標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于來(lái)校準(zhǔn)腔體檢漏設(shè)備，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的高真空度，避免微小的泄漏影響產(chǎn)品的質(zhì)量，是電子產(chǎn)業(yè)質(zhì)量控制的重要工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的使用壽命與使用頻率、于工作環(huán)境密切相關(guān)，頻繁的在高溫、腐蝕性氣體中使用起來(lái)會(huì)縮短其壽命，只要定期維護(hù)和校準(zhǔn)可延長(zhǎng)其有效的使用時(shí)間。正確使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔是保證檢漏工作質(zhì)量的前提，操作人員需經(jīng)過(guò)技術(shù)培訓(xùn)，熟悉其性能、特點(diǎn)、流程和操作規(guī)范，避免因誤操作導(dǎo)致的計(jì)量誤差或設(shè)備損壞。標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接接口有多種規(guī)格可供不同場(chǎng)景選擇。云南全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔什么氣源

氦氣真空漏孔的溯源國(guó)內(nèi)開(kāi)展的比較早也相對(duì)成熟一些，各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準(zhǔn)規(guī)范也早已頒布。但對(duì)其他氣體的校準(zhǔn)還需要完善，并需要對(duì)不帶氦氣室漏孔校準(zhǔn)方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標(biāo)準(zhǔn)漏孔量值溯源標(biāo)準(zhǔn)包括相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置。應(yīng)為裝置成本和操作性的要求，在計(jì)量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對(duì)于以開(kāi)展量值溯源為主要任務(wù)，技術(shù)能級(jí)有所欠缺的省市和企業(yè)級(jí)別的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室建議以相對(duì)比較法漏率校準(zhǔn)裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對(duì)裝置，該裝置操作簡(jiǎn)單，成本低等特點(diǎn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因?yàn)樵搩x器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。廣東通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔偏差標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用壓力不能超過(guò)額定值 。

隨著檢漏方法和技術(shù)發(fā)展，越來(lái)越強(qiáng)調(diào)檢漏的定量要求，舉例：產(chǎn)品質(zhì)量管理體系要求，項(xiàng)目驗(yàn)收要求，計(jì)量活動(dòng)要求。所以標(biāo)準(zhǔn)漏孔被采用。但是在標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用溯源方面存在著太多的定義方面的模糊甚至錯(cuò)誤，根據(jù)本人多年在該領(lǐng)域的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)特此做了一定的總結(jié)供行業(yè)人士參考。 這里標(biāo)準(zhǔn)漏孔是廣義上的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，是指所有檢漏儀和檢漏系統(tǒng)用來(lái)定量或量值溯源經(jīng)過(guò)標(biāo)定的漏率標(biāo)準(zhǔn)器。按照使用方式和分為：真空漏孔，正壓漏孔和壓差漏孔。本資料漏率不僅限于真空檢漏量值的溯源。

航空航天領(lǐng)域?qū)γ芊庑阅芤髽O高，標(biāo)準(zhǔn)漏孔在此類(lèi)場(chǎng)景中用于校準(zhǔn)航天器密封件檢漏設(shè)備，確保燃料艙、艙體等關(guān)鍵部件無(wú)泄漏，確保飛行安全與任務(wù)順利執(zhí)行。在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域，標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于校準(zhǔn)氧艙的檢漏儀器，確保艙體密封性能達(dá)標(biāo)，避免氧氣泄漏引發(fā)安全問(wèn)題，是確?；颊甙踩闹匾?jì)量工具。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的重復(fù)性是重要性能指標(biāo)，指在相同條件下多次測(cè)量的泄漏率偏差程度。重復(fù)性越好，表明漏孔性能越穩(wěn)定，適用于對(duì)精度要求高的長(zhǎng)期校準(zhǔn)工作。標(biāo)準(zhǔn)漏孔是真空檢漏領(lǐng)域不可或缺的基準(zhǔn)工具。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6,E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠家Z初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10-8mbar.L/s,Z好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10-8mbar.L/s，經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。建議用戶在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，東貝真空可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。標(biāo)準(zhǔn)漏孔在航空航天檢漏中很關(guān)鍵。云南全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔什么氣源

標(biāo)準(zhǔn)漏孔受氣流影響需穩(wěn)定狀態(tài)使用 。云南全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔什么氣源

氦質(zhì)譜檢漏法氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)出現(xiàn)在第二次世界大戰(zhàn)中，經(jīng)過(guò)不斷的改進(jìn)發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)已經(jīng)成為迄今靈敏、方便的檢漏手段。我國(guó)質(zhì)譜檢漏儀的檢測(cè)精度已經(jīng)達(dá)到了10-14Pa·m3/s，國(guó)外質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度達(dá)到了10-16Pa·m3/s。質(zhì)譜檢漏法的原理是利用不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場(chǎng)中受洛倫茲力不同而做圓周運(yùn)動(dòng)半徑不同的原理，將不同質(zhì)荷比的離子分開(kāi)，在相應(yīng)半徑上收集到示蹤氣體，如果被檢件出現(xiàn)泄漏，則會(huì)檢測(cè)到示蹤氣體離子，再通過(guò)相應(yīng)計(jì)算得出漏率大小。氦氣在空氣中的含量低，又是惰性氣體，使其成為了常用的示蹤氣體。利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏的方法很多，較早的是噴吹法，以后逐漸出現(xiàn)了氦罩法、真空室法、檢漏盒法、真空室累積法、背壓法及前級(jí)泵出口采樣法等多種氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)方法。云南全系列標(biāo)準(zhǔn)漏孔什么氣源