***，選擇特定的優(yōu)化算法并進(jìn)行迭代運(yùn)算，直到參數(shù)的取值可以使校準(zhǔn)圖案的預(yù)測偏差**小。模型驗證模型驗證是要檢查校準(zhǔn)后的模型是否可以應(yīng)用于整個測試圖案集。由于未被選擇的關(guān)鍵圖案在模型校準(zhǔn)過程中是不可見，所以要避免過擬合降低模型的準(zhǔn)確性。在驗證過程中，如果用于模型校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案的預(yù)測精度不足，則需要修改校準(zhǔn)參數(shù)或參數(shù)的范圍重新進(jìn)行迭代操作。如果關(guān)鍵圖案的精度足夠，就對測試圖案集的其余圖案進(jìn)行驗證。如果驗證偏差在可接受的范圍內(nèi)，則可以確定**終的光刻膠模型。否則，需要重新選擇用于校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案并重新進(jìn)行光刻膠模型校準(zhǔn)和驗證的循環(huán)。數(shù)據(jù)集劃分：將數(shù)據(jù)集劃分為訓(xùn)練集、驗證集和測試集。浦東新區(qū)正規(guī)驗證模型要求

在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案，并建立校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時間，如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù)，如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過程的評估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測值與晶圓測量值之間的偏差的均方根（RMS）。嘉定區(qū)自動驗證模型信息中心避免過擬合：確保模型在驗證集和測試集上的性能穩(wěn)定，避免模型在訓(xùn)練集上表現(xiàn)過好而在未見數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳。

結(jié)構(gòu)方程模型常用于驗證性因子分析、高階因子分析、路徑及因果分析、多時段設(shè)計、單形模型及多組比較等 。結(jié)構(gòu)方程模型常用的分析軟件有LISREL、Amos、EQS、MPlus。結(jié)構(gòu)方程模型可分為測量模型和結(jié)構(gòu)模型。測量模型是指指標(biāo)和潛變量之間的關(guān)系。結(jié)構(gòu)模型是指潛變量之間的關(guān)系。 [1]1.同時處理多個因變量結(jié)構(gòu)方程分析可同時考慮并處理多個因變量。在回歸分析或路徑分析中，即使統(tǒng)計結(jié)果的圖表中展示多個因變量，在計算回歸系數(shù)或路徑系數(shù)時，仍是對每個因變量逐一計算。所以圖表看似對多個因變量同時考慮，但在計算對某一個因變量的影響或關(guān)系時，都忽略了其他因變量的存在及其影響。

模型檢測(model checking)，是一種自動驗證技術(shù)，由Clarke和Emerson以及Quelle和Sifakis提出，主要通過顯式狀態(tài)搜索或隱式不動點(diǎn)計算來驗證有窮狀態(tài)并發(fā)系統(tǒng)的模態(tài)/命題性質(zhì)。由于模型檢測可以自動執(zhí)行，并能在系統(tǒng)不滿足性質(zhì)時提供反例路徑，因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。盡管限制在有窮系統(tǒng)上是一個缺點(diǎn)，但模型檢測可以應(yīng)用于許多非常重要的系統(tǒng)，如硬件控制器和通信協(xié)議等有窮狀態(tài)系統(tǒng)。很多情況下，可以把模型檢測和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來驗證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實時系統(tǒng))。多指標(biāo)評估：根據(jù)具體應(yīng)用場景選擇合適的評估指標(biāo)，綜合考慮模型的準(zhǔn)確性、魯棒性、可解釋性等方面。

2.容許自變量和因變量含測量誤差態(tài)度、行為等變量，往往含有誤差，也不能簡單地用單一指標(biāo)測量。結(jié)構(gòu)方程分析容許自變量和因變量均含測量誤差。變量也可用多個指標(biāo)測量。用傳統(tǒng)方法計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)與用結(jié)構(gòu)方程分析計算的潛變量間相關(guān)系數(shù)，可能相差很大。3.同時估計因子結(jié)構(gòu)和因子關(guān)系假設(shè)要了解潛變量之間的相關(guān)程度，每個潛變量者用多個指標(biāo)或題目測量，一個常用的做法是對每個潛變量先用因子分析計算潛變量（即因子）與題目的關(guān)系（即因子負(fù)荷），進(jìn)而得到因子得分，作為潛變量的觀測值，然后再計算因子得分，作為潛變量之間的相關(guān)系數(shù)。這是兩個**的步驟。在結(jié)構(gòu)方程中，這兩步同時進(jìn)行，即因子與題目之間的關(guān)系和因子與因子之間的關(guān)系同時考慮。通過嚴(yán)格的驗證過程，我們可以增強(qiáng)對模型結(jié)果的信心，尤其是在涉及重要決策的領(lǐng)域，如醫(yī)療、金融等。浦東新區(qū)正規(guī)驗證模型要求

驗證模型是機(jī)器學(xué)習(xí)過程中的一個關(guān)鍵步驟，旨在評估模型的性能，確保其在實際應(yīng)用中的準(zhǔn)確性和可靠性。浦東新區(qū)正規(guī)驗證模型要求

模型驗證是指測定標(biāo)定后的交通模型對未來數(shù)據(jù)的預(yù)測能力（即可信程度）的過程。根據(jù)具體要求和可能，可用的驗證方法有:①靈敏度分析,著重于確保模型預(yù)測值不會背離期望值，如相差太大，可判斷應(yīng)調(diào)整前者還是后者,另外還能確保模型與假定條件充分協(xié)調(diào)。②擬合度分析，類似于模型標(biāo)定，校核觀測值和預(yù)測值的吻合程度。 [1]因預(yù)測的規(guī)劃年數(shù)據(jù)不可能在現(xiàn)場得到，就要借用現(xiàn)狀或過去的觀測值，但需注意不能重復(fù)使用標(biāo)定服務(wù)的觀測數(shù)據(jù)。具體做法有兩種：一是將觀測數(shù)據(jù)按時序分成前后兩組，前組用于標(biāo)定，后組用于驗證;二是將同時段的觀測數(shù)據(jù)隨機(jī)地分為兩部分，將用***部分?jǐn)?shù)據(jù)標(biāo)定后的模型計算值同第二部分?jǐn)?shù)據(jù)相擬合。浦東新區(qū)正規(guī)驗證模型要求

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