ISO 1 - ISO 3 級是無塵車間的較高潔凈標(biāo)準(zhǔn)，每立方米空氣中 0.1 微米微粒數(shù)量分別控制在 10 個、100 個、1000 個以內(nèi)，用于對污染物極度敏感的產(chǎn)業(yè)，且多為局部潔凈區(qū)域（如設(shè)備內(nèi)部腔體），而非整車間布局。半導(dǎo)體行業(yè)的7 納米及以下先進制程晶圓光刻環(huán)節(jié)（如 EUV 光刻機工作臺區(qū)域），需 ISO 1 - ISO 2 級潔凈環(huán)境。該制程下晶圓電路線寬只有十幾納米，空氣中的金屬離子（如鈉、鐵離子）或微小塵埃，會直接造成電路短路或漏電，影響芯片良率。此外，半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)實驗室的主要配方調(diào)試區(qū)域，也需 ISO 3 級潔凈度，防止雜質(zhì)影響光刻膠的感光性能與分辨率。無塵車間照明采用嵌入式潔凈燈具減少積塵。南昌1000級無塵車間工程

    無塵車間的壓力控制是防止外部污染物侵入的重要手段，原則是 “潔凈度高的區(qū)域壓力高于潔凈度低的區(qū)域，潔凈區(qū)壓力高于非潔凈區(qū)”，通常通過 “送風(fēng)量大于回風(fēng)量 + 排風(fēng)量” 的方式實現(xiàn)。例如，ISO 5 級潔凈區(qū)的壓力需比相鄰的 ISO 6 級潔凈區(qū)高 5 - 10Pa，ISO 6 級潔凈區(qū)需比非潔凈區(qū)高 10 - 15Pa，確?？諝鈴母邼崈舳葏^(qū)域流向低潔凈度區(qū)域，避免低潔凈度區(qū)域的空氣倒灌。壓力控制通過 “壓力傳感器 + 變頻風(fēng)機” 系統(tǒng)實現(xiàn)：壓力傳感器實時監(jiān)測車間內(nèi)的壓力值，若壓力低于設(shè)定值，變頻風(fēng)機自動提高送風(fēng)量；若壓力高于設(shè)定值，風(fēng)機則降低送風(fēng)量，確保壓力穩(wěn)定在允許范圍內(nèi)（波動不超過 ±2Pa）。氣流平衡則是確保車間內(nèi)氣流均勻分布、無死角的關(guān)鍵，需通過氣流組織設(shè)計和風(fēng)量調(diào)節(jié)實現(xiàn)：例如，垂直層流車間的送風(fēng)量需根據(jù)車間面積和高度計算（通常每平方米送風(fēng)量為 200 - 300m3/h），回風(fēng)口需均勻布置在地面，避免局部氣流不足；水平層流車間的送風(fēng)口和回風(fēng)口需對稱布置，確保氣流速度均勻（通常為 0.3 - 0.5m/s）。此外，車間內(nèi)的門需采用氣密門，關(guān)閉時縫隙不超過 0.1 毫米，防止壓力泄漏；傳遞窗（用于物料傳遞）需具備互鎖功能，即一側(cè)門打開時，另一側(cè)門無法打開，避免壓力波動和污染物傳遞。南昌1000級無塵車間工程無塵車間半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的必備設(shè)施。

    地面材料的選擇直接影響無塵車間的潔凈維持能力。常見的有環(huán)氧樹脂自流平地坪，它具有無縫隙、耐磨損、抗化學(xué)腐蝕的特點，表面光滑易清潔，能減少灰塵附著，施工時需通過專業(yè)工藝保證平整度，避免因高低差形成積塵區(qū)。PVC 卷材地面則具備良好的防靜電性能，適合電子元器件生產(chǎn)車間，其彈性材質(zhì)可減少人員行走產(chǎn)生的灰塵，拼接處采用熱熔焊接工藝實現(xiàn)密封。對于生物醫(yī)藥類車間，還可選用聚氨酯地坪，它具有優(yōu)異的耐菌性，能耐受消毒藥劑的頻繁擦拭，且在溫度變化下不易開裂，確保地面長期處于穩(wěn)定的潔凈狀態(tài)。

    物料進入無塵車間需經(jīng)過嚴格的凈化流程。物料需先在室外拆去外包裝，進入緩沖間后進行表面清潔，使用無塵抹布蘸取純化水擦拭，對于易吸附灰塵的物料，需進行真空除塵處理。液體物料需通過管道輸送，管道接口采用無菌快速接頭，避免二次污染，固體物料則使用防靜電潔凈周轉(zhuǎn)箱盛放，周轉(zhuǎn)箱需定期清洗消毒。對于需滅菌的物料（如生物醫(yī)藥原料），需在傳遞窗內(nèi)進行紫外線或臭氧滅菌，傳遞窗需具備互鎖功能，確保兩側(cè)門不同時開啟，物料傳遞完成后需對傳遞窗內(nèi)部進行清潔消毒，防止交叉污染。遵循 GMP、SEMI 等標(biāo)準(zhǔn)，興元環(huán)境助力醫(yī)藥、半導(dǎo)體企業(yè)順利通過行業(yè)認證。

    無塵車間是高能耗設(shè)施，其能耗主要來自空氣凈化系統(tǒng)（占總能耗的 40% - 60%）、溫濕度控制系統(tǒng)（20% - 30%）和照明系統(tǒng)（10% - 15%），單位面積能耗是普通建筑的 5 - 10 倍，因此節(jié)能措施尤為重要。首先，空氣凈化系統(tǒng)節(jié)能：采用高效節(jié)能風(fēng)機（如變頻離心風(fēng)機），根據(jù)車間內(nèi)的壓力和潔凈度需求調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)速，降低能耗（可節(jié)能 20% - 30%）；優(yōu)化過濾系統(tǒng)，采用 “初效 + 中效 + 亞高效 + 高效” 的四級過濾模式，延長高效過濾器的使用壽命（從 1 年延長至 2 年），減少更換頻率和能耗；利用熱回收裝置，回收排風(fēng)中的熱量（夏季）或冷量（冬季），預(yù)熱或預(yù)冷新風(fēng)，降低空調(diào)機組的負荷（可節(jié)能 15% - 20%）。其次，溫濕度控制系統(tǒng)節(jié)能：根據(jù)生產(chǎn)需求合理設(shè)定溫濕度參數(shù)，避免過度控制（如將溫度從 22℃提高到 24℃，可節(jié)能 5% 左右）；采用分區(qū)溫控，對不同溫濕度需求的區(qū)域分別控制，避免能源浪費；使用高效換熱器（如板式換熱器），提高冷熱交換效率。HEPA或ULPA過濾器是維持無塵車間潔凈度的主要設(shè)備。廣州10萬級無塵車間裝修

設(shè)計上考慮人、物流分離減少交叉。南昌1000級無塵車間工程

    無塵車間內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備需滿足 “低產(chǎn)塵、低噪音、易清潔” 的要求，選型時需優(yōu)先選擇不銹鋼材質(zhì)（如 304、316L 不銹鋼）的設(shè)備，因其表面光滑、耐腐蝕、不易滋生細菌，且便于消毒清潔。例如，生物醫(yī)藥車間的反應(yīng)釜、攪拌罐需采用無縫焊接工藝，避免接縫藏塵；電子車間的光刻機、鍍膜機則需具備自帶的局部凈化功能，進一步控制設(shè)備周邊的微粒濃度。設(shè)備安裝時需遵循 “先外后內(nèi)、先大后小” 的原則：先在非潔凈區(qū)完成設(shè)備的組裝和調(diào)試，再拆除易損部件，用潔凈布包裹后通過通道送入潔凈區(qū)；設(shè)備與地面、墻面的連接部位需采用密封膠密封，縫隙寬度不超過 0.5 毫米，防止灰塵從縫隙進入；同時，設(shè)備的管線（如水管、氣管、電纜）需暗裝或穿管布置，避免管線暴露產(chǎn)生積塵。此外，設(shè)備運行時的噪音需控制在 65 分貝以下，防止噪音影響人員操作和環(huán)境穩(wěn)定性，必要時需安裝隔音罩或減震裝置。南昌1000級無塵車間工程