小結如果你能看到這里，那么恭喜你，你已經對真空計有了相當多的了解。一句話總結一下，真空要一級一級抽，抽真空的儀器為真空泵，測量真空度實際是在測量壓強，用的設備為真空計。那么，在真空的海洋里飽餐一頓之后，也不要忘記你手中的鵝腿，你的胃還在等著飽餐一頓呢。參考文獻：[1]趙寶升，《真空技術》，科學出版社[2]郭方準，《實用真空技術》，大連理工大學出版社本文來自微信公眾號：中科院物理所（ID：cas-iop），作者：阿白廣告聲明：文內含有的對外跳轉鏈接（包括不限于超鏈接、二維碼、口令等形式），用于傳遞更多信息，節(jié)省甄選時間，結果*供參考，IT之家所有文章均包含本聲明。被測氣體是否會損傷真空計；真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。服務真空計五星服務

真空計與壓強的關系為，真空度越高，壓強越?。徽婵斩仍降?，壓強越大。正因為此，真空度的單位用的是壓強單位。一個標準大氣壓用帕斯卡（Pa）表示為1atm=1.013×105Pa這樣我們就得到不同真空單位之間的換算關系。有了單位，我們就可以對真空度進行劃分。國際上沒有統(tǒng)一的劃分標準，常用的劃分是這樣的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了這個標準，我們上面提到的針管中的真空以及托里拆利實驗中的真空就都屬于粗真空的范疇了。那么實驗室里常用的超高真空狀態(tài)是怎么實現(xiàn)的呢？這就涉及到了我們的**內容——真空泵。服務真空計五星服務如果大家仔細觀察很多現(xiàn)代真空技術生產線設備，會發(fā)現(xiàn)這種Tamagawa真空計小部件，應用繁多。

電離真空計的構造與測量機制電離真空計是一種廣泛應用于真空度測量的儀器，其工作原理基于氣體分子的電離。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計可分為熱陰極和冷陰極兩大類。電離真空計通過氣體電離產生離子流測量壓強，類型多樣，適合不同真空度范圍。該儀器主要由三個電極組成：發(fā)射電子的燈絲作為發(fā)射極A，負責加速電子的柵極（或稱為加速極）B，以及收集離子的圓筒型電極C。電阻真空計，作為熱傳導真空計的一種，其工作原理是利用測量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。

利用氣體動力學效應的真空計：皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)：利用電阻與溫度之間關系的原理工作，通過測量熱絲電阻大小推算氣壓大小。其測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，但使用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。測量范圍也一般在0.1Pa至1000Pa。利用帶電粒子效應的真空計：熱陰極電離規(guī)：由熱陰極發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產生離子，通過測量離子電流的大小推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。其測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子產生離子，再進***壓測量。其測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。相關商品品質精選、專業(yè)服務熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。

    這些真空泵按工作原理大致可以分為兩類。一類是真空計將氣體不斷吸入并排出體外的泵，例如機械泵、渦輪分子泵；一類是將氣體分子吸附在內壁上的泵，例如鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵。不管工作原理如何，這些泵的**終目的都是減少腔體內的氣體分子數(shù)。由于不同泵的構造不同，每種泵都有自己的工作區(qū)間，只有在一定的壓強范圍內才可以正常工作，否則就會損壞。不同泵的工作壓強區(qū)間如下圖所示。從上圖我們可以看出，要達到超高真空，只用一種泵是無法實現(xiàn)的，需要不同種類的泵接力，像極了我們做科研的過程，不是嗎？團隊合作。在實驗室，我們先用機械泵抽到粗真空，再打開分子泵抽到高真空，**后用離子泵或者鈦升華泵抽到實驗所需的真空狀態(tài)。 對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，較多的是電離與熱偶式復合真空計。擴散式四合一真空計安裝

真空計測量過程中整個系統(tǒng)電源電壓必須恒定。當真空度低于0.1Pa時，不能使用電離規(guī)。服務真空計五星服務

實驗室常用的真空泵有機械泵、渦輪分子泵、真空計，離子泵、鈦升華泵、低溫吸附泵、吸氫氣泵幾種，正是這些不同種類的泵一級級地抽，才能達到超高真空狀態(tài)。分子泵我們知道，空氣是由大量的氣體分子構成的，含量比較高的是氮氣、氧氣，還有少量的二氧化碳、氫氣、水蒸氣、稀有氣體之類的。一個密閉容器中所含的氣體分子越少，它的真空度就越高，因此我們抽真空的目的就是盡可能地減少腔體中氣體分子的數(shù)目，這就是這些真空泵要做的事情。服務真空計五星服務