X射線強(qiáng)度。定性分析1 點(diǎn)分析用于測(cè)定樣品上某個(gè)指定點(diǎn)的化學(xué)成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點(diǎn)分析結(jié)果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號(hào)同時(shí)檢測(cè)和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描,甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測(cè)定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀(波譜儀或能譜儀)固定在所要測(cè)量的某元素特征X射線信號(hào)(波長(zhǎng)或能量)的位置上,把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描,便可得到該元素沿直線特征X射線強(qiáng)度的變化,從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置,便可得到另一元素的X射線強(qiáng)度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像。可見,在Al2O3夾雜存在的地方,Al的X射線峰較強(qiáng)。
2.界面探針(Interface Probes)非標(biāo)準(zhǔn)的探針,一般是為少數(shù)做大型測(cè)試機(jī)臺(tái)的客戶定做的,例如泰瑞達(dá)(Teradyne)和安捷倫(Agilent).用于測(cè)試機(jī)臺(tái)與測(cè)試夾具的接觸點(diǎn)和面.3.微型探針(MicroSeries Probes)兩個(gè)測(cè)試點(diǎn)中心間距一般為0.25mm至0.76mm.4.開關(guān)探針(Switch Probes)開關(guān)探針單獨(dú)一支探針有兩路電流.5.高頻探針(Coaxial Probes)用于測(cè)試高頻信號(hào),有帶屏蔽圈的可測(cè)試10GHz以內(nèi)的和500MHz不帶屏蔽圈的.6.旋轉(zhuǎn)探針(Rotator Probes)彈力一般不高,因?yàn)槠浯┩感员緛砭秃軓?qiáng),一般用于OSP處理過的PCBA測(cè)試.電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。
電子探針(Electron Probe Microanalysis)是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進(jìn)行微區(qū)成分分析的儀器, [1]可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學(xué)組成。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域,使其發(fā)出特征X射線,測(cè)定該X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,即可對(duì)該微區(qū)的元素作定性或定量分析。電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的,該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。閔行區(qū)品牌探針現(xiàn)價(jià)
把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。寶山區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家
電子探針可以對(duì)試樣中微小區(qū)域(微米級(jí))的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析??梢赃M(jìn)行點(diǎn)、線掃描(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。還能全自動(dòng)進(jìn)行批量(預(yù)置9999測(cè)試點(diǎn))定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡(jiǎn)便(相對(duì)復(fù)雜的化學(xué)分析方法而言)、實(shí)驗(yàn)結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測(cè)量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點(diǎn),故在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益***地應(yīng)用,是礦物測(cè)試分析和樣品成分分析的重要工具。寶山區(qū)品牌探針生產(chǎn)廠家
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