二、相對真空計的主要類型1.熱傳導真空計熱傳導真空計是利用氣體在不同壓力下對熱量傳遞的影響來測量真空度的。在低真空范圍內，其測量精度高，穩(wěn)定性好。但由于其依賴氣體的熱傳導性質，因此在不同氣體組分的環(huán)境下，可能需要進行校準。2.電離真空計電離真空計的工作原理是通過電場加速電子，使氣體分子電離，從而產生電流。該電流的大小取決于氣體分子的數量和能量，因此可以作為測量真空度的依據。電離真空計適用于測量高真空和超高真空范圍，且響應速度快，但對使用環(huán)境要求較高。隨著真空技術的普及，大量應用于單晶爐設備，真空計滿足光伏行業(yè)基礎單晶硅生產。EDKORS真空計技術參數

    真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓，是一種使用***的儀表。真空計的種類有很多，適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。真空計可分為***真空計和相對真空計兩大類。一、***真空計能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計算出氣體壓力的真空計。***真空計測量精度較高，主要用作基準量具。原理：在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測壓力的真空容器相連，另一端是封死的或開口與大氣相通。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。測量范圍：粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)2.壓縮式真空計(麥克勞真空計)原理：把待測壓強氣體的一部分進行隔離并加以壓縮，直到壓強增大到可以直接測量的程度。 機械真空計執(zhí)行標準對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，較多的是電離與熱偶式復合真空計。

復合真空計播報編輯討論上傳視頻由熱偶與熱陰極電離真空計組成的真空測量裝置復合真空計是將熱偶真空計和熱陰極電離真空計組合而成的寬量程真空測量設備，測量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa [2]。熱偶真空計通過氣體熱傳導效應測量102-10?1Pa區(qū)間的低真空，熱陰極電離真空計利用電子碰撞電離原理檢測10?1-10??Pa范圍的高真空。兩種真空計在10?1Pa量級通過自動切換機制銜接，有效避免電離規(guī)管在高壓強工況下損壞 [1] [4]。該設備廣泛應用于真空鍍膜、電子束焊接等工業(yè)場景，具備自動校準與多通道控制功能

那么仔細想想，當我們喝牛奶的時候，喝口服液的時候，瓶子里的低氣壓狀態(tài)是不是都可以稱作“真空計”呢？更簡單一點，用手堵住針管的一段，拉動活塞，針管里面就是真空狀態(tài)。不可思議？沒關系，我們先來看看真空發(fā)現的歷史。小課堂早在1643年，意大利物理學家托里拆利（Torricelli）就做了一個***的大氣壓實驗——托里拆利實驗。他在一段封閉的玻璃管中裝滿**（Hg），然后將玻璃管倒扣在盛有**的小槽中，玻璃管中的**在重力作用下會下降，他發(fā)現，當**柱高度下降到760mm時就不再下降，托里拆利認為玻璃管上端的空隙就是“真空”狀態(tài)。同時這個實驗也得出結論，一個標準大氣壓強約為760mm汞柱。為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

上海諾丞儀器真空計的基本工作原理電離真空計的應用主要基于測量氣體分子的電離。其種類包括熱陰極和冷陰極電離真空計，適合不同真空范圍的測量。該計器通過檢測電離產生的離子流來確定真空室中的氣體壓強值，影響測量結果的因素熱偶真空計的測量結果受氣體種類及溫度變化影響。此外，熱絲可能會因氧化導致零點漂移，從而帶來測量誤差。因此，在進行測量時，需根據氣體種類進行相應的修正，使用者應定期調整加熱電流，并重新校正電流值。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會對真空計造成很大誤差。認可真空計維修電話

電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計。EDKORS真空計技術參數

工作原理與分類 根據物理效應差異，真空計可分為以下三大類： 力學性能類 原理：利用氣體壓力引起的機械形變或電容變化。 典型儀器：波爾登規(guī)（Bourdon）、薄膜電容規(guī)（測量范圍：101325~133.32Pa）。 特點：適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類（氣體動力學效應） 原理：基于氣體熱導率隨壓力變化的特性，如皮拉尼真空計通過加熱絲電阻變化推斷壓力（測量范圍：5×10??~1000Pa）。 典型儀器：皮拉尼電阻規(guī)、熱電偶規(guī)。 帶電粒子效應類 原理：利用氣體電離產生的電流與壓力成正比的關系。 典型儀器：熱陰極/冷陰極電離規(guī)（測量范圍：10??~10?1?Pa）。 特點：高精度但易受污染，需避免油蒸氣。EDKORS真空計技術參數