極測在溫度控制方面蕞高可實(shí)現(xiàn)令人驚嘆的 ±0.002℃溫度控制精度。這一精度意味著,在整個晶圓操作過程中,環(huán)境溫度幾乎保持絕dui穩(wěn)定,溫度水平均勻性小于 16mK/m,幾乎消除了因溫度變化對晶圓產(chǎn)生的熱應(yīng)力和尺寸誤差。在潔凈度方面,精密恒溫潔凈棚通過空氣過濾系統(tǒng)和氣流組織設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了蕞高優(yōu)于 ISO class1 的潔凈度等級,遠(yuǎn)超普通潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)。 除了高精度的溫度和潔凈度控制,極測精密恒溫潔凈棚還具備全場景非標(biāo)定制能力。根據(jù)不同客戶的需求和晶圓操作工藝的特點(diǎn),可以靈活調(diào)整溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,以及抗微振、防磁、隔音等個性化參數(shù)。無論是高duan芯片制造企業(yè),還是科研機(jī)構(gòu)的晶圓研發(fā)項(xiàng)目,都能在這里找到蕞適合的環(huán)境解決方案。精密恒溫潔凈棚現(xiàn)已服務(wù)多家芯片半導(dǎo)體前列企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。因此,光學(xué)儀器行業(yè)通常要求潔凈室或無塵室的潔凈度達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn),如千級、萬級或十萬級凈化標(biāo)準(zhǔn)。寧夏精密溫控公司

半導(dǎo)體制造:光刻工藝的“守護(hù)神”在芯片光刻環(huán)節(jié),溫度波動Jin0.1℃就足以導(dǎo)致光學(xué)元件熱變形,造成曝光位置漂移。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.002℃恒溫環(huán)境,使光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)保持穩(wěn)定,直接提升芯片良品率。在蝕刻工藝中,溫濕度波動可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密溫控設(shè)備提供的穩(wěn)定環(huán)境保障了刻蝕速率的均勻性,確保芯片電路完整性。航空航天:微米級精度的幕后功臣航空發(fā)動機(jī)渦輪葉片加工中,0.05℃的溫度波動可能導(dǎo)致機(jī)床熱變形,使葉片加工精度不達(dá)標(biāo)。極測精密溫控設(shè)備維持的恒溫環(huán)境,保障了葉片曲面精度和表面質(zhì)量。在航空航天材料測試環(huán)節(jié),設(shè)備將濕度波動精確控制在±2%RH內(nèi),滿足極端嚴(yán)苛的測試要求。光學(xué)儀器:純凈與穩(wěn)定的雙重保障在光學(xué)鏡片研磨中,溫度波動會導(dǎo)致研磨盤與鏡片材料熱膨脹系數(shù)差異,影響鏡片曲率精度。恒溫環(huán)境確保研磨精度穩(wěn)定。同時,潔凈環(huán)境防止鏡片表面污染,避免后續(xù)鍍膜工序產(chǎn)生缺陷。新能源電池:水分與溫度的雙重管控在電極涂布工藝中,濕度變化會影響漿料水分含量,導(dǎo)致涂布不均勻。極測精密溫控設(shè)備提供的±0.5%RH濕度穩(wěn)定性,確保電極涂布一致性。在電池組裝環(huán)節(jié),恒溫環(huán)境避免了不同材料熱脹冷縮差異導(dǎo)致的密封不良問題。山東刻蝕精密溫控系統(tǒng)采用高精密控溫算法,能將設(shè)備工作區(qū)域的溫度波動控制在±0.002℃范圍內(nèi)(靜態(tài)工況下可達(dá)±2mK)。

極測(南京)技術(shù)有限公司采用相對濕度由外環(huán)境保證,大環(huán)境控制空氣中的絕dui含濕量保持穩(wěn)定,以實(shí)現(xiàn)環(huán)境倉內(nèi)部濕度穩(wěn)定性。其超精密環(huán)控艙內(nèi)部構(gòu)造先進(jìn),包括分區(qū)送風(fēng)靜壓腔、分區(qū)回風(fēng)流道、毫 K 級測溫采集模組 + 1/10Bpt100 矩陣式分布、中低頻吸 / 阻靜音設(shè)計(jì)方案等。自研高精密溫控技術(shù),冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá) ±0.002℃。
在溫度控制方面,采用大風(fēng)量小溫差的設(shè)計(jì)思想,通過快速循環(huán)空氣過濾并帶走熱量,使溫度波動處于極低數(shù)值,關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) ±0.002℃。同時采用多級控溫,將溫度精度逐步提升。針對光路部分設(shè)計(jì)密閉防護(hù)罩,表面開孔可有效降低發(fā)熱區(qū)域溫度,控制風(fēng)速。對于局部發(fā)熱區(qū)域,采用局部氣浴進(jìn)行溫度控制,確保該區(qū)域溫度在一定范圍內(nèi),且 30s 內(nèi)的溫度變化率不超過 0.03℃。
精密環(huán)控系統(tǒng)安裝后,精度顯著提高。溫度穩(wěn)定性從 ±2℃提升至 ±0.004℃,濕度穩(wěn)定性從 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH,潔凈度從 100 級提升至 10 級,噪音值從 70dB 降低至 55dB,測量誤差從 400 降低至 4。
控制精度是衡量精密環(huán)控設(shè)備的關(guān)鍵指標(biāo),通常以溫度和濕度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密環(huán)控設(shè)備的控制能力越強(qiáng)。極測(南京)技術(shù)有限公司的精密環(huán)控設(shè)備運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),能達(dá)到 0.1% 的控制輸出精度。同時,精密環(huán)控設(shè)備內(nèi)部的溫濕度均勻性也很重要,能確保各個位置的物品處于相同環(huán)境條件;而且在長時間運(yùn)行中,精密環(huán)控設(shè)備的溫濕度控制需保持穩(wěn)定,波動范圍越小越好,像極測的設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK(靜態(tài)),溫度水平均勻性小于 16mK/m。 極測(南京)致力于為芯片半導(dǎo)體、精密光學(xué)、科研研發(fā)等領(lǐng)域提供定制化的高精密環(huán)境解決方案。

極測(南京)高精密水冷冷凍水機(jī)組的 “數(shù)字引擎”PT100 溫度傳感器與PID 控制算法形成基礎(chǔ)控溫鏈路,控溫精度達(dá) ±0.1℃~±0.01℃;高精密逐級控溫專利設(shè)計(jì)(如分級制冷回路)進(jìn)一步細(xì)化控制層級,部分機(jī)型引入自適應(yīng)模糊控制算法,在激光加工、醫(yī)療設(shè)備等復(fù)雜場景中,將精密水冷冷凍水機(jī)組的控溫精度提升至±0.001℃(毫 K 級)。
精密水冷冷凍水機(jī)組采用板式換熱器,其微通道結(jié)構(gòu)與波紋板片設(shè)計(jì)使傳熱系數(shù)提升 20%~40%,同時具備體積緊湊、易維護(hù)等優(yōu)勢;不銹鋼 / 銅材質(zhì)增強(qiáng)耐腐蝕性,適配半導(dǎo)體、醫(yī)療等行業(yè)對水質(zhì)與潔凈度的高要求;環(huán)保冷媒 R410A 的應(yīng)用,更契合全球綠色制造趨勢。
極測(南京)研發(fā)及設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通、電氣自控等各類專業(yè)人才。局部氣浴精密溫控房
半導(dǎo)體潔凈室中通常溫度需要嚴(yán)格控制在20°C至25°C范圍內(nèi),且溫度波動不能超過±1°C。寧夏精密溫控公司
若需要對溫濕度數(shù)據(jù)進(jìn)行長期監(jiān)測和分析,選擇具有數(shù)據(jù)記錄與存儲功能的精密環(huán)控設(shè)備很有必要,部分設(shè)備還可通過 USB、以太網(wǎng)等接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)或云端。極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時記錄查詢功能,實(shí)驗(yàn)過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線,數(shù)據(jù)自動保存并支持隨時以表格形式導(dǎo)出,設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等信息也同步記錄,方便人員進(jìn)行全mian的數(shù)據(jù)追溯和深入分析。遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警功能也很實(shí)用,通過手機(jī)、電腦等設(shè)備可隨時隨地監(jiān)控精密環(huán)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),當(dāng)溫濕度超出設(shè)定范圍或設(shè)備出現(xiàn)故障時,報警功能能及時通知用戶,便于及時處理。極測的設(shè)備一旦出現(xiàn)故障,實(shí)時聲光報警提醒并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大程度減少設(shè)備故障對科研進(jìn)度或生產(chǎn)的影響。寧夏精密溫控公司