簡單而言，與傳統(tǒng)的回歸分析不同，結(jié)構(gòu)方程分析能同時處理多個因變量，并可比較及評價不同的理論模型。與傳統(tǒng)的探索性因子分析不同，在結(jié)構(gòu)方程模型中，可以通過提出一個特定的因子結(jié)構(gòu)，并檢驗它是否吻合數(shù)據(jù)。通過結(jié)構(gòu)方程多組分析，我們可以了解不同組別內(nèi)各變量的關(guān)系是否保持不變，各因子的均值是否有***差異。樣本大小從理論上講：樣本容量越大越好。Boomsma（1982）建議，樣本容量**少大于100，比較好大于200以上。對于不同的模型，要求有所不一樣。一般要求如下：N/P〉10；N/t〉5；其中N為樣本容量，t為自由估計參數(shù)的數(shù)目，p為指標(biāo)數(shù)目。很多情況下，可以把模型檢測和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來驗證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實時系統(tǒng))。黃浦區(qū)正規(guī)驗證模型優(yōu)勢

因為在實際的訓(xùn)練中，訓(xùn)練的結(jié)果對于訓(xùn)練集的擬合程度通常還是挺好的（初始條件敏感），但是對于訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的擬合程度通常就不那么令人滿意了。因此我們通常并不會把所有的數(shù)據(jù)集都拿來訓(xùn)練，而是分出一部分來（這一部分不參加訓(xùn)練）對訓(xùn)練集生成的參數(shù)進行測試，相對客觀的判斷這些參數(shù)對訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的符合程度。這種思想就稱為交叉驗證（Cross Validation） [1]。交叉驗證（Cross Validation），有的時候也稱作循環(huán)估計（Rotation Estimation），是一種統(tǒng)計學(xué)上將數(shù)據(jù)樣本切割成較小子集的實用方法，該理論是由Seymour Geisser提出的。長寧區(qū)自動驗證模型介紹K折交叉驗證：將數(shù)據(jù)集分為K個子集，模型在K-1個子集上訓(xùn)練，并在剩下的一個子集上測試。

模型檢驗是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測試過程。一般包括兩個方面：一是驗證所建模型即是建模者構(gòu)想中的模型;二是驗證所建模型能夠反映真實系統(tǒng)的行為特征；有時特指前一種檢驗。可以分為四類情況：（1）模型結(jié)構(gòu)適合性檢驗：量綱一致性、方程式極端條件檢驗、模型界限是否合適。（2）模型行為適合性檢驗：參數(shù)靈敏度、結(jié)構(gòu)靈敏度。（3）模型結(jié)構(gòu)與實際系統(tǒng)一致性檢驗:外觀檢驗、參數(shù)含義及其數(shù)值。（4）模型行為與實際系統(tǒng)一致性檢驗：模型行為是否能重現(xiàn)參考模式、模型的極端行為、極端條件下的模擬、統(tǒng)計學(xué)方法的檢驗。以上各類檢驗需要綜合加以運用。有觀點認(rèn)為模型與實際系統(tǒng)的一致性是不可能被**終證實的，任何檢驗只能考察模型的有限方面。 [1]

極大似然估計法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過偏度（skew）和峰度（kurtosis）來表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對稱性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]極大似然估計法（ML）是結(jié)構(gòu)方程分析**常用的方法，ML方法的前提條件是變量是多元正態(tài)分布的。數(shù)據(jù)的非正態(tài)性可以通過偏度（skew）和峰度（kurtosis）來表示。偏度表示數(shù)據(jù)的對稱性，峰度表示數(shù)據(jù)平坦性的。LISREL中包含的估計方法有：ML（極大似然）、GLS（廣義**小二乘法）、WLS（一般加權(quán)**小二乘法）等，WLS并不要求數(shù)據(jù)是正態(tài)的。 [2]常見的有K折交叉驗證，將數(shù)據(jù)集分為K個子集，輪流使用其中一個子集作為測試集，其余作為訓(xùn)練集。

在產(chǎn)生模型分析（即 MG 類模型）中，模型應(yīng)用者先提出一個或多個基本模型，然后檢查這些模型是否擬合樣本數(shù)據(jù)，基于理論或樣本數(shù)據(jù)，分析找出模型擬合不好的部分，據(jù)此修改模型，并通過同一的樣本數(shù)據(jù)或同類的其他樣本數(shù)據(jù)，去檢查修正模型的擬合程度。這樣一個整個的分析過程的目的就是要產(chǎn)生一個比較好的模型。因此，結(jié)構(gòu)方程除可用作驗證模型和比較不同的模型外，也可以用作評估模型及修正模型。一些結(jié)構(gòu)方程模型的應(yīng)用人員都是先從一個預(yù)設(shè)的模型開始，然后將此模型與所掌握的樣本數(shù)據(jù)相互印證。如果發(fā)現(xiàn)預(yù)設(shè)的模型與樣本數(shù)據(jù)擬合的并不是很好，那么就將預(yù)設(shè)的模型進行修改，然后再檢驗，不斷重復(fù)這么一個過程，直至**終獲得一個模型應(yīng)用人員認(rèn)為與數(shù)據(jù)擬合度達到他的滿意度，而同時各個參數(shù)估計值也有合理解釋的模型。 [3]將驗證和優(yōu)化后的模型部署到實際應(yīng)用中。奉賢區(qū)銷售驗證模型訂制價格

將數(shù)據(jù)集分為訓(xùn)練集和測試集，通常按70%/30%或80%/20%的比例劃分。黃浦區(qū)正規(guī)驗證模型優(yōu)勢

在進行模型校準(zhǔn)時要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運行時間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴散長度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗的選擇方式、隨機選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測值與晶圓測量值之間的偏差的均方根（RMS）。黃浦區(qū)正規(guī)驗證模型優(yōu)勢

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