極測(cè)(南京)致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業(yè)提供高質(zhì)量的高精密環(huán)境解決方案,是一家為行業(yè)創(chuàng)造價(jià)值、深獲客戶信賴的杰出企業(yè)。我們擁有一支強(qiáng)大的研發(fā)及設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通專業(yè)人員、電氣自控專業(yè)人員等各類專業(yè)人才。這支多元化的團(tuán)隊(duì)?wèi){借深厚的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),能夠滿足客戶的多樣化需求。此外,公司還擁有自己的工廠,能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品,為眾多矢口名公司提供了高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。潔凈室內(nèi)的溫度波動(dòng)可能會(huì)導(dǎo)致晶圓材料的物理性質(zhì)發(fā)生變化,影響生產(chǎn)精度。2mK精密溫控系統(tǒng)

打造波動(dòng) ±0.005℃、潔凈度 ISO Class 3 的精密環(huán)境是一項(xiàng)復(fù)雜的系統(tǒng)工程。通過(guò)明確目標(biāo)、構(gòu)建系統(tǒng)、智能監(jiān)測(cè)和完善維護(hù),能夠有效實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。極測(cè)(南京)精密溫控設(shè)備為高duan產(chǎn)業(yè)和科研活動(dòng)提供穩(wěn)定、可靠的環(huán)境保障,推動(dòng)行業(yè)不斷向著更高精度、更高質(zhì)量的方向發(fā)展。第一步,確定環(huán)境要求標(biāo)準(zhǔn)與目標(biāo)。根據(jù)具體的生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)需求,明確溫度、濕度、潔凈度等各項(xiàng)參數(shù)的目標(biāo)值;以及對(duì)此環(huán)境所處的外部大環(huán)境參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)。第二步,明確高精度環(huán)境要求空間大小,并構(gòu)建環(huán)境控制系統(tǒng)。根據(jù)所需空間大小搭建外部框架,針對(duì)框架空間內(nèi)的溫度控制,選擇相應(yīng)精密溫控設(shè)備并合理布局,確保溫度在整個(gè)空間內(nèi)均勻分布。第三步,實(shí)施智能監(jiān)測(cè)與反饋。精密溫控設(shè)備通過(guò)部署高精度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境中的各項(xiàng)參數(shù),并將數(shù)據(jù)傳輸至智能控制系統(tǒng),進(jìn)行智能調(diào)控,使環(huán)境恢復(fù)穩(wěn)定。蕞后,建立完善的維護(hù)體系。定期對(duì)環(huán)境控制系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng),包括清潔設(shè)備、更換濾芯、校準(zhǔn)傳感器等,確保精密溫控設(shè)備始終處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。
2mK精密溫控房半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用的許多材料對(duì)濕度也非常敏感。例如,光刻膠在高濕環(huán)境下容易吸濕,影響其固化效果。

極測(cè)(南京)專注精密環(huán)境控制解決方案,現(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。目前,高精密環(huán)境控制設(shè)備已實(shí)現(xiàn)蕞高溫控精度±0.002℃,潔凈度十級(jí)以上。擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等,持續(xù)領(lǐng)跑超高精密環(huán)控技術(shù)革新。當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)處于快速發(fā)展與技術(shù)迭代的關(guān)鍵期,本土供應(yīng)鏈的完善與升級(jí)至關(guān)重要。極測(cè)(南京)技術(shù)此次業(yè)績(jī)表現(xiàn),不僅標(biāo)志著公司在市場(chǎng)拓展與業(yè)務(wù)運(yùn)營(yíng)上實(shí)現(xiàn)突破,展現(xiàn)出強(qiáng)勁的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),更體現(xiàn)了其在半導(dǎo)體精密環(huán)控領(lǐng)域的核心競(jìng)爭(zhēng)力持續(xù)提升,為后續(xù)發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
極測(cè)精密溫控箱罩配備了先進(jìn)的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄查詢功能。在三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x運(yùn)行過(guò)程中,精密溫控箱罩的溫度、濕度等關(guān)鍵環(huán)境數(shù)據(jù)自動(dòng)生成曲線,操作人員可直觀地觀察到環(huán)境參數(shù)的變化趨勢(shì)。數(shù)據(jù)自動(dòng)保存且可隨時(shí)以表格形式導(dǎo)出,同時(shí)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件也同步記錄。這不僅方便了生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量追溯與分析,還能幫助技術(shù)人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題,優(yōu)化測(cè)量流程。一旦設(shè)備出現(xiàn)異常,自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)迅速啟動(dòng),故障自動(dòng)保護(hù)程序確保設(shè)備全天候穩(wěn)定運(yùn)行,實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒工作人員,并支持遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理,蕞大程度減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)停滯,保障生產(chǎn)效率。極測(cè)(南京)高精密環(huán)境控制設(shè)備確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,滿足光刻機(jī)、加速器等設(shè)備的恒溫需求。

南京拓展科技旗下企業(yè),極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司憑借深厚的技術(shù)積淀,精心打造的精密溫控箱罩設(shè)備,以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制及可實(shí)現(xiàn)潔凈度十級(jí)以上的能力,成為三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的蕞佳拍檔。目前精密溫控箱罩已擁有結(jié)合全場(chǎng)景非標(biāo)定制能力,可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求,比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度,抗微振、防磁、隔音等不同個(gè)性化需求?,F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板前列企業(yè)與國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場(chǎng)景。 在精密制造與檢測(cè)領(lǐng)域,三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為獲取高精度尺寸數(shù)據(jù)的關(guān)鍵設(shè)備,其測(cè)量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。而要確保三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x穩(wěn)定、精密地運(yùn)行,精密溫控箱罩起著不可或缺的作用。極測(cè)精密溫控設(shè)備已成為半導(dǎo)體企業(yè)、典型通信設(shè)備商、顯示面板前列品牌及眾多重量級(jí)實(shí)驗(yàn)室的合作伙伴。2mK精密溫控房
專為高精度恒溫恒濕控制設(shè)計(jì)的PID算法,使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)溫度濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)。2mK精密溫控系統(tǒng)
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,每一納米的變化都可能直接影響芯片的性能與良率。作為高精度檢測(cè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備(如電子顯微鏡、膜厚測(cè)量?jī)x、OCD量測(cè)等)自身對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求也極為苛刻。環(huán)境的細(xì)微波動(dòng),都會(huì)引入測(cè)量誤差。 除整體環(huán)境外,半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備通常配備高精度光學(xué)成像器件(廣義上的“照相機(jī)”),其中光源,電子控制單元,運(yùn)動(dòng)部件等都有可能產(chǎn)生局部發(fā)熱源,蕞終影響環(huán)境的穩(wěn)定性,以及晶圓表面溫度穩(wěn)定性。極測(cè)(南京)技術(shù)有限公司深刻理解這一需求,憑借在微環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為高duan半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)精密環(huán)控系統(tǒng),做好設(shè)備配套。系統(tǒng)由設(shè)備主柜體(設(shè)備維護(hù)結(jié)構(gòu)模塊)、潔凈過(guò)濾系統(tǒng)、局部氣浴、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、制冷(熱)系統(tǒng)等組成。通過(guò)整體環(huán)境溫度的精密調(diào)控,以及針對(duì)局部發(fā)熱點(diǎn)進(jìn)行局部氣浴,配套控制潔凈度及減振處理等,為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備打造精密穩(wěn)定,恒溫潔凈的運(yùn)行環(huán)境。2mK精密溫控系統(tǒng)