***，選擇特定的優(yōu)化算法并進(jìn)行迭代運(yùn)算，直到參數(shù)的取值可以使校準(zhǔn)圖案的預(yù)測偏差**小。模型驗(yàn)證模型驗(yàn)證是要檢查校準(zhǔn)后的模型是否可以應(yīng)用于整個(gè)測試圖案集。由于未被選擇的關(guān)鍵圖案在模型校準(zhǔn)過程中是不可見，所以要避免過擬合降低模型的準(zhǔn)確性。在驗(yàn)證過程中，如果用于模型校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案的預(yù)測精度不足，則需要修改校準(zhǔn)參數(shù)或參數(shù)的范圍重新進(jìn)行迭代操作。如果關(guān)鍵圖案的精度足夠，就對測試圖案集的其余圖案進(jìn)行驗(yàn)證。如果驗(yàn)證偏差在可接受的范圍內(nèi)，則可以確定**終的光刻膠模型。否則，需要重新選擇用于校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案并重新進(jìn)行光刻膠模型校準(zhǔn)和驗(yàn)證的循環(huán)。防止過擬合：過擬合是指模型在訓(xùn)練數(shù)據(jù)上表現(xiàn)良好，但在測試數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳。金山區(qū)自動驗(yàn)證模型咨詢熱線

模型檢驗(yàn)是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測試過程。具體是指對一個(gè)給定的軟件或硬件系統(tǒng)建立模型后，需要對其進(jìn)行行為上的可信性、動態(tài)性能的有效性、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、可測數(shù)據(jù)的逼近精度、研究自的的可達(dá)性等問題的檢驗(yàn)，以驗(yàn)證所建立的模型是否能夠真實(shí)反喚實(shí)際系統(tǒng)，或者說能夠與真實(shí)系統(tǒng)達(dá)到較高精度的性能相關(guān)技術(shù)。 [2]模型檢驗(yàn)在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，它在軟件工程中用于驗(yàn)證軟件系統(tǒng)的正確性和可靠性，在硬件設(shè)計(jì)中確保硬件模型符合設(shè)計(jì)規(guī)范，而在數(shù)據(jù)分析與機(jī)器學(xué)習(xí)領(lǐng)域則評估模型的擬合效果和泛化能力。此外，在心理學(xué)與社會科學(xué)領(lǐng)域，模型檢驗(yàn)通過驗(yàn)證性因子分析等方法檢驗(yàn)量表的結(jié)構(gòu)效度，確保研究工具的可靠性和有效性。崇明區(qū)自動驗(yàn)證模型咨詢熱線繪制學(xué)習(xí)曲線可以幫助理解模型在不同訓(xùn)練集大小下的表現(xiàn)，幫助判斷模型是否過擬合或欠擬合。

考慮模型復(fù)雜度：在驗(yàn)證過程中，需要平衡模型的復(fù)雜度與性能。過于復(fù)雜的模型可能會導(dǎo)致過擬合，而過于簡單的模型可能無法捕捉數(shù)據(jù)中的重要特征。多次驗(yàn)證：為了提高結(jié)果的可靠性，可以進(jìn)行多次驗(yàn)證并取平均值，尤其是在數(shù)據(jù)集較小的情況下。結(jié)論模型驗(yàn)證是機(jī)器學(xué)習(xí)流程中不可或缺的一部分。通過合理的驗(yàn)證方法，我們可以確保模型的性能和可靠性，從而在實(shí)際應(yīng)用中取得更好的效果。在進(jìn)行模型驗(yàn)證時(shí)，務(wù)必注意數(shù)據(jù)的劃分、評估指標(biāo)的選擇以及模型復(fù)雜度的控制，以確保驗(yàn)證結(jié)果的準(zhǔn)確性和有效性。

實(shí)驗(yàn)條件的對標(biāo)首先，要將模型中的實(shí)驗(yàn)設(shè)置與實(shí)際的實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行對標(biāo)，包含各項(xiàng)工藝參數(shù)和測試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機(jī)信息、照明條件、光刻涂層設(shè)置等信息。測試圖案要基于設(shè)計(jì)規(guī)則來確定，同時(shí)要確保測試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測量進(jìn)行光刻膠形貌測量時(shí)，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個(gè)聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側(cè)壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準(zhǔn)，如圖3所示。將不同模型的性能進(jìn)行比較，選擇表現(xiàn)模型。

模型檢測(model checking)，是一種自動驗(yàn)證技術(shù)，由Clarke和Emerson以及Quelle和Sifakis提出，主要通過顯式狀態(tài)搜索或隱式不動點(diǎn)計(jì)算來驗(yàn)證有窮狀態(tài)并發(fā)系統(tǒng)的模態(tài)/命題性質(zhì)。由于模型檢測可以自動執(zhí)行，并能在系統(tǒng)不滿足性質(zhì)時(shí)提供反例路徑，因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。盡管限制在有窮系統(tǒng)上是一個(gè)缺點(diǎn)，但模型檢測可以應(yīng)用于許多非常重要的系統(tǒng)，如硬件控制器和通信協(xié)議等有窮狀態(tài)系統(tǒng)。很多情況下，可以把模型檢測和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來驗(yàn)證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實(shí)時(shí)系統(tǒng))。數(shù)據(jù)分布一致性：確保訓(xùn)練集、驗(yàn)證集和測試集的數(shù)據(jù)分布一致，以反映模型在實(shí)際應(yīng)用中的性能。崇明區(qū)自動驗(yàn)證模型咨詢熱線

訓(xùn)練集用于訓(xùn)練模型，驗(yàn)證集用于調(diào)整模型參數(shù)（如超參數(shù)調(diào)優(yōu)），測試集用于評估模型性能。金山區(qū)自動驗(yàn)證模型咨詢熱線

在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時(shí)要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時(shí)間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗(yàn)的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測值與晶圓測量值之間的偏差的均方根（RMS）。金山區(qū)自動驗(yàn)證模型咨詢熱線

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